一种无死角的视窗制造技术

本申请提供一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件，所述观察窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件设置在主腔体内并且与安装架连接，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架具有第一通孔，第一通孔与外层玻璃的位置相对应，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能，反射件相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件和/或反射件的反射后穿过第一通孔到达外层玻璃而进入人眼，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。过第一通孔。过第一通孔。

【技术实现步骤摘要】
一种无死角的视窗


[0001]本专利技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种无死角的视窗。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。
[0003]在镀膜的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的主腔体内的运行状况，坩埚内蒸镀材料的情况、镀锅的回转情况、加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，应用几次之后回转玻璃被全部镀膜没法再进行观察，就需要经常更换腔体门内的回转玻璃。现有技术的视窗，坩埚内的后半部受到坩埚的右侧围的影响，是观测不到的，是观测死角。
[0004]有鉴于此，本专利技术提供一种无死角的视窗，能够无死角的观察真空蒸镀机的主腔体内的情况，并且该视窗没有因镀膜而需要更换的部件。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于，提供一种无死角的视窗，能够无死角的观察真空蒸镀机的主腔体内的情况，并且该视窗没有因镀膜而需要更换的部件。
[0006]本申请的无死角的视窗，坩埚内的光线通过反射镜22反射后，再通过上延伸件131的下表面反射后穿过第一通孔121到达外层玻璃11或者直接穿过第一通孔121到达外层玻璃11，能够观察到坩埚内的后半部及右侧围的情况，消除观测死角；同时，延伸件起到反射光线以方便人眼观察主腔体内情况和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过安装架的第一通孔的双重作用，没有蒸镀材料穿过安装架的第一通孔和腔体门通孔，外层玻璃不会被镀膜，外层玻璃不需要更换，可以用几年没有问题，其中，上方延伸件的下表面被镀膜后会越镀越亮，不影响反射的效果，因此没有因镀膜而需要更换的部件。本申请人在此基础上完成了本申请。
[0007]一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗1和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件2，所述观察窗1的结构从外向内包括：外层玻璃11、安装架12和延伸件13，所述外层玻璃11和安装架12固定在腔体门上，延伸件13设置在主腔体内并且与安装架12连接，延伸件13与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架12具有第一通孔121，第一通孔121与外层玻璃11的位置相对应，延伸件13有两个，两个延伸件13上
下设置在第一通孔121的上下两边，延伸件13中的一个或者两个具有反射功能，反射件2相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件13和/或反射件2的反射后穿过第一通孔121到达外层玻璃11而进入人眼，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件13阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔121。
[0008]在一些实施方式中，镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，设置在上方的延伸件13为上方延伸件131，设置在下方的延伸件13为下方延伸件132，当观察窗1的上方延伸件131的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L
×
cotb时，延伸件13起到反射光线和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔121的双重作用；当观察窗1的上方延伸件131的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L
×
cotb时，延伸件13起到反射光线的作用。
[0009]进一步的，当观察窗1的上方延伸件131的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L
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cotb时，需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面最左侧点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为c,坩埚内的蒸镀材料的表面最左侧点与腔体门之间的距离为L1，观察窗1的上方延伸件131的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1
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cotc。
[0010]当观察窗1的上方延伸件131的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L
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cotb时，此时不需要延伸件13的阻挡也没有蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔121，散射角b以外的少量的蒸镀材料可以忽略不计，外层玻璃11用几年也不用更换，但是坩埚内的蒸镀材料的表面低于坩埚的上表面，坩埚为碗状的形状，当观察坩埚内蒸镀材料时坩埚的侧围会造成视觉上的影响，当观察窗1的上方延伸件131的最高点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L1
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cotc时，人眼通过该观察窗1无法观察到任何坩埚内的蒸镀材料，视线完全被坩埚的右侧围阻挡，因此为了能够观察到坩埚内的蒸镀材料的状况，观察窗1在腔体门上的高度最低需满足，观察窗1的上方延伸件131的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1
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cotc。
[0011]进一步的，当观察窗1的上方延伸件131的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L
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cotb时，需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件132的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件132的长度为M，上方延伸件131和下方延伸件132在安装架12上的间距小于等于M
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cosa+M
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sina
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cotd。
[0012]当观察窗1的上方延伸件131的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L
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cotb时，此时在散射角b范围内，需要延伸件13的阻挡蒸发的蒸镀材料，而延伸件13的阻挡蒸发的蒸镀材料的条件为：上方延伸件131和下方延伸件132在安装架12上的间距小于等于M
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cosa+M
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sina
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cotd，若上方延伸件131和下方延伸件132在安装架12上的间距大于M
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cosa+M
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sina
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cotd，则会有蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔121和腔体门通孔镀膜到外层玻璃11的内表面，外层玻璃11的内表面被镀膜后人眼通过外层玻璃11无法观察到主腔体内的情况，需要定期更换外层玻璃11。
[0013]在一些实施方式中，所述反射件2包括反射固定部21和反射镜22,反射固定部21与主腔体的后面板固定，反射镜22与反射固定部21连接，反射镜22与主腔体的后面板具有倾斜角度，倾斜角度为10<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无死角的视窗，其特征在于，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗(1)和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件(2)，所述观察窗(1)的结构从外向内包括：外层玻璃(11)、安装架(12)和延伸件(13)，所述外层玻璃(11)和安装架(12)固定在腔体门上，延伸件(13)设置在主腔体内并且与安装架(12)连接，延伸件(13)与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架(12)具有第一通孔(121)，第一通孔(121)与外层玻璃(11)的位置相对应，延伸件(13)有两个，两个延伸件(13)上下设置在第一通孔(121)的上下两边，延伸件(13)中的一个或者两个具有反射功能，反射件(2)相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件(13)和/或反射件(2)的反射后穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)而进入人眼，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件(13)阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔(121)。2.如权利要求1所述的无死角的视窗，其特征在于，镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，设置在上方的延伸件(13)为上方延伸件(131)，设置在下方的延伸件(13)为下方延伸件(132)，当观察窗(1)的上方延伸件(131)的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L
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cotb时，延伸件(13)起到反射光线和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔(121)的双重作用；当观察窗(1)的上方延伸件(131)的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L
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cotb时，延伸件(13)起到反射光线的作用。3.如权利要求2所述的无死角的视窗，其特征在于，当观察窗(1)的上方延伸件(131)的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L
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cotb时，需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面最左侧点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为c,坩埚内的蒸镀材料的表面最左侧点与腔体门之间的距离为L1，观察窗(1)的上方延伸件(131)的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1
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cotc。4.如权利要求2所述的无死角的视窗，其特征在于，当观察窗(1)的上方延伸件(131)的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L
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cotb时，需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件(132)的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件(132)的长度为M，上方延伸件(131)和下方延伸件(132)在安装架(12)上的间距小于等于M
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cosa+M
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sina

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：