用于复合材料气相沉积炉的供气组件制造技术

本实用新型专利技术涉及气相沉积炉供气技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件，解决了现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情况，影响生产效率的缺点，包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的端盖，供气壳体的内部设置有供气内胆，所述端盖的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机，所述刮除电机的输出轴套接固定有转板，所述转板的表面设置有挡板，转板的表面还设置有刮板，在供气壳体端部设置端盖，并安装刮除电机，通过刮除电机驱动转板转动，从而推动转板底部连接的刮板作用在供气内胆的外表面，从而利用刮板表面的硬质毛刷对气孔内堵塞物进行刮除，有效防止了气孔堵塞的情况。况。况。

【技术实现步骤摘要】
用于复合材料气相沉积炉的供气组件


[0001]本技术涉及气相沉积炉供气
，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件。

技术介绍

[0002]气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，在中温、高温或者常压下都可以进行反应，化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助，现有的气相沉积炉供气设备存在气孔堵塞的情况，需要频繁进行停机维护，影响生产效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情况，影响生产效率的缺点，而提出的用于复合材料气相沉积炉的供气组件。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]用于复合材料气相沉积炉的供气组件，包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的端盖，供气壳体的内部设置有供气内胆，所述端盖的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机，所述刮除电机的输出轴套接固定有转板，所述转板的表面设置有挡板，转板的表面还设置有刮板。
[0006]优选的，所述供气壳体的顶部胶黏有密封垫，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于复合材料气相沉积炉的供气组件，包括供气壳体（1）以及设置在供气壳体（1）端部的端盖（2），供气壳体（1）的内部设置有供气内胆（4），其特征在于，所述端盖（2）的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机（3），所述刮除电机（3）的输出轴套接固定有转板（7），所述转板（7）的表面设置有挡板（8），转板（7）的表面还设置有刮板（10）。2.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件，其特征在于，所述供气壳体（1）的顶部胶黏有密封垫（9），所述密封垫（9）的顶部与转板（7）的底部抵触。3.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李梅，刘峰，
申请(专利权)人：常州曙光电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：