一种真空镀膜机的箱体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的箱体结构，涉及真空镀膜机技术领域，包括箱炉和箱盖，箱盖可转动的密封在在箱炉上，箱炉呈圆柱体结构，箱炉内部设置用于镀膜加工的真空腔室，箱炉侧壁设置若干连通真空腔室的连接口和抽空管，箱炉的外侧壁上还对称设置连接座，连接座上连接第一转轴，沿箱炉外侧壁等距离排列设置若干锁紧件，其操作简单，同时箱炉与箱盖之间连接的更加紧密，密封效果更佳，通过设置第一观察部可以大范围的观察到箱体内部的镀膜情况，通过设置第二观察部和调节旋钮，可以调节目筒和物筒之间距离改变焦距，便于对工件的镀膜细节进行观察，提高判断的准确性。提高判断的准确性。提高判断的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的箱体结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体涉及一种真空镀膜机的箱体结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的工艺。真空镀膜的工作主要在镀膜机的箱体内部进行完成，对于箱体的密闭性具有较高的要求。
[0003]但是现有的真空镀膜机箱体存在操作麻烦的问题，同时在镀膜过程中，仅仅通过现有的观察窗对工件镀膜情况进行查看，可能会存在观察不清楚，具体细节不能清晰辨认的问题。因此我们有必要针对现有技术的不足，而提出一种真空镀膜机的箱体结构。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中的不足，本技术提出一种真空镀膜机的箱体结构，其操作简单，能够清楚观察到箱体内部镀膜细节。
[0005]为了实现上述目的，本技术的一种真空镀膜机的箱体结构，包括箱炉和箱盖，箱盖可转动的密封在在箱炉上，箱炉呈圆柱体结构，箱炉内部设置用于镀膜加工的真空腔室，箱炉侧壁设置若干连通真空腔室的连接口和抽空管，箱炉的外侧壁上还对称设置连接座，连接座上连接第一转轴，沿箱炉外侧壁等距离排列设置若干锁紧件；
[0006]箱盖的侧边对称设置固定杆，固定杆上连接第二转轴，第一转轴和第二转轴之间转动连接连接架，箱盖的中部位置安装用于观察真空腔室的观察窗，箱盖上还设置若干与连接件位置相对应的卡扣，箱盖通过连接架与箱炉呈转动连接、并通过卡扣卡合连接件与箱炉固定；
[0007]箱炉的底部设置用于连接工作台的固定座。
[0008]优选的，连接件包括安装座、连杆和转把，两安装座呈平行设置，两安装座之间水平连接连杆，连杆位于两安装座之间的位置转动连接球轴，球轴上固定连接螺杆，螺杆上通过螺纹旋接转把，转把底部设置用于接触卡扣的的套筒。
[0009]优选的，卡扣外侧凹设呈圆弧形结构的卡槽，卡扣连接连接件时，螺杆卡合在卡槽内，并且套筒通过摩擦力与卡扣端面接触。
[0010]优选的，观察窗通过固定板固定在箱盖中心位置，观察窗包括第一观察部和第二观察部，第一观察部两端分别设置玻璃镜片，第二观察部靠近真空腔室的端部设置玻璃镜片，第二观察部内部设置目筒和物筒，目筒一端伸出第二观察部、另一端滑动连接物筒。
[0011]优选的，第二观察部内设置丝杆，丝杆一端伸出第二观察部连接旋钮、另一端通过轴承固定，丝杆上通过螺纹旋接滑座，滑座固定连接在物筒的侧壁上，并且物筒还通过侧壁上设置的滑块与第二观察部的内侧壁呈滑动连接。
[0012]本技术具有以下有益效果：
[0013]本技术提出的真空镀膜机的箱体结构，其操作简单，同时箱炉与箱盖之间连
接的更加紧密，密封效果更佳，通过设置第一观察部可以大范围的观察到箱体内部的镀膜情况，通过设置第二观察部和调节旋钮，可以调节目筒和物筒之间距离改变焦距，便于对工件的镀膜细节进行观察，提高判断的准确性。
附图说明
[0014]下面结合附图对本技术作进一步描写和阐述。
[0015]图1是本技术首选实施方式的一种真空镀膜机的箱体结构的整体结构示意图。
[0016]图2是图1中箱体结构的箱炉的结构示意图。
[0017]图3是图1中箱体结构的箱盖的结构示意图。
[0018]图4是图2中箱炉的锁紧件结构示意图。
[0019]图5是图3中箱盖的观察窗结构示意图。
[0020]附图标记：1、箱炉；11、连接口；12、抽空管；13、连接座；14、第一转轴；15、锁紧件；16、安装座；17、连杆；18、螺杆；19、球轴；110、转把；2、箱盖；21、固定杆；22、第二转轴；23、卡扣；24、观察窗；25、第一观察部；26、第二观察部；27、玻璃镜片；28、固定板；29、目筒；210、物筒；211、滑座；212、丝杆；213、旋钮；3、固定座。
具体实施方式
[0021]下面将结合附图、通过对本技术的优选实施方式的描述，更加清楚、完整地阐述本技术的技术方案。
[0022]实施例
[0023]如图1所示，本技术的一种真空镀膜机的箱体结构，包括箱炉1和箱盖2，箱盖2可转动的密封在在箱炉1上。
[0024]本实施例中箱盖2与箱炉1连接密封，通过抽空泵对箱炉1的内部进行抽空，使得箱炉1的真空腔室达到真空状态，工件的镀膜在工作在箱炉1的内部进行。
[0025]如图2和图4所示，箱炉1呈圆柱体结构，箱炉1内部设置用于镀膜加工的真空腔室，箱炉1侧壁设置若干连通真空腔室的连接口11和抽空管12，箱炉1的外侧壁上还对称设置连接座13，连接座13上连接第一转轴14，沿箱炉1外侧壁等距离排列设置若干锁紧件15。
[0026]本实施例中，连接件包括安装座16、连杆17和转把110，两安装座16呈平行设置，两安装座16之间水平连接连杆17，连杆17位于两安装座16之间的位置转动连接球轴19，球轴19上固定连接螺杆18，螺杆18上通过螺纹旋接转把110，转把110底部设置用于接触卡扣23的的套筒，卡扣23外侧凹设呈圆弧形结构的卡槽，卡扣23连接连接件时，螺杆18卡合在卡槽内，并且套筒通过摩擦力与卡扣23端面接触。在箱盖2密封箱炉1时，将箱盖2翻转至箱炉1开口侧，然后将各个螺杆18分别翻转至卡扣23的卡槽处，然后逆时针转动转把110，转把110沿着螺杆18移动至卡扣23处，利用螺杆18底部套筒与卡扣23端面之间的摩擦力，实现箱盖2与箱炉1之间的固定。
[0027]如图3和图5所示，箱盖2的侧边对称设置固定杆21，固定杆21上连接第二转轴22，第一转轴14和第二转轴22之间转动连接连接架，箱盖2的中部位置安装用于观察真空腔室的观察窗24，箱盖2上还设置若干与连接件位置相对应的卡扣23，箱盖2通过连接架与箱炉1
呈转动连接、并通过卡扣23卡合连接件与箱炉1固定。
[0028]本实施例中，观察窗24通过固定板28固定在箱盖2中心位置，观察窗24包括第一观察部25和第二观察部26，第一观察部25两端分别设置玻璃镜片27，第二观察部26靠近真空腔室的端部设置玻璃镜片27，第二观察部26内部设置目筒29和物筒210，目筒29一端伸出第二观察部26、另一端滑动连接物筒210，第二观察部26内设置丝杆212，丝杆212一端伸出第二观察部26连接旋钮213、另一端通过轴承固定，丝杆212上通过螺纹旋接滑座211，滑座211固定连接在物筒210的侧壁上，并且物筒210还通过侧壁上设置的滑块与第二观察部26的内侧壁呈滑动连接。在镀膜过程中，操作人员可以通过观察窗24观察到真空腔室内部的镀膜情况，通过第一观察部25可以大范围的观察到整个真空腔室内整体镀膜情况；第二观察部26的目筒29内置目镜，物筒210内置物镜，在需要对具体镀膜细节经常观察的时候，可以通过转动旋钮213调节目筒29与物筒210之间的距离，保证第二观察部26能够精准聚焦到工件上，使得操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的箱体结构，包括箱炉和箱盖，所述箱盖可转动的密封在在箱炉上，其特征在于，所述箱炉呈圆柱体结构，所述箱炉内部设置用于镀膜加工的真空腔室，所述箱炉侧壁设置若干连通真空腔室的连接口和抽空管，所述箱炉的外侧壁上还对称设置连接座，所述连接座上连接第一转轴，沿所述箱炉外侧壁等距离排列设置若干锁紧件；所述箱盖的侧边对称设置固定杆，所述固定杆上连接第二转轴，所述第一转轴和第二转轴之间转动连接连接架，所述箱盖的中部位置安装用于观察真空腔室的观察窗，所述箱盖上还设置若干与连接件位置相对应的卡扣，所述箱盖通过连接架与箱炉呈转动连接、并通过卡扣卡合连接件与箱炉固定；所述箱炉的底部设置用于连接工作台的固定座。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的箱体结构，其特征在于，所述连接件包括安装座、连杆和转把，两所述安装座呈平行设置，两所述安装座之间水平连接连杆，所述连杆位于两安装座之间的位置转动连接球轴，所述球轴上固定连接螺杆，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：应世强，应佳根，
申请(专利权)人：南京丙辰表面技术有限公司，
类型：新型
国别省市：