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本实用新型属于晶圆加工技术领域，尤其为晶圆夹持用钛合金固定爪，针对常规的晶圆夹持用固定爪不便于进行拆装，使得不便于进行更换的问题，现提出如下方案，其包括固定爪本体和安装座，固定爪本体的底部固定安装有两个连接板，安装座的顶部开设有两个连接槽，...
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