蒸镀源及蒸镀方法技术

本公开一些实施例公开了蒸镀源及蒸镀方法，涉及显示装置制备技术领域，用于提高速率调控响应速度，从而提蒸镀高速率稳定性。所述蒸镀源包括：坩埚本体、喷嘴、坩埚载体和坩埚本体加热器，所述坩埚本体具有开口端、封闭端以及被配置为容纳蒸镀材料的腔室；所述喷嘴设置于所述坩埚本体的开口端，并通过所述开口端与所述腔室连通；所述坩埚本体设置于所述坩埚载体内部；所述坩埚本体加热器设置于所述坩埚本体的外表面上，所述坩埚本体加热器包括加热环。所述蒸镀源用于制造显示面板。所述蒸镀源用于制造显示面板。所述蒸镀源用于制造显示面板。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀源及蒸镀方法


[0001]本公开涉及显示装置制备
，尤其涉及一种蒸镀源及蒸镀方法。

技术介绍

[0002]OLED显示器作为当前着力发展的显示产品，是当今显示技术研究的热门领域。OLED器件是OLED显示器中的关键部件，通常包括两个相对的电极以及位于该两个电极之间的EL(电致发光)材料。对该两个电极施加不同的电压，从而激发EL材料发光。
[0003]在OLED器件制备技术中，EL材料蒸镀工艺是一项重要的工艺。在高真空状态下使用加热的方式，将有机材料熔化(升华)成由原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后蒸汽在基板上沉积形成EL材料薄膜。
[0004]而为了确保形成的OLED器件的颜色性能，需要使在基板上形成的每层EL材料薄膜尽可能地平整。对于几百埃的膜层厚度，要求其膜厚误差仅为几埃。因此，为了确保膜厚的稳定性，要保证蒸镀材料从蒸发源蒸发出来的速率稳定，否则就会出现较大的膜厚差异。这对蒸镀源蒸发材料的稳定性提出了挑战。

技术实现思路

[0005]本公开一些实施例的目的在于提供一种蒸镀源及蒸镀方法，以实现热量的快速传递，提高速率调控响应速度，从而提蒸镀高速率稳定性。
[0006]为达到上述目的，本公开一些实施例提供了如下技术方案：
[0007]第一方面，提供了一种蒸镀源。所述蒸镀源包括坩埚本体、喷嘴、坩埚载体和坩埚本体加热器。所述坩埚本体具有开口端和封闭端、以及被配置为容纳蒸镀材料的腔室；所述喷嘴设置于所述坩埚本体的开口端，并通过所述开口端与所述腔室连通；所述坩埚本体设置于所述坩埚载体内部；所述坩埚本体加热器设置于所述坩埚本体的外表面上；所述坩埚本体加热器包括加热环。
[0008]在一些实施例中，所述喷嘴包括倾斜设置的斜壁和位于所述斜壁的远离所述坩埚本体一侧的开口；所述坩埚载体包括下部、侧部和上部，所述下部和所述上部均为板状，所述侧部为两端开口的筒状；所述侧部分别与所述下部和所述上部垂直；所述斜壁从所述坩埚载体的上部伸出；且所述坩埚本体的底部和所述坩埚载体下部的中心区域相接触。
[0009]在一些实施例中，所述加热环为覆盖于所述坩埚本体外表面的连续的环状结构；所述加热环的高度与所述坩埚本体的高度相同。
[0010]在一些实施例中，所述加热环包括多个子加热环，所述多个子加热环间隔设置于所述坩埚本体的外表面上。
[0011]在一些实施例中，每个所述子加热环的高度范围为1mm～10mm，且每个所述子加热环的高度相同；相邻的两个所述子加热环之间的间隔范围为1mm～10mm，且每相邻的两个所述子加热环之间的间隔相同。
[0012]在一些实施例中，所述蒸镀源还包括多个绝缘环；所述多个绝缘环设置于所述坩
埚本体的外表面上，且设置于所述多个子加热环之间的间隔中。
[0013]在一些实施例中，所述蒸镀源还包括外壳、导电块和弹簧。所述外壳具有底壁和侧壁，所述侧壁与所述底壁垂直；其中，所述坩埚载体下部设置有多个过孔，所述多个过孔围绕所述坩埚本体的外侧设置，所述侧壁穿过所述多个过孔进入所述坩埚载体的内部。所述导电块设置于所述侧壁的远离所述底壁的端部；所述导电块为滚动结构。所述弹簧设置于所述坩埚载体的下部与所述外壳的底壁之间；所述弹簧的强度被配置为与所述坩埚载体的重量相适应。
[0014]在一些实施例中，所述坩埚载体的上部还包括远离所述侧部的端部；所述蒸镀源还包括喷嘴加热器，所述喷嘴加热器设置于所述端部。
[0015]在一些实施例中，所述坩埚本体的材料为热解氮化硼；所述坩埚本体加热器的材料为钽或热解石墨。
[0016]本公开一些实施例提供的蒸镀源，通过将坩埚本体加热器设置于坩埚本体的外侧表面上，由此，可以将热量直接从坩埚本体加热器传递至坩埚本体，实现热量的快速传递，从而可以提高蒸镀源速率调节的响应速度，提高蒸镀速率的稳定性。
[0017]第二方面，提供了一种蒸镀方法，所述蒸镀方法使用如第一方面一些实施例所述的蒸镀源进行蒸镀。所述蒸镀方法包括蒸镀阶段。所述蒸镀阶段包括：所述导电块为与所述导电块接触的所述子加热环通电，所述子加热环通电后为与所述子加热环对应位置处的所述蒸镀材料进行加热；随着所述坩埚本体中的所述蒸镀材料逐渐减少，所述弹簧推动所述坩埚载体向上移动，所述导电块在所述坩埚本体的外表面上滚动，并与所述坩埚本体加热器的不同位置处的所述子加热环接触并对其供电。
[0018]本公开第二方面的实施例提供的蒸镀方法的有益效果，与上述第一方面实施例提供的蒸镀源所能达到的有益效果相同，在此不做赘述。
附图说明
[0019]此处所说明的附图用来提供对本公开实施例的进一步理解，构成本公开实施例的一部分，本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。此外，以下描述中的附图可以视作示意图，并非对本公开实施例所涉及的产品的实际尺寸、方法的实际流程等的限制。
[0020]图1为根据一些实施例的一种蒸镀源的结构示意图；
[0021]图2为根据一些实施例的又一种蒸镀源的结构示意图；
[0022]图3为根据一些实施例的一种蒸镀源的结构示意图；
[0023]图4为根据一些实施例的一种蒸镀源的结构示意图；
[0024]图5为根据一些实施例的一种蒸镀方法的示意图；
[0025]图6为根据一些实施例的一种蒸镀方法的示意图。
具体实施方式
[0026]为便于理解，下面结合说明书附图，对本公开一些实施例提供的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是所提出的技术方案的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开的一些实施例，本领域技术人员所能获得的所有其他实施例，均属于本
公开保护的范围。
[0027]除非上下文另有要求，否则，在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”被解释为开放、包含的意思，即为“包含，但不限于”。在说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例性实施例”、“示例”、“特定示例”或“一些示例”等旨在表明与该实施例或示例相关的特定特征、结构、材料或特性包括在本公开的至少一个实施例或示例中。上述术语的示意性表示不一定是指同一实施例或示例。此外，所述的特定特征、结构、材料或特点可以以任何适当方式包括在任何一个或多个实施例或示例中。
[0028]在本公开实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0029]在描述一些实施例时，可能使用了“连接”及其衍伸的表达。例如，描述一些实施例时可能使用了术语“连接”以表明两个或两个以上部件彼此间有直接物理接触或电接触。这里所公开的实施例并不必然限制于本文内容。
[0030]“A、B和C中的至少一个”与“A、B或C中的至少一个”具有相同含义，均包括以下A、B和C的组合：仅A，仅B，仅C，A和B的组合，A和C的组合，B和C的组合，及A、B和C的组合。
[0031]“A和/或B”，包括以下三种组合：仅A，仅B，及A和B的组合。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有开口端、封闭端以及被配置为容纳蒸镀材料的腔室；喷嘴，所述喷嘴设置于所述坩埚本体的开口端，并通过所述开口端与所述腔室连通；坩埚载体，所述坩埚本体设置于所述坩埚载体内部；坩埚本体加热器，所述坩埚本体加热器设置于所述坩埚本体的外表面上；所述坩埚本体加热器包括加热环。2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述喷嘴包括倾斜设置的斜壁和位于所述斜壁的远离所述坩埚本体一侧的开口；所述坩埚载体包括下部、侧部和上部，所述下部和所述上部均为板状，所述侧部为两端开口的筒状；所述侧部分别与所述下部和所述上部垂直；所述斜壁从所述坩埚载体的上部伸出；且所述坩埚本体的底部和所述坩埚载体下部的中心区域相接触。3.根据权利要求1或2所述的蒸镀源，其特征在于，所述加热环为覆盖于所述坩埚本体外表面的连续的环状结构；所述加热环的高度与所述坩埚本体的高度相同。4.根据权利要求1或2所述的蒸镀源，其特征在于，所述加热环包括多个子加热环，所述多个子加热环间隔设置于所述坩埚本体的外表面上。5.根据权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，每个所述子加热环的高度范围为1mm～10mm，且每个所述子加热环的高度相同；相邻的两个所述子加热环之间的间隔范围为1mm～10mm，且每相邻的两个所述子加热环之间的间隔相同。6.根据权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括多个绝缘环；...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金彪，李元星，刘文豪，肖昂，罗楠，晋亚杰，胡斌，李靖，加新星，姬磊，沈萌，孙尚书，高俊，周杰，刘飞，李端瑞，兰代江，党博谭，王天昊，祁泽宙，尹茂吉，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：