一种测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法，测试设备包含一测试载台与一元件搬运装置。元件搬运装置包括一取放手臂、一真空吸附单元、一工作底盖与一流体传输组。真空吸附单元连接取放手臂，用以可移除地吸附至一待测物上。工作底盖的一端连接取放手臂，另端具有一凹陷槽与一弹性气密环。弹性气密环围绕凹陷槽，用以气密地覆盖于待测物的顶面，而让凹陷槽与待测物的顶面之间共同定义出一液体盛装空间。流体传输组部分地伸入液体盛装空间内，使得一液体温控装置能够注入与收回一能与待测物的顶面进行热交换的工作液体。透过以上架构，测试设备以液体直接接触受验元件，省略了层层的热阻，以提升散热效率，并排除热积存产生的问题。产生的问题。产生的问题。
【技术实现步骤摘要】
测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法
[0001]本专利技术有关于一种测试设备，尤指一种具有散热模块的测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法。
技术介绍
[0002]一般而言，在对半导体元件(例如半导体电路晶片，称受验元件，DUT)进行电性检测时，受验元件会被放置于一测试装置的测试座(socket)上，透过测试装置的压接头朝下压迫受验元件，使得受验元件能够有效电连接测试座，借此对受验元件执行测试作业。
[0003]然而，在测试过程时，压接头会快速累积许多热能于受验元件上，导致热积存问题，加上压接头对受验元件的散热效率有限，使得受验元件可能因过热而毁坏，更可能导致试验数据不够精准，影响测试结果。
技术实现思路
[0004]本专利技术的一目的在于提供一种测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法，用以解决以上先前技术所提到的困难。
[0005]本专利技术的一实施例提供一种测试设备。测试设备包含一第一抽真空装置、一液体温控装置、一测试载台与一元件搬运装置。元件搬运装置用以拾取并搬运一待测物至测试载台。元件搬运装置包括一取放手臂、一真空吸附单元、一工作底盖与一流体传输组。真空吸附单元连接取放手臂与第一抽真空装置，用以可移除地吸附至待测物上。工作底盖包含一盖体与一弹性气密环。盖体的一端连接取放手臂，另端具有一凹陷槽。弹性气密环固定地设置于盖体的另端，且围绕凹陷槽，用以气密地覆盖于待测物的一顶面，使得凹陷槽与待测物的顶面之间共同定义出一液体盛装空间。流体传输组位于工作底盖上，连接液体温控装置，且部分地伸入液体盛装空间内。如此，液体温控装置通过流体传输组连续注入一工作液体至待测物的顶面，使得工作液体与待测物进行热交换，并通过流体传输组抽回工作液体。
[0006]依据本专利技术一或多个实施例，上述的测试设备还包含一第二抽真空装置。工作底盖还包含一抽真空内管。抽真空内管形成于盖体内，围绕所述流体传输组。抽真空内管的一端连接第二抽真空装置，其另端贯穿弹性气密环，用以可移除地吸附至待测物的顶面。
[0007]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，工作底盖还包含一抽真空外管。抽真空外管形成于盖体内。抽真空外管的一端连接第二抽真空装置，其另端贯穿弹性气密环，用以可移除地吸附至待测物的顶面。抽真空外管围绕所述的抽真空内管与流体传输组。
[0008]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，流体传输组包含至少一第一输送管线与至少一第二输送管线。第一输送管线的一端位于凹陷槽内，另端连接液体温控装置，用以引导工作液体进入液体盛装空间。第二输送管线的一端位于凹陷槽内，另端连接液体温控装置，用以引导工作液体离开液体盛装空间。
[0009]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，当第二输送管线为多个，第一
输送管线位于这些第二输送管线之间。
[0010]依据本专利技术一或多个实施例，上述的测试设备还包含一抽水泵浦。流体传输组还包含一第三输送管线。第三输送管线的一端位于凹陷槽内，另端连接抽水泵浦。如此，当液体温控装置抽回工作液体之后，抽水泵浦通过第三输送管线将剩余的工作液体抽光。
[0011]依据本专利技术一或多个实施例，上述的测试设备还包含一热风提供装置。热风提供装置连接第一输送管线与第二输送管线。热风提供装置透过第一输送管线连续注入干燥空气至液体盛装空间内，以及透过第二输送管线将干燥空气抽出液体盛装空间。
[0012]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，第一输送管线的长轴方向垂直地穿过待测物的顶面。
[0013]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，第一输送管线为弯曲状，用以降低工作液体的流速。
[0014]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，第一输送管线的一末端还具有一流向引导部，流向引导部用以改变工作液体抵达待测物的顶面的流向。
[0015]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，待测物为一半导体元件，半导体元件包含一基板与一裸晶部。裸晶部位于基板上。如此，当元件搬运装置拾取半导体元件时，真空吸附单元吸附至基板的一面，弹性气密环气密地覆盖至裸晶部背对基板的一面，且第一输送管线的长轴方向穿过裸晶部的中心位置。
[0016]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试设备中，待测物为一半导体元件，半导体元件包含一基板、一裸晶单元与一遮罩盖。裸晶单元位于基板与遮罩盖之间，且热连接遮罩盖。如此，当元件搬运装置拾取半导体元件时，真空吸附单元吸附至基板的一面，弹性气密环气密地覆盖至遮罩盖背对基板的一面，且第一输送管线的长轴方向穿过裸晶单元的中心位置。
[0017]本专利技术的一实施例提供一种元件搬运装置。元件搬运装置包括一取放手臂、一真空吸附单元、一工作底盖与一流体传输组。真空吸附单元连接取放手臂，用以可移除地吸附至待测物上。工作底盖包含一盖体与一弹性气密环。盖体的一端连接取放手臂，另端具有一凹陷槽。弹性气密环固定地设置于盖体的另端，且围绕凹陷槽，用以气密地覆盖于待测物的一顶面，使得凹陷槽与待测物的顶面之间共同定义出一液体盛装空间。流体传输组包含多个输送管线。这些输送管线位于工作底盖上，分别伸入凹陷槽内，用以连接一液体温控装置。如此，当弹性气密环气密地覆盖于待测物的顶面，凹陷槽与待测物的顶面之间共同定义出一接通输送管线的液体盛装空间。
[0018]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的元件搬运装置中，工作底盖包含一抽真空内管与一抽真空外管。抽真空内管形成于盖体内，且围绕流体传输组。抽真空内管的一端贯穿弹性气密环，用以可移除地吸附至待测物的顶面。抽真空外管形成于盖体内，围绕抽真空内管与流体传输组。抽真空外管的一端贯穿弹性气密环，用以可移除地吸附至待测物的顶面。
[0019]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的元件搬运装置中，其中一输送管线为弯曲状。
[0020]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的元件搬运装置中，其中一输送管线的末端还具有一流向引导部。
[0021]本专利技术的一实施例提供一种测试方法。测试方法包含数个步骤如下。(a)透过一元件搬运装置真空吸附至一待测物的一顶面；(b)将元件搬运装置气密地覆盖至待测物的顶面，使得元件搬运装置与待测物的顶面之间共同定义出一液体盛装空间；(c)将待测物搬运至一测试载台；(d)注入一工作液体于液体盛装空间内，使得工作液体与待测物的顶面进行热交换，抽出液体盛装空间内的工作液体；(e)对待测物进行电性检测，并判断出待测物的温度不符一预设标准时，回到(d)；(f)在完成测试待测物之后，干燥液体盛装空间内的待测物；以及(g)将待测物从测试载台移至一收集区。
[0022]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试方法中，步骤(a)与步骤(b)为同时完成。
[0023]依据本专利技术一或多个实施例，在上述的测试方法中，步骤(f)还包含步骤如下。抽光液体盛装空间内所剩余的工作液体。注入一干燥空气至液体盛装空间内，以干燥待测物的顶面，以及将干燥空气抽出液体盛装空间。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测试设备，其特征在于，包含：一第一抽真空装置；一液体温控装置；一测试载台；以及一元件搬运装置，用以拾取并搬运一待测物至该测试载台，该元件搬运装置包括：一取放手臂；一真空吸附单元，连接该取放手臂与该第一抽真空装置，用以可移除地吸附至该待测物上；一工作底盖，包含一盖体与一弹性气密环，该盖体的一端连接该取放手臂，其另端具有一凹陷槽，该弹性气密环固定地设置于该盖体的该另端，且围绕该凹陷槽，用以气密地覆盖于该待测物的一顶面，使得该凹陷槽与该待测物的该顶面之间共同定义出一液体盛装空间；一流体传输组，位于该工作底盖上，连接该液体温控装置，且部分地伸入该液体盛装空间内，其中该液体温控装置通过该流体传输组连续注入一工作液体至该待测物的该顶面，使得该工作液体与该待测物进行热交换，并通过该流体传输组抽回该工作液体。2.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，还包含一第二抽真空装置，该工作底盖还包含一抽真空内管，该抽真空内管形成于该盖体内，且围绕该流体传输组，该抽真空内管的一端连接该第二抽真空装置，其另端贯穿该弹性气密环，用以可移除地吸附至该待测物的该顶面。3.根据权利要求2所述的测试设备，其特征在于，其中该工作底盖还包含一抽真空外管，该抽真空外管形成于该盖体内，该抽真空外管的一端连接该第二抽真空装置，其另端贯穿该弹性气密环，用以可移除地吸附至该待测物的该顶面，其中该抽真空外管围绕该抽真空内管与该流体传输组。4.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，其中该流体传输组包含至少一第一输送管线与至少一第二输送管线，该第一输送管线的一端位于该凹陷槽内，另端连接该液体温控装置，用以引导该工作液体进入该液体盛装空间，该第二输送管线的一端位于该凹陷槽内，另端连接该液体温控装置，用以引导该工作液体离开该液体盛装空间。5.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，其中当该至少一第二输送管线为多个，该第一输送管线位于所述第二输送管线之间。6.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，还包含一抽水泵浦，该流体传输组还包含至少一第三输送管线，该第三输送管线的一端位于该凹陷槽内，另端连接该抽水泵浦，其中当该液体温控装置抽回该工作液体之后，该抽水泵浦通过该第三输送管线将剩余的该工作液体抽光。7.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，还包含一热风提供装置，该热风提供装置连接该第一输送管线与该第二输送管线，其中该热风提供装置透过该第一输送管线连续注入干燥空气至该液体盛装空间内，以及透过该第二输送管线将该干燥空气抽出该液体盛装空间。8.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，其中该第一输送管线的长轴方向垂直
地穿过该待测物的该顶面。9.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，其中该第一输送管线为弯曲状，用以降低该工作液体的流速。10.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，其中该第一输送管线的一末端还具有一流向引导部，该流向引导部用以改变该工作液体抵达该待测物的该顶面的流向。11.根据权利要求4所述的测试设...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖致傑，程志丰，孙育民，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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