晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置，包括箱体，所述箱体内壁底部位置固定连接有收集盒滑槽，所述收集盒滑槽的内部滑动连接有收集盒且收集盒一端贯穿箱体，所述收集盒前端中间位置固定连接有把手。本实用新型专利技术中，固定以后，滑槽内部的滑杆进行移动，可以根部需求自行调节打磨机的上下位置，滑块在滑杆上滑动，可以通过滑动滑块进行调节打磨机的左右位置，可以保证全方位打磨，打磨过程中出现的废屑，通过工作台的微孔掉入底部的收集盒内部，当收集盒布满时，收集盒可以通过收集盒滑槽抽出来，可以将收集盒内部的废屑倒掉即可，可以有效的保护周围环境，值得大力推广。大力推广。大力推广。

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置


[0001]本技术涉及打磨装置
，尤其涉及晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。
[0003]中国专利文献202120187172.X公开了一种打磨装置，包括：工作台、第一组件和第二组件；所述第一组件和所述第二组件相邻设置在所述工作台上；所述第一组件包括第一机架和设置在所述第一机架上的打磨件；所述第二组件包括驱动件、第二机架、支座以及设置在所述支座上的夹持件，所述支座设置在所述第二机架上，所述驱动件与所述支座相抵接，所述夹持件用于夹持待打磨物；所述支座在所述驱动件的推动下朝向所述第一机架的方向移动，使得所述待打磨物与所述打磨件相接触，从而将待打磨物进行打磨，提高生产效率。该专利不具备收集盒功能，打磨出的废屑，容易污染周围的环境。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置，包括箱体，所述箱体内壁底部位置固定连接有收集盒滑槽，所述收集盒滑槽的内部滑动连接有收集盒且收集盒一端贯穿箱体，所述收集盒前端中间位置固定连接有把手，所述箱体顶部左右两侧内壁位置均固定连接有玻璃滑槽，所述玻璃滑槽内滑动连接有玻璃且玻璃一端贯穿箱体，所述箱体内壁中间位置固定连接有工作台，所述箱体左右两侧中间位置均贯穿箱体并螺纹连接有螺栓，所述箱体前后两端内壁中间位置均固定连接有滑槽且滑槽位于工作台顶部，两个所述滑槽内滑动连接有滑杆，所述滑杆上滑动连接有滑块。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述：
[0007]所述把手外径中间位置固定连接有护垫。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述玻璃前端中间位置固定连接有玻璃把手。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]两个所述螺栓左右两侧均固定连接有转动把手。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]两个所述螺栓相对的一侧转动连接有固定器且固定器位于工作台顶部。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述滑块底部固定连接有打磨机。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述玻璃采用钢化玻璃材质。
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：
[0019]所述工作台表面呈孔状。
[0020]本技术具有如下有益效果：
[0021]1、本技术中，首先在使用时，将玻璃滑槽内的玻璃拉出，将需要打磨的爪手放置在工作台上方，然后通过转动左右两侧的转动把手，螺栓与箱体呈螺纹作用，螺栓推动一端的固定器对工作台上的爪手进行加固，防止在加工时，出现晃动的情况。
[0022]2、本技术中，滑槽内部的滑杆进行移动，可以根部需求自行调节打磨机的上下位置，滑块在滑杆上滑动，可以通过滑动滑块进行调节打磨机的左右位置，可以保证全方位打磨，打磨过程中出现的废屑，通过工作台的微孔掉入底部的收集盒内部，当收集盒布满时，收集盒可以通过收集盒滑槽抽出来，可以将收集盒内部的废屑倒掉即可，可以有效的保护周围环境，值得大力推广。
附图说明
[0023]图1为本技术提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置的立体图；
[0024]图2为本技术提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置的箱体的内部图；
[0025]图3为本技术提出的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置的收集盒的爆炸图。
[0026]图例说明：
[0027]1、箱体；2、收集盒；3、把手；4、玻璃滑槽；5、玻璃；6、玻璃把手；7、螺栓；8、转动把手；9、固定器；10、滑槽；11、滑杆；12、滑块；13、打磨机；14、收集盒滑槽；15、护垫；16、工作台。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通
过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]参照图1
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3，本技术提供的一种实施例：晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置，包括箱体1，箱体1内壁底部位置固定连接有收集盒滑槽14，收集盒滑槽14的内部滑动连接有收集盒2且收集盒2一端贯穿箱体1，收集盒2前端中间位置固定连接有把手3，箱体1顶部左右两侧内壁位置均固定连接有玻璃滑槽4，玻璃滑槽4内滑动连接有玻璃5且玻璃5一端贯穿箱体1，箱体1内壁中间位置固定连接有工作台16，箱体1左右两侧中间位置均贯穿箱体1并螺纹连接有螺栓7，箱体1前后两端内壁中间位置均固定连接有滑槽10且滑槽10位于工作台16顶部，两个滑槽10内滑动连接有滑杆11，滑杆11上滑动连接有滑块12，在使用时，将玻璃滑槽4内的玻璃5拉出，将需要打磨的爪手放置在工作台16上方，然后通过转动左右两侧的转动把手6，螺栓7与箱体1呈螺纹作用，螺栓7推动一端的固定器9对工作台上的爪手进行加固，防止在加工时，出现晃动的情况。
[0031]把手3外径中间位置固定连接有护垫15，玻璃5前端中间位置固定连接有玻璃把手6，两个螺栓7左右两侧均转动连接有转动把手8，两个螺栓7相对的一侧固定连接有固定器9且固定器9位于工作台16顶部，滑块12底部固定连接有打磨机13，玻璃5采用钢化玻璃材质，工作台16表面呈孔状，滑槽10内部的滑杆11进行移动，可以根部需求自行调节打磨机13的上下位置，滑块12在滑杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内壁底部位置固定连接有收集盒滑槽(14)，所述收集盒滑槽(14)的内部滑动连接有收集盒(2)且收集盒(2)一端贯穿箱体(1)，所述收集盒(2)前端中间位置固定连接有把手(3)，所述箱体(1)顶部左右两侧内壁位置均固定连接有玻璃滑槽(4)，所述玻璃滑槽(4)内滑动连接有玻璃(5)且玻璃(5)一端贯穿箱体(1)，所述箱体(1)内壁中间位置固定连接有工作台(16)，所述箱体(1)左右两侧中间位置均贯穿箱体(1)并螺纹连接有螺栓(7)，所述箱体(1)前后两端内壁中间位置均固定连接有滑槽(10)且滑槽(10)位于工作台(16)顶部，两个所述滑槽(10)内滑动连接有滑杆(11)，所述滑杆(11)上滑动连接有滑块(12)。2.根据权利要求1所述的晶圆夹持用钛合金固定爪生产的打磨装置，其特征在于：所述把手(3)外径...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗中平，张凯，
申请(专利权)人：常熟市兆恒众力精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：