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本实用新型公开了一种大尺寸硅片的固定夹持装置，包括架体和硅棒，所述架体的底部内壁固定连接有固定条，固定条的底部固定连接有多个固定块，所述架体的顶部内壁固定连接有液压缸，液压缸液压杆的一端固定连接有蘑菇钉架，所述架体的顶部内壁固定连接有两个伸...
该专利属于无锡荣能半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡荣能半导体材料有限公司授权不得商用。

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