本技术属于半导体制造过程中的硅片传送装置，具体是公开了一种新型硅片倒片器,包括：倒片器底座、倒片器翻转机构和倒片器转动轴，所述倒片器底座为长方形平底凹槽结构，所述倒片器底座两侧壁的中部分别设有一个圆孔，用于安装倒片器转动轴，所述倒片器翻...

本技术涉及硅片分片技术领域，具体为一种硅片分片器，包括：推片机构与至少两个存片机构，存片机构可用于存放硅片，至少部分设置于存片机构上的硅片可被推片机构推动，进而由一个存片机构转移到另一个存片机构上，推片机构包括限位板与推动柱，限位板整体...

本技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是一种腐蚀硅片上指定位置的装置，与桌面配合使用，包括：硅片托盘，悬臂系统，流量控制系统和化学试剂供给托盘,硅片托盘为盘状结构，其中部设有一定数量的开孔，用于连接真空系统，桌面位于硅片托盘的一侧，悬臂...

本实用新型公开了一种卧式扩散炉点火腔室，结构包括腔体、氢气注入器和连接器，腔体由左至右由依次相连的球碗、扩张室、燃烧室、加热管组成，氢气注入器的前部插入加热管内，且其前端设有喷嘴，其尾端设有氢气入口，喷嘴位于加热管的前端，连接器由连接套...

本实用新型研发是一种半导体多晶硅工艺石英管湿法清洗装置，结构包括箱体，其底部四个角各安装一个支撑脚，箱体内设有排风系统与动力排风管道连接，并通过一个排风软管和三个排风窗口吸收作业时生成的尾气，箱体内下方设有一个清洗槽，清洗槽底板安装旋转...

本实用新型是一种匀胶机用硅片传送臂，结构包括本体，所述本体由固定部和托举部组成，所述固定部与托举部固定连接，所述固定部的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔，所述托举部由圆弧段一、连接段、圆弧段二依次相连组成，所述圆弧段一...

本实用新型公开了一种半导体制程排气分离与处理系统，包括控制系统、氨气处理设备、硫酸罐、风阀，其中氨气处理设备的下部进气口通过一个风阀与氨性排气管路相连，其顶部排气口通过一个风阀与酸性排风管路相连，氨气处理设备的进气口与排气口处还直连有一...

本实用新型公开了一种用于校准晶体管特性图示仪的电阻测试卡，包括绝缘电路板、一定数量的电阻，所述绝缘电路板外型为方形，其正面的边框与背面均做沉金处理，所述一定数量的电阻通过金属线相互串联，相互串联的所述电阻的首端通过金属线连接有一个方形的...

本实用新型公开了一种应用于半导体产品检验技术领域晶圆用扇形检验模板，包括平台和检验模具，所述检验模具包括样板一与样板二，所述样板二套接到样板一的上方，所述样板一位于平台的正上方并盖在平台上，所述样板一与样板二均为一圆形平板，所述样板一表...

本实用新型公开了一种热电偶固定支架，包括固定杆、支撑杆、夹紧块、手拧螺母，所述固定杆由前端的固定块、连接杆、尾端的螺杆依次连接组成，所述螺杆贯穿支撑杆的端部并通过手拧螺母锁紧固定，所述支撑杆的另一端设有一个与夹紧块固定连接的托板，所述托...

本实用新型公开了一种光刻机用真空手臂，包括手臂本体、真空吸盘、水平定位销组，其中手臂本体为长方体结构，其表面设有呈三角形分布的三个螺纹通孔，手臂本体中间位置镶嵌有一个钢丝螺套，手臂本体的表面还设有对称分布的两个螺纹盲孔，手臂本体的左侧面...

本发明涉及一种二极管正向压降的测试方法，通过三步测量不同设计安培下的正向压降，并经过公式计算，显著地减轻了探针台上电阻对测量结果的影响，并且不同的设计安培下正向压降的计算，辅以修正参数，能够得到有效的准确的数值作为二极管通过和失效的依据...

本实用新型公开了一种应用于半导体产品检验技术领域的晶圆测试模具，包括模具本体，所述模具本体为圆柱型结构，所述模具本体的一侧平面上设有一个凹槽，所述凹槽外型为圆形且其上部设有直边，所述凹槽的底平面自上而下间隔设置有九个圆形通孔，所述凹槽的...

本实用新型属于过滤器技术领域，具体为LPCVD

本实用新型公开了一种三维固定式晶圆包装盒，包括盒盖、盒体、卡扣、一号海绵垫、防静电纸、二号海绵垫、三号海绵垫和晶圆，所述盒盖当盒体内部元件装盒完成后紧紧地盖在盒体上，盒体的下方成型有卡扣；所述盒体的内壁贴附有三号海绵垫，三号海绵垫内部分...

本实用新型公开了一种耐用易修理的气动阀，包括主体、第一密封件、活塞、第一缓冲橡胶板、第二缓冲橡胶板、阀体盖板、进气孔、出气孔和第二密封件，当启动气动阀时，气动阀进气孔进气，推动第一密封件，第一密封件带动活塞压缩弹簧向下运动，同时排出出气...

本实用新型公开了一种卧式扩散炉散热风扇调速装置，包括电源电路、触发电路、脉冲分配电路、可控硅调压电路和风扇M，其中电源电路包括交流变压器T1，二极管D1、二极管D2、二极管D3、二极管D4组成的全桥电路、电解电容器C、电阻器R1，脉冲分...

本实用新型公开了一种硅片甩干机转子取出专用工具，结构包括双头螺杆、六角螺母、挡板、旋转轴、扳把，其利用旋转轴与挡板的配合作用使得转子的伸长轴产生向外的作用力，从而将转子拔出，该结构简单便利，能够节省大量的转子的拆卸时间，为硅片甩干机的维...

本实用新型公开了一种硅片曝光结构，包括定位组件、曝光组件，所述定位组件包括定位条组、紧固螺丝组，所述曝光组件包括蓝膜、上层光刻版、下层光刻版、硅片，在运载硅片过程中，使用定位组件定位下层光刻版与蓝膜位置，使用蓝膜定位固定硅片与托载的光刻...

本实用新型公开了一种在半导体制造领域，用于吸取半导体硅片的真空镊子，其结构包括镊子头和镊子手柄两个部分，镊子手柄和镊子头是可分离的，镊子头具有一定的弯曲角度，镊子头可以是多个，不同的镊子头在镊子手柄上可以通过插拔或旋拧来替换，镊子头和镊...