本实用新型专利技术公开了一种用于MOCVD的加热盘保护装置，包括加热盘(4)、安装在加热盘(4)上的底板(3)、设在底板(3)表面的支撑柱(2)、设在支撑柱(2)上的保护上板(1)，所述加热盘(4)上设有多根冷却水管(401)，所述底板(3)与加热盘(4)紧固连接，所述支撑柱(2)与底板(3)紧固连接，所述保护上板(1)与支撑柱(2)紧固连接，所述保护上板(1)设有与冷却水管(401)对应的保护孔(101)，所述冷却水管(401)插入保护孔(101)中，所述保护上板(1)由非金属材料制成。本实用新型专利技术结构简单实用，能够保护加热盘上的冷却水管不受损坏，保护效果好。保护效果好。保护效果好。
【技术实现步骤摘要】
一种用于MOCVD的加热盘保护装置
[0001]本技术涉及加热盘领域，具体涉及一种用于MOCVD的加热盘保护装置。
技术介绍
[0002]MOCVD的全称为Metal
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organic Chemical Vapor Deposition，即金属有机化合物化学气相沉淀，MOCVD设备是现如今半导体材料领域不可或缺的关键设备，MOCVD相关产业是关系到国家工业体系的完整与否的关键所在；而MOCVD技术则是半导体材料学、热学、流体力学、结构力学、电学、自动化控制等多种学科交叉的新兴的研究方向，具有很高的研究价值。
[0003]国外该领域的技术研究和设备制造比较，我国相对落后不少。对MOCVD设备的技术研究可以打破国外MOCVD厂家对我国的技术封锁和长期垄断，具有重大战略意义；还可以降低设备的采购成本并降低产业链下游的生产成本，具有重大的经济意义。
[0004]MOCVD技术的核心之一是反应室的设计，而反应室的结构设计又离不开对加热装置的优化研究，电阻加热技术相对已经较为成熟，但是感应加热技术还需要进一步的完善和研究。
[0005]加热系统是MOCVD设备的重要组成部分，由于技术使用的热分解反应对温度的精度和均匀性要求很高，材料的生长情况与反应时的温度密切相关，所以加热系统设计的成功与否就决定了最终产品的质量优劣。加热系统对反应室内的石墨基座进行加热，温度的高低影响到薄膜材料的生长速率，温度的均匀性又决定了薄膜材料的质量，而且，各种反应室的结构优化都要考虑到都要有与之相适应的加热系统的设计，所以加热及温控系统的设计优化是MOCVD设备研究中的重要课题之一。
[0006]加热系统大多采用的是电阻辐射加热和感应加热，而辐射加热又可以细分为电阻丝加热和电阻片加热，同时由热电偶和温度控制器组成温控系统，不同的加热方式有不同的温度控制器。加热盘的冷却装置就起到了重要作用，一般加热盘上设有冷却水管，用于对加热系统进行冷却，这些冷却水管一般为细长型，在运输过程中容易被折弯和划伤，就会影响整体的设备进度和质量。
[0007]目前市场并没有针对加热盘的保护装置，因此，亟需一种新的技术方案解决以上问题。
技术实现思路
[0008]本技术目的是提供一种用于MOCVD的加热盘保护装置，能够对加热盘上的冷却水管进行保护，防止冷却水管损坏。
[0009]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：一种用于MOCVD的加热盘保护装置，包括加热盘、安装在加热盘上的底板、设在底板表面的支撑柱、设在支撑柱上的保护上板，所述加热盘上设有多根冷却水管，所述底板与加热盘紧固连接，所述支撑柱与底板紧固连接，所述保护上板与支撑柱紧固连接，所述保护上板设有
与冷却水管对应的保护孔，所述冷却水管插入保护孔中。
[0010]作为优选的技术方案，所述底板的下表面对称设有多个支撑脚，所述支撑脚与加热盘通过螺钉连接。
[0011]作为优选的技术方案，所述支撑柱为圆柱形，所述支撑柱的一端与保护上板通过螺钉连接，所述支撑柱的另一端与底板通过螺钉连接。
[0012]作为优选的技术方案，所述保护上板为月牙板，所述月牙板遮挡冷却水管。
[0013]作为优选的技术方案，所述月牙板的最外缘不超出加热盘的外圈。
[0014]作为优选的技术方案，所述保护上板、底板上的安装孔中均设有沉孔。
[0015]作为优选的技术方案，所述保护上板采用PVC材料。
[0016]本技术的有益效果是：一种用于MOCVD的加热盘保护装置，与传统方案相比：
[0017]1)利用底板将支撑柱与加热盘固定，用支撑柱调整高度，将冷却水管对准保护上板的保护孔，并将非金属制成的保护上板与支撑柱紧固连接，冷却水管插入保护孔中，保护上板能够防止冷却水管在运输过程中被折弯，保护上板受力并传递至支撑柱、底板，形成缓冲，从而保护冷却水管；
[0018]2)优选的，当保护上板离加热盘的高度不够时，支撑脚能够增加高度，并且支撑脚能够防止在安装过程中底板磕伤加热盘的表面；
[0019]3)优选的，保护上板为月牙板，进一步的，月牙板的最外缘与加热盘的外圈对齐，这样月牙板能够能够将冷却水管遮挡住，对冷却水管形成一定的保护作用，防止冷却水管被划伤；
[0020]4)优选的，保护上板采用PVC材料，硬度低，不会对冷却水管造成损伤。
附图说明
[0021]图1是本技术的装配爆炸图；
[0022]图2是保护上板的立体图；
[0023]图3是底板的一个方向的立体图；
[0024]图4是底板的另一个方向的立体图；
[0025]在图1
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4中，1、保护上板；101、保护孔；102、第一安装孔；2、支撑柱；3、底板；301、支撑脚；302、第二安装孔；303、第三安装孔；4、加热盘；401、冷却水管。
具体实施方式
[0026]下面结合附图对本技术进一步描述。
[0027]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0028]请参阅图1
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4，本技术一个实施例提供的一种用于MOCVD的加热盘保护装置，包括加热盘4、安装在加热盘4上的底板3、设在底板3表面的支撑柱2、设在支撑柱2上的保护
上板1，所述加热盘4上设有多根冷却水管401，所述底板3与加热盘4紧固连接，所述支撑柱2与底板3紧固连接，所述保护上板1与支撑柱2紧固连接，所述保护上板1设有与冷却水管401对应的保护孔101，所述冷却水管401插入保护孔101中；在运输过程中，若不设保护装置，冷却水管401容易受到冲击而折弯，在堆叠放置时也容易被压弯，将冷却水管401插入保护孔101中，由保护上板1先受力，然后传递到支撑柱2和底板3，这样冷却水管401就不易受力而折弯，保护上板1采用非金属材料，不会损坏冷却水管401的表面，保护装置的整体高度不小于冷却水管401的高度，具体的，冷却水管401对称设置4根，保护上板1设有对应的4个保护孔101。
[0029]如图1
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4所示，所述底板3的下表面对称设有多个支撑脚301，所述支撑脚301与加热盘4通过螺钉连接，支撑脚301可以增加高度，并且起到更好的支撑作用，在装配时还能防止底板3磕伤加热盘4的表面，具体的，支撑脚301的数量为4个或6个。
[0030]如图1
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4所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于MOCVD的加热盘保护装置，包括加热盘(4)，其特征在于，还包括安装在加热盘(4)上的底板(3)、设在底板(3)表面的支撑柱(2)、设在支撑柱(2)上的保护上板(1)，所述加热盘(4)上设有多根冷却水管(401)，所述底板(3)与加热盘(4)紧固连接，所述支撑柱(2)与底板(3)紧固连接，所述保护上板(1)与支撑柱(2)紧固连接，所述保护上板(1)设有与冷却水管(401)对应的保护孔(101)，所述冷却水管(401)插入保护孔(101)中，所述保护上板(1)由非金属材料制成。2.根据权利要求1所述的一种用于MOCVD的加热盘保护装置，其特征在于，所述底板(3)的下表面对称设有多个支撑脚(301)，所述支撑脚(301)与加热盘(4)通过螺钉连接。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘飞飞，游利，管明月，沈明江，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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