一种石英舟的直线侧向传输机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英舟的直线侧向传输机构，包括侧向传输装置、石英舟定位装置、舟托定位装置、移动支架、直线传输装置以及固定支架，侧向传输装置用于承载和带动石英舟组件沿石英舟宽度方向水平运动，石英舟定位装置定位连接竖立端板以将石英舟组件定位在停放位置，舟托定位装置定位连接水平底板以将石英舟组件定位在停放位置，移动支架用于安装侧向传输装置、石英舟定位装置以及舟托定位装置，直线传输装置用于安装和带动移动支架沿石英舟长度方向水平运动，固定支架用于安装直线传输装置。本实用新型专利技术在石英舟传输过程中，可以对石英舟和舟托进行全方位定位，石英舟在传输过程中不会发生位移，保证了石英舟传输的稳定可靠性。可靠性。可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟的直线侧向传输机构


[0001]本技术属于石英舟传输领域，具体涉及一种石英舟的直线侧向传输机构。

技术介绍

[0002]在太阳能电池制程工艺中，需要对硅片进行扩散、退火以及热氧等处理，需要通过石英舟承载硅片在扩散装置、退火装置、热氧装置等工艺装置中进行工艺处理。处理前和处理后的硅片一般被存放在花篮中，因此还需要通过石英舟承载硅片在工艺装置与花篮之间转运。由于各个工艺装置和花篮之间具有高度差，石英舟通常需要被传输到不同的高度。授权公开号为CN207967028U的中国技术专利公开了一种石英舟传输装置，包括插片机、若干扩散炉、检测装置和机械手，上述机械手设置在上述插片机和若干上述扩散炉之间，上述机械手与上述扩散炉之间设置有第一缓存台和第二缓存台，上述检测装置与上述扩散炉相对应设置，上述检测装置包括滑台、检测组件和处理组件，上述技术中通过机械手将石英舟抓取到扩散炉口的滑台上，机械手适合抓取体积和重量较小的部件，石英舟尺寸和重量较大，通过机械手抓取石英舟存在不可靠性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种石英舟的直线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟的直线侧向传输机构，所述石英舟设于舟托上组成石英舟组件，所述石英舟包括位于其两端并相对设置的两竖立端板，所述舟托包括位于其底部的水平底板，其特征在于，所述直线侧向传输机构包括：侧向传输装置，所述侧向传输装置用于承载和带动石英舟组件沿石英舟宽度方向在输入输出位置和停放位置之间水平运动；石英舟定位装置，所述石英舟定位装置定位连接所述竖立端板以将石英舟组件定位在所述停放位置；舟托定位装置，所述舟托定位装置定位连接所述水平底板以将石英舟组件定位在所述停放位置；移动支架，所述移动支架用于安装所述侧向传输装置、所述石英舟定位装置以及所述舟托定位装置；直线传输装置，所述直线传输装置用于安装和带动所述移动支架沿石英舟长度方向水平运动；固定支架，所述固定支架用于安装所述直线传输装置。2.根据权利要求1所述的石英舟的直线侧向传输机构，其特征在于，所述石英舟定位装置设置为分别位于所述石英舟组件的两端的两个，每个所述石英舟定位装置包括用于抵持所述竖立端板的板面的第一伸缩部件和用于分别抵持所述竖立端板的两侧面的两个第二伸缩部件，所述第一伸缩部件可沿石英舟组件长度方向伸缩，所述第二伸缩部件可沿石英舟组件宽度方向伸缩。3.根据权利要求2所述的石英舟的直线侧向传输机构，其特征在于，所述第一伸缩部件包括第一电机和E字形支架，所述第一电机通过丝杆螺母装置带动所述E字形支架移动，所述E字形支架的中间杆自由端作为抵持部，两个所述第二伸缩部件分别安装在所述E字形支架的两侧杆自由端上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，梁齐辉，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：