晶圆夹持用钛合金固定爪制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆加工技术领域，尤其为晶圆夹持用钛合金固定爪，针对常规的晶圆夹持用固定爪不便于进行拆装，使得不便于进行更换的问题，现提出如下方案，其包括固定爪本体和安装座，固定爪本体的底部固定安装有两个连接板，安装座的顶部开设有两个连接槽，两个连接板分别活动插接在对应的连接槽内，且两个连接板相互靠近的一侧均开设有卡槽，安装座的左侧开设有横向槽，横向槽的顶部内壁上开设有竖向槽，竖向槽内滑动安装有第一竖板和第二竖板，第一竖板和第二竖板相互远离的一侧均固定安装有卡板。本实用新型专利技术通过卡板与卡槽的配合实现对晶圆夹持用钛合金固定爪的固定，且便于对其进行拆卸，从而便于对其进行更换。从而便于对其进行更换。从而便于对其进行更换。

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹持用钛合金固定爪


[0001]本技术涉及晶圆加工
，尤其涉及晶圆夹持用钛合金固定爪。

技术介绍

[0002]晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。在晶圆的生产加工过程中，需要经历众多的工序加工，其中切割更是必不可少的一部分。在晶圆的加工过程中，需要通过固定爪对其进行夹持。
[0003]常规的晶圆夹持用固定爪不便于进行拆装，使得不便于进行更换，因此我们提出了晶圆夹持用钛合金固定爪用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决常规的晶圆夹持用固定爪不便于进行拆装，使得不便于进行更换的缺点本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆夹持用钛合金固定爪，包括固定爪本体（1）和安装座（2），其特征在于，所述固定爪本体（1）的底部固定安装有两个连接板（3），所述安装座（2）的顶部开设有两个连接槽，两个连接板（3）分别活动插接在对应的连接槽内，且两个连接板（3）相互靠近的一侧均开设有卡槽（8），所述安装座（2）的左侧开设有横向槽（4），横向槽（4）的顶部内壁上开设有竖向槽（5），竖向槽（5）内滑动安装有第一竖板（6）和第二竖板（7），第一竖板（6）和第二竖板（7）相互远离的一侧均固定安装有卡板（18），两个卡板（18）分别活动卡接在对应的卡槽（8）内，且第一竖板（6）的底部固定安装有横杆，横杆的底部固定安装有第一齿条（11），所述横向槽（4）内滑动安装有横板（9），横板（9）的顶部开设有凹槽，凹槽的底部内壁上固定安装有第二齿条（12），所述横向槽（4）的后侧内壁上转动安装有齿轮（10），第一齿条（11）和第二齿条（12）均与齿轮（10）相啮合，所述第二竖板（7）的底部与横板（9）的顶部固定连接。2.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪，...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷超，
申请(专利权)人：常熟市兆恒众力精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：