多功能复合材料气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及多功能复合材料气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，所述沉积室的一侧内壁设置有水平的固定柱，固定柱的端部铰接有活动柱，活动柱的两端对应位置处分别铰接有圆弧形的夹板，两边的夹板之间夹持有旋转盘，旋转盘的底部通过吸盘吸附有待气相沉积的晶圆，本实用新型专利技术解决了在对晶圆表面进行气相沉积时，会出现沉积不均匀的状况，影响产品质量的问题，本沉积炉的提出，工作人员能够根据需要实时调整晶圆的受喷区域，保证整个晶圆能够均匀的进行沉积作用，有效提高产品的质量。有效提高产品的质量。有效提高产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
多功能复合材料气相沉积炉


[0001]本技术涉及气相沉积炉
，尤其涉及多功能复合材料气相沉积炉。

技术介绍

[0002]在半导体的制作过程中，人们最常使用的方式就是利用化学气相沉积在晶圆表面进行薄膜沉积。晶圆一般处于固定的位置，所以当气流柱的喷射范围较小时，是无法对整个晶圆进行全面的喷涂的，这就会导致晶圆表面的气相沉积不均匀，影响产品质量，为此，我们提出多功能复合材料气相沉积炉。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的多功能复合材料气相沉积炉。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]多功能复合材料气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，且加热室与沉积室之间通过输送通道保持连通，所述沉积室的一侧内壁设置有水平的固定柱，固定柱的端部铰接有活动柱，活动柱的两端对应位置处分别铰接有圆弧形的夹板，位于两边的夹板相对设置，并且两边的夹板之间夹持有旋转盘，旋转盘的底部通过吸盘吸附有待气相沉积的晶圆，在所述沉积室的外部设置有推杆电机两个，推杆电机的输出端设置有推动杆，推动杆均贯穿沉积室并分别在其端部通过轴承件转动连接在对应的夹板上。
[0006]优选的，所述输送通道的下端为敞口式设计。
[0007]优选的，位于两边的夹板在其相向的内侧板面上分别设置有插柱，并且夹板的弧形角度范围在80
°‑
140
°
。
[0008]优选的，位于两侧的插柱关于所述活动柱的中心线对称设置。
[0009]优选的，所述旋转盘的边缘分别设置有与所述插柱相适配的插孔。
[0010]优选的，所述推动杆的端部通过万向轴活动连接在所述夹板的外侧板面上。
[0011]本技术的有益效果是：通过本方案提出的沉积炉，解决了在对晶圆表面进行气相沉积时，会出现沉积不均匀的状况，影响产品质量的问题，本沉积炉的提出，工作人员能够根据需要实时调整晶圆的受喷区域，保证整个晶圆能够均匀的进行沉积作用，有效提高产品的质量。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的多功能复合材料气相沉积炉的主视结构示意图；
[0013]图2为本技术提出的多功能复合材料气相沉积炉的夹板俯视结构示意图；
[0014]图3为本技术提出的多功能复合材料气相沉积炉的旋转盘结构示意图。
[0015]图中：1、炉体；2、加热室；3、沉积室；4、输送通道；5、固定柱；6、活动柱；7、夹板；8、
推杆电机；9、推动杆；10、插柱；11、旋转盘；12、吸盘；13、插孔。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0017]本实施例中，参照图1
‑
3，多功能复合材料气相沉积炉，包括炉体1，炉体1的内侧下半部设置有加热室2、上半部设置有沉积室3，且加热室2与沉积室3之间通过输送通道4保持连通，输送通道4的下端为敞口式设计。
[0018]沉积室3的一侧内壁设置有水平的固定柱5，固定柱5的端部铰接有活动柱6，活动柱6的两端对应位置处分别铰接有圆弧形的夹板7，位于两边的夹板7相对设置，位于两边的夹板7在其相向的内侧板面上分别设置有插柱10，位于两侧的插柱10关于活动柱6的中心线对称设置，夹板7的弧形角度范围在80
°‑
140
°
。两边的夹板7之间夹持有旋转盘11，旋转盘11的边缘分别设置有与插柱10相适配的插孔13。旋转盘11的底部通过吸盘12吸附有待气相沉积的晶圆，在沉积室3的外部设置有推杆电机8两个，推杆电机8的输出端设置有推动杆9，推动杆9均贯穿沉积室3并分别在其端部通过万向轴活动连接在夹板7的外侧板面上。
[0019]在沉积室3的另一侧还开设有用于放置或者拿取该旋转盘11的通口，通口处设置有密封挡板。夹板7可以自由旋转，方便固定旋转盘11，将待气相沉积的晶圆吸附到吸盘12上，再将旋转盘11固定在夹板7之间，便可以进行气相沉积工作了。当需要对晶圆的表面不同区域进行气流沉积作用时，分别启动两个推杆电机8并控制其处于启闭周期相反的工作状态，这样，两边的夹板7将在推动杆9的作用下，来回移动，使得该旋转盘11可以在一定的角度范围内发生旋转，从而实现对晶圆表面的不同区域进行气相沉积，保证整个晶圆表面都可以实现均匀地气相沉积。
[0020]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.多功能复合材料气相沉积炉，包括炉体（1），所述炉体（1）的内侧下半部设置有加热室（2）、上半部设置有沉积室（3），且加热室（2）与沉积室（3）之间通过输送通道（4）保持连通，其特征在于，所述沉积室（3）的一侧内壁设置有水平的固定柱（5），固定柱（5）的端部铰接有活动柱（6），活动柱（6）的两端对应位置处分别铰接有圆弧形的夹板（7），位于两边的夹板（7）相对设置，并且两边的夹板（7）之间夹持有旋转盘（11），旋转盘（11）的底部通过吸盘（12）吸附有待气相沉积的晶圆，在所述沉积室（3）的外部设置有推杆电机（8）两个，推杆电机（8）的输出端设置有推动杆（9），推动杆（9）均贯穿沉积室（3）并分别在其端部通过轴承件转动连接在对应的夹板（7）上。2.根据权利要求1所述的多功能复合材料气相...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘峰，李梅，
申请(专利权)人：常州曙光电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：