【技术实现步骤摘要】
以下的实施例涉及一种基板研磨装置。
技术介绍
1、在制造基板时需要包括研磨、抛光(buffing)及/或清洗在内的cmp(chemicalmechanical polishing，化学机械研磨)作业。在基板的cmp作业中，需要通过研磨垫对基板的被研磨面进行研磨的工艺。cmp装置包括抓取基板的载体以及用于研磨基板的被研磨面的研磨垫。另一方面，为了有效地执行研磨，需要以适当的温度控制研磨垫的温度。
2、以上
技术介绍
是专利技术者在导出本申请的公开内容的过程中拥有或掌握的，并不一定是在本申请前向一般公众公开的公知技术。
技术实现思路
1、一个实施例的目的在于提供一种基板研磨装置，当喷射研磨液至研磨垫时，可减少或防止研磨液被纯水稀释。
2、一个实施例的目的在于提供一种基板研磨装置，其控制从研磨垫排出纯水的量，从而可喷射大量的纯水，或者可有效地将研磨中使用的研磨液和颗粒等排出到研磨垫外面。
3、根据一个实施例的基板研磨装置，包括：载体，其抓取基板；研磨垫，其旋转并且对被载体抓取的基板的被研磨面进行研磨；以及温度控制组件，其用于控制研磨垫的温度，温度控制组件可包括：纯水喷射模块，其向着研磨垫喷射纯水；以及导叶，其将从纯水喷射模块喷射的纯水的至少一部分导向至研磨垫的外面。
4、在一个实施例中，温度控制组件可包括：研磨液喷射模块，其向着研磨垫喷射研磨液；以及外壳，其收容纯水喷射模块及研磨液喷射模块，并且与导叶的一端部相结合。
5、在一个实施
6、在一个实施例中，导叶可包括翼部区域，其形成于另一端部，并且沿着研磨垫的旋转方向弯曲。
7、在一个实施例中，翼部区域可以是沿着研磨垫的旋转方向以规定的曲率弯曲的形状。
8、在一个实施例中，导叶可以是从研磨垫沿上部方向延长的形状。
9、在一个实施例中，导叶可包括弯曲区域，其形成于朝向研磨垫的上面的导叶的下侧端部。
10、在一个实施例中，弯曲区域可以是沿着研磨垫的旋转方向以规定的曲率弯曲的形状。
11、在一个实施例中，弯曲区域可以是沿着研磨垫的旋转方向以规定的角度折弯的形状。
12、在一个实施例中，弯曲区域可由包括聚氨酯、橡胶或硅胶中的至少一部分的弹性体构成。
13、在一个实施例中，温度控制组件可包括高度调节单元，其使得导叶上升或下降，以便调节研磨垫及导叶之间的距离。
14、在一个实施例中，温度控制组件可包括角度调节单元，其使得导叶倾斜，以便调节研磨垫及导叶之间的角度。
15、在一个实施例中，温度控制组件可包括清洗单元，其对导叶进行清洗。
16、根据一个实施例的基板研磨装置，其有效地将纯水排出到研磨垫外面，从而可减少或防止研磨液被纯水稀释，并且可通过将大量的纯水喷射至研磨垫来有效地调节研磨垫的温度。
17、另外，根据一个实施例的基板研磨装置不仅可将纯水，还可将研磨中使用的研磨液和颗粒等有效地排出到研磨垫外面。
18、根据一个实施例的基板研磨装置的效果不限于以上提到的效果，一般的技术人员可以从以下的记载中明确理解未提及的其他效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种基板研磨装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基板研磨装置，其特征在于，温度控制组件包括：研磨液喷射模块，其向着研磨垫喷射研磨液；以及
3.根据权利要求2所述的基板研磨装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的基板研磨装置，其特征在于，导叶包括：
5.根据权利要求4所述的基板研磨装置，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的基板研磨装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的基板研磨装置，其特征在于，导叶包括：
8.根据权利要求7所述的基板研磨装置，其特征在于，
9.根据权利要求7所述的基板研磨装置，其特征在于，
10.根据权利要求7所述的基板研磨装置，其特征在于，
11.根据权利要求1所述的基板研磨装置，其特征在于，温度控制组件包括：高度调节单元，其使得导叶上升或下降，以便调节研磨垫及导叶之间的距离。
12.根据权利要求1所述的基板研磨装置，其特征在于，温度控制组件包括：角度调节单元，其使得导叶倾斜，以便调节研磨垫及导叶之间的角
13.根据权利要求1所述的基板研磨装置，其特征在于，温度控制组件包括：清洗单元，其对导叶进行清洗。
...【技术特征摘要】
1.一种基板研磨装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基板研磨装置，其特征在于，温度控制组件包括：研磨液喷射模块，其向着研磨垫喷射研磨液；以及
3.根据权利要求2所述的基板研磨装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的基板研磨装置，其特征在于，导叶包括：
5.根据权利要求4所述的基板研磨装置，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的基板研磨装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的基板研磨装置，其特征在于，导叶包括：
8.根据权利要求7所述的基板研磨装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：申盛皓，郑熙澈，金绣镐，
申请(专利权)人：凯斯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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