下载辅助WAT生产监控的方法及装置的技术资料

文档序号:33779703

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种辅助WAT生产监控的方法,持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中晶圆的lot信息;将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面,显示界面用于显示每个WAT机台对应的...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。