改进式的复合材料气相沉积炉结构制造技术

本实用新型专利技术涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及改进式的复合材料气相沉积炉结构，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，且加热室与沉积室之间通过通道保持连通，所述炉体的顶部通口处设置有对开式的密封盖，在两边的密封盖的底部对应位置处分别铰接有活动臂，活动臂的下端均通过连接杆连接有框架，框架沿沉积室的内壁上下滑动，框架内转动连接有安装板，安装板的板面上设置有吸附晶圆片用的吸盘，本实用新型专利技术解决了气相沉积后的晶圆不方便拿取的问题，本沉积炉的提出，可升降式的框架方便，配合设置在框架内侧可旋转的安装板设计可以方便人们快速地放置或者拿取晶圆，操作便捷，有利于提升工作效率。有利于提升工作效率。有利于提升工作效率。

【技术实现步骤摘要】
改进式的复合材料气相沉积炉结构


[0001]本技术涉及气相沉积炉
，尤其涉及改进式的复合材料气相沉积炉结构。

技术介绍

[0002]在半导体的制作过程中，经常需要在晶圆上沉积薄膜，而沉积的薄膜有多种可采取的方式，其中较为常见的一种方式就是化学气相沉积法。现有的气相沉积炉存在的问题是，沉积后的晶圆不方便拿取与安装，为此，我们提出改进式的复合材料气相沉积炉结构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的改进式的复合材料气相沉积炉结构。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]改进式的复合材料气相沉积炉结构，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，且加热室与沉积室之间通过通道保持连通，所述炉体的顶部通口处设置有对开式的密封盖，密封盖拼合成穹形顶，并且密封盖在其相拼合的侧面开设有贯通的通气孔，在两边的密封盖的底部对应位置处分别铰接有活动臂，活动臂的下端均通过连接杆连接有框架，框架沿沉积室的内壁上下滑动，框架内转动连接有安装板，安装板的板面上设置有吸附晶圆片用的吸盘。
[0006]优选的，所述沉积室的两侧内壁上分别设置有竖向的滑轨。
[0007]优选的，所述框架的两边分别设置有与所述滑轨滑动配合的移动轮。
[0008]优选的，所述安装板两侧的边缘分别通过阻尼轴承安装在框架的内壁两侧对应位置处。
[0009]优选的，所述活动臂为L型结构，并且活动臂的上端铰接在所述密封盖的底面，活动臂的下端与所述连接杆的上端铰接。
[0010]优选的，所述活动臂设置有四组，并且活动臂设置在所述框架四角的上方对应位置处。
[0011]本技术的有益效果是：通过本方案提出的沉积炉，解决了气相沉积后的晶圆不方便拿取的问题，本沉积炉的提出，可升降式的框架方便，配合设置在框架内侧可旋转的安装板设计可以方便人们快速地放置或者拿取晶圆，操作便捷，有利于提升工作效率。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的改进式的复合材料气相沉积炉结构的主视结构示意图；
[0013]图2为本技术提出的改进式的复合材料气相沉积炉结构的框架俯视结构示意图；
[0014]图3为本技术提出的改进式的复合材料气相沉积炉结构的密封盖俯视结构示
意图。
[0015]图中：1、炉体；2、加热室；3、沉积室；4、通道；5、密封盖；6、通气孔；7、活动臂；8、连接杆；9、框架；10、滑轨；11、安装板；12、移动轮；13、吸盘；14、阻尼轴承。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0017]本实施例中，参照图1
‑
3，改进式的复合材料气相沉积炉结构，包括炉体1，炉体1的内侧下半部设置有加热室2、上半部设置有沉积室3，且加热室2与沉积室3之间通过通道4保持连通，炉体1的顶部通口处设置有对开式的密封盖5，密封盖5拼合成穹形顶，并且密封盖5在其相拼合的侧面开设有贯通的通气孔6，在两边的密封盖5的底部对应位置处分别铰接有活动臂7，活动臂7的下端均通过连接杆8连接有框架9，活动臂7为L型结构，并且活动臂7的上端铰接在密封盖5的底面，活动臂7的下端与连接杆8的上端铰接，活动臂7设置有四组，并且活动臂7设置在框架9四角的上方对应位置处。
[0018]框架9沿沉积室3的内壁上下滑动，结合附图1，沉积室3的两侧内壁上分别设置有竖向的滑轨10，框架9的两边分别设置有与滑轨10滑动配合的移动轮12。框架9内转动连接有安装板11，安装板11两侧的边缘分别通过阻尼轴承14安装在框架9的内壁两侧对应位置处。安装板11的板面上设置有吸附晶圆片用的吸盘13。
[0019]两边的密封盖5可以向上翻转并打开，或者合上形成一个具有密封性的顶盖。通气孔6用于排出热气流。当把密封盖5向两边打开时，将使得框架9在活动臂7以及连接杆8的传动作用下被向上抬起，从而使得安装板11露出来，安装板11可以人为地进行翻转，这样方便人们将待气相沉积的晶圆吸附到吸盘13上，将安装有晶圆的板面翻转至朝下，随后盖上密封盖5便可以进行气相沉积作业了。操作完毕，再次打开密封盖5便可以将其拿取出来，十分方便。
[0020]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.改进式的复合材料气相沉积炉结构，包括炉体（1），所述炉体（1）的内侧下半部设置有加热室（2）、上半部设置有沉积室（3），且加热室（2）与沉积室（3）之间通过通道（4）保持连通，其特征在于，所述炉体（1）的顶部通口处设置有对开式的密封盖（5），密封盖（5）拼合成穹形顶，并且密封盖（5）在其相拼合的侧面开设有贯通的通气孔（6），在两边的密封盖（5）的底部对应位置处分别铰接有活动臂（7），活动臂（7）的下端均通过连接杆（8）连接有框架（9），框架（9）沿沉积室（3）的内壁上下滑动，框架（9）内转动连接有安装板（11），安装板（11）的板面上设置有吸附晶圆片用的吸盘（13）。2.根据权利要求1所述的改进式的复合材料气相沉积炉结构，其特征在于，所述沉积室（3）的两侧内壁上分别设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘峰，李梅，
申请(专利权)人：常州曙光电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：