一种针测机晶圆传输机构手臂制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆传输机械手技术领域，公开了一种针测机晶圆传输机构手臂，包括：机械手、换位机构，通过换位机构改变清理构件与吸附构件的位置关系，吸附构件利用真空吸盘固定吸附第一晶圆，对第一晶圆起支撑作用，清理构件靠近第一晶圆时利用吸液口吸取第一晶圆上残留的抛光液，用于对第一晶圆进行清理。该机械手臂通过换位机构改变吸附构件与清理构件的位置关系，使得两构件相互远离，避免影响另一工件工作，此外，换位机构连接有吸附构件和清理构件，吸附构件与夹爪配合夹持，进一步稳定夹持晶圆，清理构件对夹爪表面进行清理，避免夹爪上残留的抛光液污染后续夹持的晶圆。避免夹爪上残留的抛光液污染后续夹持的晶圆。避免夹爪上残留的抛光液污染后续夹持的晶圆。

【技术实现步骤摘要】
一种针测机晶圆传输机构手臂


[0001]本技术涉及晶圆传输机械手
，具体为一种针测机晶圆传输机构手臂。

技术介绍

[0002]在传统的晶圆缺陷检测机台中，往往通过机械臂来传送晶圆，并通过翻转晶圆的方式来检测晶圆是否出现异常，因此，在传送过程中需保证晶圆被稳定夹持。
[0003]中国技术专利号为CN202010720439.7，公开了一种晶圆传输设备、化学机械平坦化装置及晶圆传输方法，包括用于夹持搬运晶圆的机械手和用于放置晶圆的中转台；机械手包括第一夹爪、第二夹爪、升降台、移动机构、转动机构以及控制机构；中转台包括第一中转台、第二中转台以及安装架，该设备中通过夹爪夹持晶圆，在夹取松开晶圆的过程中，第一夹爪与第一中转台和第二中转台中的一者对应，第二夹爪与第一中转台和第二中转台中的另一者对应，可以做到干湿分离，但是这种干湿分离只做到了中转台上的干湿分离，与机械手连接的夹爪无法必须先夹持干燥洁净的晶圆，在该晶圆被抛光后需要用该夹爪夹持进入清洗模块，故该夹爪无法做到干湿分离，夹爪上残留的抛光液会粘到后续夹持的晶圆上，影响所制晶圆的质量。此外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于，包括：机械手，所述机械手包括有第一夹爪(7)和第二夹爪(8)，所述第一夹爪(7)和第二夹爪(8)中夹有第一晶圆(9)和第二晶圆(10)，所述第一夹爪(7)和第二夹爪(8)通过分别通过第一夹爪座(5)和第二夹爪座(6)连接在第一机械手臂(3)和第二机械手臂(4)的端部，所述机械手用于带动所述第一机械手臂(3)和所述第二机械手臂(4)水平移动，以及控制所述第一夹爪(7)和所述第二夹爪(8)进行翻转，换位机构，所述换位机构通过第三机械手臂(12)与所述第一夹爪座(5)相连，所述换位机构包括有第一固定环(16)和第二固定环(20)，所述第一固定环(16)和第二固定环(20)分别位于所述换位机构的上、下端，所述第一固定环(16)连接有清理构件，所述第二固定环(20)连接有吸附构件，通过改变所述第一固定环(16)和第二固定环(20)的相对位置改变清理构件与吸附构件的位置关系，使得其中一个构件靠近所述第一晶圆(9)对所述第一晶圆(9)进行工作，所述吸附构件与所述第一晶圆(9)接触，利用真空吸盘(25)固定吸附所述第一晶圆(9)，对所述第一晶圆(9)起支撑作用，所述清理构件靠近所述第一晶圆(9)时利用吸液口(28)吸取所述第一晶圆(9)上残留的抛光液，用于对所述第一晶圆(9)进行清理，所述第二夹爪座(6)上连接的零件及机构与所述第一夹爪座(5)所连接的相同。2.根据权利要求1所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述第一机械手臂(3)和第二机械手臂(4)另一端连接有升降台(2)，所述升降台(2)上设置有控制箱(1)，利用所述第一夹爪(7)和第二夹爪(8)分别带动所述第一机械手臂(3)和第二机械手臂(4)升降，且所述第一机械手臂(3)和第二机械手臂(4)呈上、下分布，不在同一水平面。3.根据权利要求1所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述换位机构还包括连接轴(13)，所述连接轴(13)外侧连接有内环(14)，所述内环(14)侧面开设有内环滑轨(17)，所述内环滑轨(17)内滑动设置有移动杆(22)，且所述移动杆(22)呈螺旋状，所述内环(14)上端设置有第一连接块(15)，且所述第一连接块(15)与所述内环滑轨(17)最上端处于同一竖直平面，所述第一固定环...

【专利技术属性】
技术研发人员：张直，
申请(专利权)人：张直，
类型：新型
国别省市：