晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置制造方法及图纸

技术编号:33748003 阅读:13 留言:0更新日期:2022-06-08 21:49
本实用新型专利技术公开了晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置,包括操作台,所述操作台前端左侧位置固定连接有控制面板,所述操作台顶部前端位置固定连接有滑动柱,所述滑动柱前后两端位置均设置有滑槽,所述滑块顶部中心位置固定连接有固定杆,所述操作台顶部左侧中间位置固定连接有第一支撑柱。本实用新型专利技术中,驱动轴带动齿轮旋转,在齿轮下方设置有下打磨盘,可以很好的对齿轮下表面进行打磨,然后启动第一伸缩缸向下伸出,带动上打磨盘向下缓缓运动,运动至齿轮上表面并接触,通过上打磨盘与高速旋转齿轮间的摩擦作用,进一步对齿轮上表面进行打磨,双打磨盘的设置,极大提高了装置的打磨效率,节省生产成本,值得大力推广。值得大力推广。值得大力推广。

【技术实现步骤摘要】
晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置


[0001]本技术涉及晶圆
,尤其涉及晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅,高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅,硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆,随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越先进,使得晶圆加工出现了新的数据特点。
[0003]中国专利文献201920816032.7公开了一种齿轮的打磨装置,包括打磨装置本体,所述打磨装置本体外端连接有旋转盘,所述旋转盘外端连接有多个打磨头,所述打磨头包括驱动电机,所述驱动电机与旋转盘相连接,所述驱动电机输出端固定连接有旋转杆,所述驱动电机左侧设有连接块,所述连接块内开凿有凸形槽,所述旋转杆远离驱动电机的一端位于凸形槽内且与凸形槽滑动连接,所述旋转杆外端固定连接有多个支撑块,所述支撑块与连接块之间固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆外端套设有压缩弹簧,所述压缩弹簧左右两端分别与连接块和支撑块相接触,所述连接块外端转动连接有两个打磨片,两个所述打磨片之间固定连接有顶紧弹片。该专利所提出的装置在实际应用过程中,缺乏双打磨盘的设置,装置的对齿轮的打磨效率较低,同时该专利所提出的装置,打磨齿轮时,容易导致齿轮跳出打磨装置,缺乏很好的固定结构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置,包括操作台,所述操作台前端左侧位置固定连接有控制面板,所述操作台顶部前端位置固定连接有滑动柱,所述滑动柱前后两端位置均设置有滑槽,所述滑槽上均滑动连接有滑块,所述滑块顶部中心位置固定连接有固定杆,所述操作台顶部左侧中间位置固定连接有第一支撑柱,所述第一支撑柱底部位置固定连接有第一伸缩缸,所述操作台顶部后端位置固定连接有第二支撑柱,所述第二支撑柱底部位置固定连接有第二伸缩缸,所述操作台顶部中心位置固定连接有驱动电机,所述驱动电机输出端固定连接有驱动轴,所述驱动轴外径中间位置贯穿并固定连接有支撑盘。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述:
[0007]所述操作台底部四角位置均固定连接有支撑腿。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述:
[0009]所述固定杆顶部位置固定连接有下打磨盘。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述:
[0011]所述第一伸缩缸底部位置固定连接有上打磨盘。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述:
[0013]所述第二伸缩缸底部位置固定连接有定位器。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述:
[0015]所述支撑盘顶部后端位置固定连接有固定栓。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述:
[0017]所述控制面板分别与驱动电机、第一伸缩缸和第二伸缩缸之间电性连接。
[0018]本技术具有如下有益效果:
[0019]1、本技术中,首先通过控制面板启动驱动电机,带动驱动轴高速旋转,驱动轴带动齿轮旋转,在齿轮下方设置有下打磨盘,可以很好的对齿轮下表面进行打磨,然后启动第一伸缩缸向下伸出,带动上打磨盘向下缓缓运动,运动至齿轮上表面并接触,通过上打磨盘与高速旋转齿轮间的摩擦作用,进一步对齿轮上表面进行打磨,双打磨盘的设置,极大地提高了装置的打磨效率,节省生产成本。
[0020]2、本技术中,将需要打磨的齿轮对准驱动轴,慢慢滑动向下,放置在支撑盘上,支撑盘上安装有固定栓,同样对准齿轮上的小孔,将齿轮固定在支撑盘上,然后通过控制面板启动第二伸缩缸,使其向下伸出,进而带动定位器向下运动,移动至接近齿轮上表面时停止运动,能够很好的将齿轮固定住,避免打磨过程中,齿轮跳出打磨装置,极大地提高了装置的齿轮固定效果,值得大力推广。
附图说明
[0021]图1为本技术提出的晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置的立体图;
[0022]图2为本技术提出的晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置的驱动轴结构图;
[0023]图3为本技术提出的晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置的滑动柱结构图。
[0024]图例说明:
[0025]1、支撑腿;2、控制面板;3、操作台;4、固定杆;5、下打磨盘;6、上打磨盘;7、第一支撑柱;8、第一伸缩缸;9、第二伸缩缸;10、第二支撑柱;11、定位器;12、固定栓;13、驱动轴;14、驱动电机;15、滑动柱;16、支撑盘;17、滑槽;18、滑块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制;术语“第一”、“第
二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]参照图1

3,本技术提供的一种实施例:晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置,包括操作台3,操作台3前端左侧位置固定连接有控制面板2,操作台3顶部前端位置固定连接有滑动柱15,滑动柱15前后两端位置均设置有滑槽17,滑槽17上均滑动连接有滑块18,滑块18顶部中心位置固定连接有固定杆4,操作台3顶部左侧中间位置固定连接有第一支撑柱7,第一支撑柱7底部位置固定连接有第一伸缩缸8,操作台3顶部后端位置固定连接有第二支撑柱10,第二支撑柱10底部位置固定连接有第二伸缩缸9,操作台3顶部中心位置固定连接有驱动电机14,驱动电机14输出端固定连接有驱动轴13,驱动轴13外径中间位置贯穿并固定连接有支撑盘16,将需要打磨的齿轮对准驱动轴13,慢慢滑动向下,放置在支撑盘16上,支撑盘16上安装有固定栓12,同样对准齿轮上的小孔,将齿轮固定在支撑盘16上,然后通过控制面板2启动第二伸缩缸9,使其向下伸出,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆传动防静电塑料齿轮生产用打磨装置,包括操作台(3),其特征在于:所述操作台(3)前端左侧位置固定连接有控制面板(2),所述操作台(3)顶部前端位置固定连接有滑动柱(15),所述滑动柱(15)前后两端位置均设置有滑槽(17),所述滑槽(17)上均滑动连接有滑块(18),所述滑块(18)顶部中心位置固定连接有固定杆(4),所述操作台(3)顶部左侧中间位置固定连接有第一支撑柱(7),所述第一支撑柱(7)底部位置固定连接有第一伸缩缸(8),所述操作台(3)顶部后端位置固定连接有第二支撑柱(10),所述第二支撑柱(10)底部位置固定连接有第二伸缩缸(9),所述操作台(3)顶部中心位置固定连接有驱动电机(14),所述驱动电机(14)输出端固定连接有驱动轴(13),所述驱动轴(13)外径中间位置贯穿并固定连接有支撑盘(16)。2.根据权利要求1所述的晶圆传动防静电塑料...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗中平张凯
申请(专利权)人:常熟市兆恒众力精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:

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