本实用新型专利技术涉及保温装置技术领域，尤其为用于气相沉积设备的保温装置，包括反应腔室和控制器，所述反应腔室的外侧转动设置有转筒，所述转筒包括转动内筒和保温层，所述保温层套设在转动内筒的外侧，所述转动内筒的内侧均匀地固定连接有发热灯，发热灯用于实现对流失热量的补充，降低内外温度差，维持保温的效果，所述转筒的外侧还设置有用于控制发热灯启停的热敏控制模块，热敏控制模块用于实现对发热灯在自动开启和自动关闭，所述反应腔室的底端外侧固定连接有支撑环，滚珠用于支撑转筒，所述支撑环的顶端内侧转动连接有滚珠，滚珠用于起到减小转动阻力的作用，所述滚珠的顶端与转筒的底端滑动连接。的底端滑动连接。的底端滑动连接。
【技术实现步骤摘要】
用于气相沉积设备的保温装置
[0001]本技术涉及保温装置
，具体为用于气相沉积设备的保温装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III
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V、II
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IV、IV
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VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。
[0003]目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域，但现有高温化学气相沉积设备仍存在一些不足，在使用时，反应腔室的内部需要保持一定的温度，现有的保温装置均为被动保温，即在反应腔室的外侧设置保温层的方式进行保温，但是这种保温依然会造成热量的流失，从而使得反应腔室内侧的温度不能处于一个较为稳定的温度。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供用于气相沉积设备的保温装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]用于气相沉积设备的保温装置，包括反应腔室和控制器，所述反应腔室的外侧转动设置有转筒，所述转筒包括转动内筒和保温层，所述保温层套设在转动内筒的外侧，所述转动内筒的内侧均匀地固定连接有发热灯，发热灯用于实现对流失热量的补充，降低内外温度差，维持保温的效果。所述转筒的外侧还设置有用于控制发热灯启停的热敏控制模块，热敏控制模块用于实现对发热灯在自动开启和自动关闭。
[0007]进一步的，所述反应腔室的底端外侧固定连接有支撑环，滚珠用于支撑转筒，所述支撑环的顶端内侧转动连接有滚珠，滚珠用于起到减小转动阻力的作用，所述滚珠的顶端与转筒的底端滑动连接。
[0008]进一步的，所述支撑环的外侧固定连接有底板，所述底板的顶端固定连接有电机，所述电机的主轴末端固定连接有主动轮，所述主动轮的外侧与转筒的外侧相贴合，电机转动，电机带动主动轮转动，主动轮转动带动转筒进行转动，转筒的转动可以起到均匀受热的作用。
[0009]进一步的，所述热敏控制模块包括圆筒，所述圆筒固定设置在转筒的外侧，所述转筒的内侧滑动连接有活塞，所述活塞的右侧为热敏腔，所述热敏腔的内侧填充有热膨胀物，在这种设置下，当热膨胀物预冷收缩后，活塞向右运动，使闭合电路连通，发热灯工作，在热膨胀物预热膨胀后，活塞向左运动，使闭合电路断路，发热灯不工作，实现对发热灯启停的控制。
[0010]进一步的，所述圆筒的右端固定连接有导热棒，所述导热棒的右端设置在转动内筒的内侧，所述导热棒的左端设置在热敏腔的内侧，导热棒起到热传导的作用。
[0011]进一步的，所述圆筒的左端固定连接有连接片，所述连接片成上下对称状设置，所述圆筒的左端内侧滑动连接有连接棒，所述连接棒能够向右运动使与上下两片连接片相连接，所述连接棒的右端与活塞的左端固定连接。
[0012]进一步的，所述热膨胀物为水银。
[0013]进一步的，所述转筒的外侧还设置有闭合开关。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1、本技术中，转筒包括转动内筒和保温层，所述保温层套设在转动内筒的外侧，转动内筒的内侧均匀地固定连接有发热灯，发热灯用于实现对流失热量的补充，降低内外温度差，维持保温的效果，反应腔室的底端外侧固定连接有支撑环，滚珠用于支撑转筒，支撑环的顶端内侧转动连接有滚珠，滚珠用于起到减小转动阻力的作用，滚珠的顶端与转筒的底端滑动连接，支撑环的外侧固定连接有底板，底板的顶端固定连接有电机，电机的主轴末端固定连接有主动轮，主动轮的外侧与转筒的外侧相贴合，电机转动，电机带动主动轮转动，主动轮转动带动转筒进行转动，转筒的转动可以起到均匀受热的作用。
[0016]2、本技术中，转筒的外侧还设置有用于控制发热灯启停的热敏控制模块，热敏控制模块用于实现对发热灯在自动开启和自动关闭，转筒的内侧滑动连接有活塞，所述活塞的右侧为热敏腔，所述热敏腔的内侧填充有热膨胀物，在这种设置下，当热膨胀物预冷收缩后，活塞向右运动，使闭合电路连通，发热灯工作，在热膨胀物预热膨胀后，活塞向左运动，使闭合电路断路，发热灯不工作，实现对发热灯启停的控制，导热棒起到热传导的作用。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术的剖视安装结构示意图；
[0019]图3为本技术图1的A处结构示意图。
[0020]图中：1、反应腔室；2、控制器；3、转筒；3a、转动内筒；3b、保温层；4、支撑环；5、滚珠；6、圆筒；7、连接片；8、连接棒；9、底板；10、电机；11、主动轮；12、发热灯；13、导热棒；14、热敏腔；15、活塞；16、闭合开关。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例1：
[0023]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：
[0024]用于气相沉积设备的保温装置，包括反应腔室1和控制器2，反应腔室1的外侧转动设置有转筒3，转筒3包括转动内筒3a和保温层3b，保温层3b套设在转动内筒3a的外侧，转动内筒3a的内侧均匀地固定连接有发热灯12，发热灯12用于实现对流失热量的补充，降低内
外温度差，维持保温的效果。转筒3的外侧还设置有用于控制发热灯12启停的热敏控制模块，热敏控制模块用于实现对发热灯12在自动开启和自动关闭。
[0025]具体的，反应腔室1的底端外侧固定连接有支撑环4，滚珠5用于支撑转筒3，支撑环4的顶端内侧转动连接有滚珠5，滚珠5用于起到减小转动阻力的作用，滚珠5的顶端与转筒3的底端滑动连接。
[0026]具体的，支撑环4的外侧固定连接有底板9，底板9的顶端固定连接有电机10，电机10的主轴末端固定连接有主动轮11，主动轮11的外侧与转筒3的外侧相贴合，电机10转动，电机10带动主动轮11转动，主动轮11转动带动转筒3进行转动，转筒3的转动可以起到均匀受热的作用。
[0027]通过上述技术方案，通过外部电源进行供电，转筒3包括转动内筒3a和保温层3b，保温层3b套设在转动内筒3a的外侧，转动内筒3a的内侧均匀地固定连接有发热灯12，发热灯12用于实现对流失热量的补充，降低内外温度差，维持保温的效果，反应腔室1的底端外侧固定连接有支撑环4，滚珠5用于支撑转筒3，支撑环本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于气相沉积设备的保温装置，包括反应腔室(1)和控制器(2)，其特征在于：所述反应腔室(1)的外侧转动设置有转筒(3)，所述转筒(3)包括转动内筒(3a)和保温层(3b)，所述保温层(3b)套设在转动内筒(3a)的外侧，所述转动内筒(3a)的内侧均匀地固定连接有发热灯(12)，所述转筒(3)的外侧还设置有用于控制发热灯(12)启停的热敏控制模块。2.根据权利要求1所述的用于气相沉积设备的保温装置，其特征在于：所述反应腔室(1)的底端外侧固定连接有支撑环(4)，所述支撑环(4)的顶端内侧转动连接有滚珠(5)，所述滚珠(5)的顶端与转筒(3)的底端滑动连接。3.根据权利要求2所述的用于气相沉积设备的保温装置，其特征在于：所述支撑环(4)的外侧固定连接有底板(9)，所述底板(9)的顶端固定连接有电机(10)，所述电机(10)的主轴末端固定连接有主动轮(11)，所述主动轮(11)的外侧与转筒(3)的外侧相贴合。4.根据权利要求1
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3任意一项所述的用于气相沉积设备的保温装置，其特征在于：所述热敏控制模块包括圆筒(6)，所述圆筒(6)固...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖学明，
申请(专利权)人：苏州耀德半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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