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本实用新型涉及气相沉积炉供气技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件，解决了现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情况，影响生产效率的缺点，包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的端盖，供气壳体的内部设置有供气内胆，所述端盖的端部内侧通...
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