【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸硅片的固定夹持装置
[0001]本技术涉及硅片生产
,尤其涉及一种大尺寸硅片的固定夹持装置。
技术介绍
[0002]科学技术的发展不断推动着半导体的发展,自动化和计算机等技术发展,使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度,这样就为电子计算机进入千家万户铺平了道路,使我们的生活越来越现代化,硅片在生产制造的过程中需要多种零部件和步骤。
[0003]在硅片生产的工厂中,大尺寸硅棒通常是由铁链捆绑夹持片,然后进行固定,由于尺寸较大,在捆绑时,需要的人工就多,导致工厂的生产成本增加,因此,提出一种大尺寸硅片的固定夹持装置显得非常必要。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种大尺寸硅片的固定夹持装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种大尺寸硅片的固定夹持装置,包括架体和硅棒,所述架体的底部内壁固定连接有固定条,固定条的底部固定连接有多个固定块,所述架体的顶部内壁固定连接有液压缸,液压缸液压杆的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸硅片的固定夹持装置,包括架体(1)和硅棒(14),其特征在于,所述架体(1)的底部内壁固定连接有固定条(10),固定条(10)的底部固定连接有多个固定块(11),所述架体(1)的顶部内壁固定连接有液压缸(9),液压缸(9)液压杆的一端固定连接有蘑菇钉架(15),所述架体(1)的顶部内壁固定连接有两个伸缩杆(8),且伸缩杆(8)与蘑菇钉架(15)相固定,所述硅棒(14)的上表面固定连接有粘板(13),粘板(13)的上表面固定连接有晶托(12),且固定块(11)可与晶托(12)相接触,所述晶托(12)的内部开设有卡槽(16),且卡槽(16)与蘑菇钉架(15)滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片的固定夹持装置,其特征在于,所述架体(1)的一侧内壁固定连接有照明灯(7)。3.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片的固定夹持装置,其特征在于,所述架体(1)的一侧外壁...
【专利技术属性】
技术研发人员:章祥静,施贤全,
申请(专利权)人:无锡荣能半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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