一种掩膜版刻蚀用防卡板治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，属于掩膜版技术领域，其可至少部分解决现有技术中掩膜版在传动过程中，由于片材较薄，容易被卡在滚轮缝隙中的问题，本实用新型专利技术实施例的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，包括防止片材卡入滚轮缝隙的防卡板结构，防卡板结构沿片材的运送方向位于片材的前端位置，防卡板结构包括引导部和用于放置片材的延伸部，引导部与延伸部固定连接，引导部和延伸部的宽度之和大于任意两个滚轮之间的间隙宽度。和大于任意两个滚轮之间的间隙宽度。和大于任意两个滚轮之间的间隙宽度。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版刻蚀用防卡板治具


[0001]本技术涉及掩膜版
，具体涉及一种掩膜版刻蚀用防卡板治具。

技术介绍

[0002]在6.5代线Open Mask Sheet刻蚀清洗的过程中，通过滚轮转动实现Invar片材自动传动，然而，在传动的过程中，因为滚轮之间存在间隔且Invar片材很薄，导致片材容易卡入滚轮，使得片材受到挤压产生褶皱，如果产生连续卡片，会造成设备宕机，严重耽误生产。为了改善刻蚀清洗设备的卡片问题，现有的方法是在片材的前端放置两个导片，然而，这种方法不能完全改善卡片问题，本申请提供了一种解决卡片的方法。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，用于解决现有技术中片材容易卡入滚轮，耽误生产的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
[0005]一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，包括防止片材卡入滚轮缝隙的防卡板结构，防卡板结构沿片材的运送方向位于片材的前端位置，防卡板结构包括引导部和用于放置片材的延伸部，引导部与延伸部固定连接，引导部和延伸部的宽度之和大于任本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，其特征在于，包括防止片材(5)卡入滚轮(4)缝隙的防卡板结构(1)，防卡板结构(1)沿片材(5)的运送方向位于片材(5)的前端位置，防卡板结构(1)包括引导部(11)和用于放置片材(5)的延伸部，引导部(11)与延伸部固定连接，引导部(11)和延伸部的宽度之和大于任意两个滚轮(4)之间的间隙宽度。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，其特征在于，所述延伸部包括若干用于放置片材(5)的框型导片(12)，若干框型导片(12)均匀的分布在引导部(11)上，框型导片(12)的一端均设于引导部(11)上，框型导片(12)的另一端均向片材(5)运送方向的反方向延伸。3.根据权利要求2所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，其特征在于，所述框型导片(12)的尺寸和形状均相同，所述框型导片(12)为五边形框，五边形框包括：一条固定边框(121)，固定边框(121)固定在所述引导部(11)上，固定边框(121)平行于引导部(11)的宽度方向设置，两条支撑边框(122)，两条支撑边框(122)等长且均与固定边框(121)垂直，两条支撑边框(122)的A端分别与固定边框(121)的两端固定连接；两条延伸边框(123)，两条延伸边框(123)等长且两条延伸边框(123)的A端互相固定连接，两条延伸边框(123)的B端分别与两条支撑边框(122)的B端固定连接，两条延伸边框(123)与两条支撑边框(122)的夹角相同且均为钝角。4.根据权利要求3所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，其特征在于，所述框型导片(12)的五条边框宽度均相同，导片框体的边框宽度范围为：0.4cm
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2cm，框型导片(12)的宽度范围为：9cm
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11cm，框型导片(12)的长度范围为：7cm
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9cm，框型导片(12)的厚度范围为：0.5mm
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1mm。5.根据权利要求4所述的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具，其特征在于，所述框型导片(12)的边...

【专利技术属性】
技术研发人员：段雪波，郑庆靓，李哲，周俊吉，
申请(专利权)人：成都拓维高科光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：