基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统技术方案

公开了一种基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统。根据一个实施例的基板清洗线，包括：腔室部，其包括用于清洗基板的多个清洗腔室；以及第一搬运机器人，其将基板相对于多个清洗腔室搬入、搬出或移送；多个清洗腔室可分别沿垂直方向叠层。可分别沿垂直方向叠层。可分别沿垂直方向叠层。

【技术实现步骤摘要】
基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统


[0001]以下的实施例涉及一种基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统。

技术介绍

[0002]通常，半导体是反复进行光刻、蒸镀及蚀刻等一系列工艺而制造出来的。由于反复的工艺，在构成这些半导体的基板的表面残存有各种颗粒、金属杂质或有机物等污染物。基板上残存的污染物会使得制造出来的半导体的可靠性降低，因此为了改善这一现象，在半导体制造工艺中要求进行清洗基板的工艺。
[0003]另一方面，根据工艺配方，清洗药液的处理顺序可能会发生变化。在这种情况下，问题在于，如果变更供应到喷嘴的药液，喷嘴可能会受到污染。因此，实情是需要一种具有在不变更供给的药液的同时可灵活地变更腔室的移动顺序的结构的基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统。
[0004]前述的
技术介绍
是专利技术者在导出本申请的公开内容的过程中拥有或掌握的，并不一定是在本申请前向一般公众公开的公知技术。

技术实现思路

[0005]根据一个实施例的目的在于提供一种基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统，其能够变更腔室的移送顺序，并灵活地应对工艺。
[0006]根据一个实施例的目的在于提供一种基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统，其提供基板的有效动线。
[0007]根据一个实施例的目的在于提供一种基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统，其能够快速清洗基板。
[0008]根据一个实施例的目的在于提供一种基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统，其能够有效应对故障。
[0009]根据一个实施例的基板清洗线，包括：腔室部，其包括用于清洗基板的多个清洗腔室；以及第一搬运机器人，其将基板相对于多个清洗腔室搬入、搬出或移送；多个清洗腔室可分别沿垂直方向叠层。
[0010]腔室部可包括：第一腔室部；及第二腔室部，其沿水平方向与第一腔室部隔开配置。
[0011]第一搬运机器人可配置在第一腔室部及第二腔室部之间。
[0012]第一搬运机器人可沿垂直及水平方向移动，能够以垂直于地面的轴为中心旋转。
[0013]第一腔室部可包括第一清洗腔室、第二清洗腔室及第三清洗腔室，第二腔室部可包括第四清洗腔室及第五清洗腔室。
[0014]第一清洗腔室、第二清洗腔室及第三清洗腔室可从下侧向上侧依次叠层，第四清洗腔室及第五清洗腔室可从上侧向下侧依次叠层。
[0015]第一搬运机器人可按第一清洗腔室、第二清洗腔室、第三清洗腔室、第四清洗腔室
及第五清洗腔室的顺序移送基板。
[0016]第一搬运机器人可按第一清洗腔室、第三清洗腔室、第二清洗腔室、第四清洗腔室及第五清洗腔室的顺序移送基板。
[0017]根据一个实施例的基板清洗系统，可包括：至少一个基板清洗线；以及第二搬运机器人，其将已研磨的基板移送至基板清洗线。
[0018]基板清洗线可包括沿水平方向隔开配置的第一基板清洗线及第二基板清洗线。
[0019]第二搬运机器人可配置于第一基板清洗线和第二基板清洗线之间。
[0020]如果第一基板清洗线和第二基板清洗线中的某一个发生故障，则第二搬运机器人可将已研磨的基板移送至另一个基板清洗线。
[0021]第二搬运机器人可将已研磨的基板移送至基板清洗线的多个清洗腔室中的任意一个。
[0022]基板清洗线还包括移送台，其用于接收已研磨的基板的移送，第二搬运机器人可将已研磨的基板移送至移送台。
[0023]移送台可位于多个清洗腔室中相邻的两个清洗腔室之间。
[0024]根据一个实施例的目的在于可通过变更腔室的移送顺序而灵活地应对工艺。
[0025]根据一个实施例的基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统可有效地清洗基板。
[0026]根据一个实施例的基板清洗线及包括该基板清洗线的基板清洗系统能够有效地应对故障。
附图说明
[0027]图1是根据一个实施例的基板清洗线的概略立体图。
[0028]图2是用于示出根据一个实施例的基板的清洗过程的基板清洗线的概略侧面图。
[0029]图3是根据一个实施例的基板清洗系统的概略平面图。
[0030]图4是根据一个实施例的第一腔室部及第二搬运机器人的概略图。
[0031]标号说明
[0032]1：基板清洗线
[0033]10：腔室部
[0034]11：第一搬运机器人
[0035]12：移送台
[0036]2：基板清洗系统
[0037]20：第二搬运机器人
具体实施方式
[0038]以下，参照附图对实施例进行详细的说明。但是，由于实施例可进行多种变更，因此专利申请的权利范围并不受这些实施例的限制或限定。而是应当理解为对实施例进行的所有变更、均等物乃至替代物包含于权利范围内。
[0039]实施例中使用的术语仅用于说明目的，不应被解释为想要限定的意图。单数的表达包括多数的表达，除非上下文中有明显不同的意思。在本说明书中，“包括”或“具有”等术
语应理解为要指定说明书中所记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、元件或它们组合的存在，不是事先排除一个或一个以上的其他特征或数字、步骤、动作、构成要素、元件或它们组合的存在或者附加可能性。
[0040]除非另有定义，否则包括技术的或科学的术语在内，在这里使用的所有术语都与在实施例所属的
中具有一般知识的人通常所理解的含义具有相同的意义。通常使用的词典中定义的那些术语，应解释为具有与在相关技术的上下文中所具有的含义一致的意义，除非在本申请中明确定义，否则不能解释为理想的或过于形式上的意思。
[0041]另外，在参照附图进行说明时，不管附图标号如何，同一构成要素赋予相同的参照标号，并省略其重复的说明。在说明实施例时，当判断对相关的公知技术的具体的说明可能会不必要地模糊实施例的要旨时，将省略其详细的说明。
[0042]另外，在说明实施例的构成要素时，可以使用第一、第二、A、B、(a)、(b)等术语。这些术语只是为了将该构成要素与其他构成要素区别开来，并不因该术语而限制相关构成要素的本质或顺序或步骤等。当某个构成要素被记载为“连接”、“结合”或“接入”于其他构成要素时，应理解为虽然该构成要素可以直接连接或接入于其他构成要素，但在各构成要素之间也可以“连接”、“结合”或“接入”有另外的构成要素。
[0043]在某一个实施例中包含的构成要素和包含共同功能的构成要素，在其他实施例中使用相同的名称来进行说明。如果没有相反的记载，任何一个实施例中记载的说明都可以适用于其他实施例，并在重复的范围内省略具体说明。
[0044]图1是根据一个实施例的基板清洗线1的概略立体图。
[0045]参照图1，根据一个实施例的基板清洗线1可用于对已研磨的基板进行清洗的基板清洗工艺。根据一个实施例，基板清洗线1可包括腔室部10及第一搬运机器人11。
[0046]基板(未本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板清洗线，其特征在于，包括：腔室部，其包括用于清洗基板的多个清洗腔室；以及第一搬运机器人，其将基板相对于多个清洗腔室搬入、搬出或移送；多个清洗腔室分别沿垂直方向叠层。2.根据权利要求1所述的基板清洗线，其特征在于，腔室部包括：第一腔室部；以及第二腔室部，其沿水平的方向与第一腔室部隔开配置。3.根据权利要求2所述的基板清洗线，其特征在于，第一搬运机器人配置在第一腔室部及第二腔室部之间。4.根据权利要求1所述的基板清洗线，其特征在于，第一搬运机器人可沿垂直及水平方向移动，能够以垂直于地面的轴为中心旋转。5.根据权利要求2所述的基板清洗线，其特征在于，第一腔室部包括第一清洗腔室、第二清洗腔室及第三清洗腔室，第二腔室部包括第四清洗腔室及第五清洗腔室。6.根据权利要求5所述的基板清洗线，其特征在于，第一清洗腔室、第二清洗腔室及第三清洗腔室从下侧向上侧依次叠层，第四清洗腔室及第五清洗腔室从上侧向下侧依次叠层。7.根据权利要求6所述的基板清洗线，其特征在于，第一搬运机器人按第一清洗腔室、第二清洗腔室、第三清洗腔室、第四清洗腔室及第五清洗腔室的顺序移送基板。8.根据权利要求6所述的基板清洗线，其特征在于，第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡熙成，李承恩，尹勤植，
申请(专利权)人：凯斯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：