辅助WAT生产监控的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种辅助WAT生产监控的方法，持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中晶圆的lot信息；将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面，显示界面用于显示每个WAT机台对应的测试信息、机台状态以及lot信息；根据显示界面筛选出符合设置条件的WAT机台中的lot信息。本发明专利技术的方法可监控WAT机台测试lot状态，帮助判断待测lot测试顺序，提高了监控效率。监控效率。监控效率。

【技术实现步骤摘要】
辅助WAT生产监控的方法及装置


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种辅助WAT生产监控的方法及装置。

技术介绍

[0002]WAT是英文Wafer Acceptance Test的缩写，意思是晶圆接受测试，业界也称WAT为工艺控制监测(Process Control Monitor，PCM)。WAT是在晶圆产品流片结束之后和品质检验之前，测量特定测试结构的电性参数。WAT的目的是通过测试晶圆上特定测试结构的电性参数，检测每片晶圆产品的工艺情况，评估半导体制造过程的质量和稳定性，判断晶圆产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求。WAT数据可以作为晶圆产品交货的质量凭证，另外WAT数据还可以反映生产线的实际生产情况，通过收集和分析WAT数据可以监测生产线的情况，也可以判断生产线变化的趋势，对可能发生的情况进行预警。
[0003]WAT测试可以分为inline(在线)WAT、Final(最终)WAT。Inline WAT是在inter
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metal(金属间化合物)阶段对器件做测试，Final WAT是在晶圆整个制程完成后对器件进行测试。
[0004]现有技术中查看线上lot测试信息(如测试lot使用的探针卡，测试时间，预计结束时间等)需要逐个机台查看；机台逐渐增多，人为逐个机台查询较浪费人力。
[0005]为此，需要一种辅助WAT生产监控的方法快速查看所有WAT机台信息(如机台状况、使用探针卡，测试lot信息)和待测lot的信息。

技术实现思路

[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种辅助WAT生产监控的方法，用于解决现有技术中查看线上lot测试信息需要逐个机台查看；机台逐渐增多，人为逐个机台查询较浪费人力的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种辅助WAT生产监控的方法，包括：
[0008]步骤一、持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于所述WAT机台中的lot信息；
[0009]步骤二、将多个所述WAT机台的所述测试信息、所述机台状态以及置于所述WAT机台中的所述lot信息整合至显示界面，所述显示界面用于显示每个所述WAT机台对应的所述测试信息、所述机台状态以及所述lot信息；
[0010]步骤三、根据所述显示界面筛选出符合设置条件的所述WAT机台中的所述lot信息。
[0011]优选地，步骤一中的所述测试信息包括每个所述WAT机台的编号、每组所述lot的编号、探针卡、测试条件、每组所述lot的开始测试时间以及预计测试时间、每组所述lot的需测试的晶圆片数以及已测试晶圆片数。
[0012]优选地，步骤二和步骤三中根据每个所述WAT机台的编号按顺序排列显示在所述
显示界面。
[0013]优选地，步骤一中所述测试信息由所述WAT机台的EST_Info.txt文件获取。
[0014]优选地，步骤一中所述机台状态和所述lot信息均由制造执行系统获取。
[0015]优选地，步骤一中的所述机台状态包括闲置、正常运转、维修、等待和检测中。
[0016]优选地，步骤三中所述WAT机台中无需测试的所述lot，则不显示所述lot的编号。
[0017]优选地，步骤一至三中的所述WAT机台包括在线测试和最终测试。
[0018]优选地，步骤三中所述设置条件为：等待时间小于2小时的所需所述在线测试和所述最终测试的所述WAT机台。
[0019]如上所述，本专利技术的辅助WAT生产监控的方法，具有以下有益效果：
[0020]本专利技术的方法可监控WAT机台测试lot状态，帮助判断待测lot测试顺序，提高了监控效率。
附图说明
[0021]图1显示为本专利技术的工艺流程示意图；
[0022]图2显示为本专利技术的显示界面示意图。
具体实施方式
[0023]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0024]请参阅图1，本专利技术提供一种辅助WAT生产监控的方法，包括：
[0025]步骤一，持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息；
[0026]WAT机台为WAT自动测试所需要的使用测试机台，可为Keysight和Agilent的测试机，测试机台分为测试机柜以及测试头。
[0027]晶圆生产出来后，在出晶圆厂之前，要经过—道电性测试，称为晶圆可接受度测试(WAT)。这个测试是测试在切割道(Scribe Line)上的测试键(TestKey)的电性能。测试键通常设计有各种元器原件，例如不同尺寸的NMOS、PMOS、电阻、电容以及其他工艺相关的特性。这一道可以当做是初选。那些有严重生产问题从而使得测试键的电性能超出规格之外的晶圆会在这一道被筛选出来，报废掉。WAT测试结束后，晶圆工艺就算完成。
[0028]在一种可选的实施方式中，步骤一中的测试信息包括每个WAT机台的编号(ID)、每组lot的编号(ID)、探针卡、测试条件、每组lot的开始测试时间以及预计测试时间、每组lot的需测试的晶圆片数以及已测试晶圆片数。
[0029]在一种可选的实施方式中，步骤一中测试信息由WAT机台的EST_Info.txt文件获取，EST_Info.txt文件用于记录测试信息，包含测试时间、机台编号、lot的测试参数等。
[0030]在一种可选的实施方式中，步骤一中机台状态和lot信息均由制造执行系统(MES，Manufacturing ExecutionSystem)获取，制造执行系统用于制品管理，设备管理，流程管理，权限管理、报警管理的系统。
[0031]在一种可选的实施方式中，步骤一中的机台状态包括闲置、正常运转、维修、等待和检测中等状态(IDLE/DOWN/PM/WAIT/MON)。
[0032]步骤二，将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面，显示界面用于显示每个WAT机台对应的测试信息、机台状态以及lot信息；
[0033]步骤三，请参阅图2，根据显示界面筛选出符合设置条件的WAT机台中的lot信息。
[0034]在一种可选的实施方式中，步骤三中WAT机台中无需测试的lot，则不显示lot的编号，也就是说，在显示界面中，lot编号一栏处显示为空。
[0035]在一种可选的实施方式中，步骤二和步骤三中根据每个WAT机台的编号按顺序排列显示在显示界面。
[0036]例如，有数字编号01至20的WAT机台，则WAT机台的顺序依照数字的大小排列，便于查看。
[0037]在一种可选的实施方式中，步骤一至三中的WAT机台包括在线测试和最终测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种辅助WAT生产监控的方法，其特征在于，至少包括：步骤一、持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于所述WAT机台中晶圆的lot信息；步骤二、将多个所述WAT机台的所述测试信息、所述机台状态以及置于所述WAT机台中的所述lot信息整合至显示界面，所述显示界面用于显示每个所述WAT机台对应的所述测试信息、所述机台状态以及所述lot信息；步骤三、根据所述显示界面筛选出符合设置条件的所述WAT机台中的所述lot信息。2.根据权利要求1所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤一中的所述测试信息包括每个所述WAT机台的编号、每组所述lot的编号、探针卡、测试条件、每组所述lot的开始测试时间以及预计测试时间、每组所述lot的需测试的晶圆片数以及已测试晶圆片数。3.根据权利要求2所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤二和步骤三中根据每个所述WAT机台的编号按顺序排列显示在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：余燕萍，刑阳阳，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：