一种真空镀膜机用镀膜室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机用镀膜室，属于真空镀膜机技术领域，包括真空罩和位于所述真空罩底部的底座组成的真空室以及与所述真空室之间通过材料进出口相互连通的烘干室，所述烘干室用于对蒸镀材料进行烘干，其底部设置有电热丝和吹风机组成的烘干装置，其顶部设置有排气孔，所述材料进出口用于蒸镀材料进入所述真空室，且所述真空室内部还设置有封闭机构用于闭合所述材料进出口，所述真空室的内部安装有镀膜机构、真空抽气管和基片台。通过将镀膜室分为烘干室和真空室，其中烘干室用来将输送进真空室的蒸镀材料进行烘干，避免蒸镀材料在蒸发过程中产生水蒸汽影响镀膜效果和真空室内的真空效果，从而提高了镀膜产品的品质。的品质。的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用镀膜室


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，特别涉及一种真空镀膜机用镀膜室。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空蒸镀是最普遍、应用最广的真空镀膜工艺，真空蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子
→
气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送
→
气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜
→
薄膜原子重构或产生化学键合。
[0003]镀膜室是真空镀膜机的重要组成部分，为基片的镀膜提供真空环境，但是由于蒸镀材料在未送入镀膜室之前为成卷状态，因此蒸镀材料的夹层容易夹杂湿润的空气，在蒸镀材料镀膜时被加热产生少量的水蒸汽，不仅影响镀膜的品质，而且破坏了镀膜室的真空环境，而且传统的镀膜室不方便取出镀膜好的基片。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于为了解决上述真空镀膜机的镀膜室因为蒸镀材料夹杂空气导致镀膜品质降低的问题而提供一种真空镀膜机用镀膜室，具有镀膜效果好，镀膜后的基片取出更方便的优点。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种真空镀膜机用镀膜室，包括真空罩和位于所述真空罩底部的底座组成的真空室以及与所述真空室之间通过材料进出口相互连通的烘干室，所述烘干室用于对蒸镀材料进行烘干，其底部设置有电热丝和吹风机组成的烘干装置，其顶部设置有排气孔，所述材料进出口用于蒸镀材料进入所述真空室，且所述真空室内部还设置有封闭机构用于闭合所述材料进出口，所述真空室的内部安装有镀膜机构、真空抽气管和基片台。
[0006]优选的，所述封闭机构包括安装在固定梁上的固定板和封堵板，材料进出口位于固定板和封堵板之间，且封堵板通过封闭气缸驱动贴近或远离固定板实现材料进出口的关闭和打开。
[0007]优选的，所述固定板固定在固定梁的底端，固定梁上开设有滑槽，封堵板的端部与滑槽滑动连接。
[0008]优选的，所述底座与真空罩之间可拆卸，底座安装在移动升降架上，底座上设置有与真空罩贴合的贴合槽。
[0009]优选的，所述移动升降架包括顶板和底板组成的架体结构，其中顶板与底座之间贴触，底板与顶板之间安装有控制顶板升降的电动推杆，底板的底部安装有移动轮。
[0010]优选的，所述镀膜机构和真空抽气管安装在真空罩上，基片台安装在底座上。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过将镀膜室分为烘干室和真空室，其中烘干室用来将输送进真空室的蒸镀材
料进行烘干，避免蒸镀材料在蒸发过程中产生水蒸汽影响镀膜效果和真空室内的真空效果，从而提高了镀膜产品的品质，可供蒸镀材料进入真空室的材料进出口可由封闭机构进行开合管理，在不影响蒸镀材料输送的情况下保证真空室内不漏气。
[0013]2、通过将组成真空室的真空罩和底座设置成可分离的结构，底座由移动升降架支撑，方便将底座送入真空罩底部，真空罩内抽真空时，由于内部负压，导致底座可以被紧紧的吸在真空罩底部，镀膜完毕后，移动升降架再支撑底座脱离真空罩，方便基片台的取料。
附图说明
[0014]图1为本技术的镀膜室整体结构示意图。
[0015]图2为本技术的封闭机构结构示意图。
[0016]图3为本技术的封堵板安装结构示意图。
[0017]图4为本技术的移动升降架结构示意图。
[0018]图中：1、真空罩，2、烘干室，3、电热丝，4、吹风机，5、排气孔，6、材料进出口，7、镀膜机构，8、真空抽气管，9、基片台，10、底座，11、移动升降架，12、封闭机构，13、封闭气缸，14、封堵板，15、固定板，16、固定梁，17、滑槽，18、贴合槽，19、顶板，20、电动推杆，21、底板，22、移动轮。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参考图1所示，一种真空镀膜机用镀膜室，包括真空罩1和位于真空罩1底部的底座10组成的真空室以及与真空室之间通过材料进出口6相互连通的烘干室2，烘干室2用于对蒸镀材料进行烘干，其底部设置有电热丝3和吹风机4组成的烘干装置，其顶部设置有排气孔5，材料进出口6用于蒸镀材料进入真空室，且真空室内部还设置有封闭机构12用于闭合材料进出口6，真空室的内部安装有镀膜机构7、真空抽气管8和基片台9，蒸镀材料进入真空室之前需要通过烘干室2进行热风干，电热丝3加热空气通过吹风机4将热空气吹向蒸镀材料表面，将蒸镀材料表面的湿润空气蒸发顺着排气孔5排出烘干室2，蒸镀材料被风干处理后通过材料进出口6进入真空室中，利用镀膜机构7进行蒸发镀膜使蒸发后的蒸镀材料粒子经过沉积落在基片台9上的基片表面，完成基片的镀膜。
[0021]如图2和图3所示，封闭机构12包括安装在固定梁16上的固定板15和封堵板14，材料进出口6位于固定板15和封堵板14之间，且封堵板14通过封闭气缸13驱动贴近或远离固定板15实现材料进出口6的关闭和打开，材料进出口6用来通过蒸镀材料，而封闭机构12是在真空室被抽真空时封堵材料进出口6，维持真空室的密封环境，封闭机构12采用封堵板14贴合固定板15实现对材料进出口6的关闭，固定板15固定在固定梁16的底端，固定梁16上开设有滑槽17，封堵板14的端部与滑槽17滑动连接，滑槽17用来方便封堵板14的移动。
[0022]如图1和图3所示，底座10与真空罩1之间可拆卸，底座10安装在移动升降架11上，底座10上设置有与真空罩1贴合的贴合槽18，真空室通过底座10与真空罩1底部贴合形成，
镀膜机构7和真空抽气管8安装在真空罩1上，基片台9安装在底座10上，基片台9安装在底座10上，在底座10从真空罩1脱离时，基片台9也可以脱离真空室，方便基片的取放，底座10贴上真空罩1后，利用真空抽气管8接入真空泵，将真空室内的空气抽出，使真空室处于真空环境，底座10由于真空室的负压环境被紧紧的吸在真空罩1底部，移动升降架11包括顶板19和底板21组成的架体结构，其中顶板19与底座10之间贴触，底板21与顶板19之间安装有控制顶板19升降的电动推杆20，底板21的底部安装有移动轮22，移动升降架11的顶板19可以和底座10脱离，适合在真空镀膜机包含多个镀膜室情况下的底座10输送，底座10通过移动升降架11送至真空罩1的底部，通过移动轮22可方便将底座10运输到指定的位置，通过电动推杆20可方便底座10升起与真空罩1底部贴合。
[0023]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用镀膜室，其特征在于，包括真空罩(1)和位于所述真空罩(1)底部的底座(10)组成的真空室以及与所述真空室之间通过材料进出口(6)相互连通的烘干室(2)，所述烘干室(2)用于对蒸镀材料进行烘干，其底部设置有电热丝(3)和吹风机(4)组成的烘干装置，其顶部设置有排气孔(5)，所述材料进出口(6)用于蒸镀材料进入所述真空室，且所述真空室内部还设置有封闭机构(12)用于闭合所述材料进出口(6)，所述真空室的内部安装有镀膜机构(7)、真空抽气管(8)和基片台(9)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜室，其特征在于，所述封闭机构(12)包括安装在固定梁(16)上的固定板(15)和封堵板(14)，材料进出口(6)位于固定板(15)和封堵板(14)之间，且封堵板(14)通过封闭气缸(13)驱动贴近或远离固定板(15)实现材料进出口(6)的关闭和打开。3.根据权利要求2所述的一种真...

【专利技术属性】
技术研发人员：应世强，应佳根，
申请(专利权)人：南京丙辰表面技术有限公司，
类型：新型
国别省市：