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一种测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法，测试设备包含一测试载台与一元件搬运装置。元件搬运装置包括一取放手臂、一真空吸附单元、一工作底盖与一流体传输组。真空吸附单元连接取放手臂，用以可移除地吸附至一待测物上。工作底盖的一端连接取放手...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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