用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构制造技术

本实用新型专利技术涉及气相沉积炉加热技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，解决了现有气相沉积炉加热部件管路繁多，成本高的缺点，包括转盘、贯穿转盘轴心设置的供气管以及转动电机，通过在供气管的外部套接菱形盘，并通过转动电机驱动套设在供气管外部的转盘转动，使得转盘顶部循环箱内设置的推拉杆作用在菱形盘外部，在转动电机驱动转动的过程中，菱形盘会配合复位弹簧实现推拉杆的往复传动，从而推动置于循环箱内的活塞配合两个单向阀循环抽取换热管内的导热液，以此提高导热液的导热效率，并在转动电机的作用下，在炉体内部轴向转动，能够为炉体内部进行均匀供热，结构简单，且大大降低了加热成本，实用性强。强。强。

【技术实现步骤摘要】
用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构


[0001]本技术涉及气相沉积炉加热
，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构。

技术介绍

[0002]气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，在中温、高温或者常压下都可以进行反应，化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助。
[0003]现有的复合材料气相沉积炉用于加热的管路繁多，占据炉体内较多空间，且为了保证炉体内部热量均匀，因而需要利用多根加热棒，成本高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有气相沉积炉加热部件管路繁多，成本高的缺点，而提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，包括转盘、贯穿转盘轴心设置的供气管以及转动电机，所述转盘的底部设置有换热管，所述换热管的内部插设有加热棒，换热管的内部还注有导热液，转盘的顶部设置有循环箱，所述供气管的端部外侧套接固定有菱形盘；
[0007]所述循环箱的端部内侧设置有推拉杆，所述推拉杆位于循环箱内部一端套接有活塞，循环箱的端部还设置有复位弹簧。
[0008]优选的，所述循环箱的端部下方设置有两个单向阀，其通过单向阀连接有导液管，所述导液管与换热管连接。
[0009]优选的，所述加热棒分隔换热管内部空间呈现U形设置，两所述导液管分别置于换热管位于加热棒的两侧内部。
[0010]优选的，所述推拉杆位于循环箱外部一端通过转轴连接有导轮，其通过导轮作用在菱形盘表面。
[0011]优选的，所述复位弹簧的两端分别与循环箱的端部内壁以及活塞端部抵触。
[0012]优选的，所述转动电机的输出轴与转盘的外部均套接有传动带轮，所述传动带轮的外部绕设有传动带。
[0013]本技术的有益效果是：通过在供气管的外部套接菱形盘，并通过转动电机驱动套设在供气管外部的转盘转动，使得转盘顶部循环箱内设置的推拉杆作用在菱形盘外部，在转动电机驱动转动的过程中，菱形盘会配合复位弹簧实现推拉杆的往复传动，从而推动置于循环箱内的活塞配合两个单向阀循环抽取换热管内的导热液，以此提高导热液的导热效率，并在转动电机的作用下，在炉体内部轴向转动，能够为炉体内部进行均匀供热，结构简单，且大大降低了加热成本，实用性强。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构的结构示意图；
[0015]图2为本技术提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构的俯视结构示意图；
[0016]图3为本技术提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构的图2中的A处局部剖视结构示意图。
[0017]图中：1、转盘；2、转动电机；3、供气管；4、传动带；5、循环箱；6、换热管；7、加热棒；8、导热液；9、菱形盘；10、推拉杆；11、活塞；12、复位弹簧；13、单向阀；14、导液管。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]参照图1
‑
3，用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，包括转盘1、贯穿转盘1轴心设置的供气管3以及转动电机2，转盘1的底部设置有换热管6，换热管6的内部插设有加热棒7，换热管6的内部还注有导热液8，转盘1的顶部设置有循环箱5，供气管3的端部外侧套接固定有菱形盘9；
[0020]循环箱5的端部内侧设置有推拉杆10，推拉杆10位于循环箱5内部一端套接有活塞11，循环箱5的端部还设置有复位弹簧12；
[0021]循环箱5的端部下方设置有两个单向阀13，其通过单向阀13连接有导液管14，导液管14与换热管6连接，加热棒7分隔换热管6内部空间呈现U形设置，两导液管14分别置于换热管6位于加热棒7的两侧内部，推拉杆10位于循环箱5外部一端通过转轴连接有导轮，其通过导轮作用在菱形盘9表面，复位弹簧12的两端分别与循环箱5的端部内壁以及活塞11端部抵触，转动电机2的输出轴与转盘1的外部均套接有传动带轮，传动带轮的外部绕设有传动带4。
[0022]本实施例中，通过在供气管3的外部套接菱形盘9，并通过转动电机2驱动套设在供气管3外部的转盘1转动，使得转盘1顶部循环箱5内设置的推拉杆10作用在菱形盘9外部，在转动电机2驱动转动的过程中，菱形盘9会配合复位弹簧12实现推拉杆10的往复传动，从而推动置于循环箱5内的活塞11配合两个单向阀13循环抽取换热管6内的导热液8，以此提高导热液8的导热效率，并在转动电机2的作用下，在炉体内部轴向转动，能够为炉体内部进行均匀供热，结构简单，且大大降低了加热成本，实用性强。
[0023]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，包括转盘（1）、贯穿转盘（1）轴心设置的供气管（3）以及转动电机（2），其特征在于，所述转盘（1）的底部设置有换热管（6），所述换热管（6）的内部插设有加热棒（7），换热管（6）的内部还注有导热液（8），转盘（1）的顶部设置有循环箱（5），所述供气管（3）的端部外侧套接固定有菱形盘（9）；所述循环箱（5）的端部内侧设置有推拉杆（10），所述推拉杆（10）位于循环箱（5）内部一端套接有活塞（11），循环箱（5）的端部还设置有复位弹簧（12）。2.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，其特征在于，所述循环箱（5）的端部下方设置有两个单向阀（13），其通过单向阀（13）连接有导液管（14），所述导液管（14）与换热管（6）连接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李梅，刘峰，
申请(专利权)人：常州曙光电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：