一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，包括工作台(1)、设置在工作台(1)表面的多个限位装置(3)、钻机(2)、滑台(4)、滑动设置在滑台(4)上的滑块(5)、设置在滑台(4)上的驱动总成(6)、固定设置在工作台(1)底端的电控转台(7)，所述驱动总成(6)的输出端与滑块(5)连接，所述驱动总成(6)驱动滑块(5)横向移动，所述滑台(4)与电控转台(7)固定连接。本实用新型专利技术整体结构精简，而且加工效果好，操作方便，适用于批量生产，生产效率高。生产效率高。生产效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置


[0001]本技术涉及机械加工
，尤其是涉及一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置。

技术介绍

[0002]在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的镀膜气体为硅烷和氨，这些气体通过环状结构的镀膜气体分配法兰作用于存储在硅片上的氮化硅，这就要求气体分配孔位置度准确，尺寸精准统一。
[0003]一般加工气体分配孔直接使用五轴加工中心，在加工过程中通过加工中心主轴的旋转得以实现气体分配孔的加工，这样加工在很大程度上占用设备并且浪费资源，不适应零件的大批量生产。因此，亟需一种新的技术方案解决以上至少一个技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术目的是提供一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，使用限位装置对镀膜气体分配法兰进行限位，驱动总成驱动钻机进行钻孔，整体结构精简，加工效果好，操作方便可靠。
[0005]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本专利技术所采用的技术方案是一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，包括工作台、设置在工作台表面的多个限位装置、钻机、滑台、滑动设置在滑台上的滑块、设置在滑台上的驱动总成、固定设置在工作台底端的电控转台，所述驱动总成的输出端与滑块连接，所述驱动总成驱动滑块横向移动，所述滑台与电控转台固定连接。
[0006]作为优选的技术方案，所述限位装置包括安装架、与安装架转动连接的2个转板、与转板转动连接的驱动杆、与驱动杆尾端转动连接的转动杆、固定设置在转动杆头端的限位杆，所述限位杆尾端与安装架转动连接。
[0007]作为优选的技术方案，所述驱动杆和转动杆均为L形结构。
[0008]作为优选的技术方案，所述滑台上开设有滑槽，所述滑块嵌设在滑槽中。
[0009]作为优选的技术方案，所述驱动总成包括步进电机、丝杠，所述步进电机的输出端与丝杠固定连接，所述丝杠穿过滑台与滑块螺纹联接。
[0010]作为优选的技术方案，所述工作台上表面固定设有抬高块，所述安装架固定设置在抬高块上。
[0011]作为优选的技术方案，所述工作台包括承载板、对称设置在承载板上的4个支撑柱，所述承载板上设有容纳槽，所述钻机从容纳槽中伸出，所述支撑柱与电控转台固定连接。
[0012]作为优选的技术方案，所述钻机上固定设有离心泵，所述离心泵的进口连接有进液管，所述离心泵的出口连接有洗削液管。
[0013]作为优选的技术方案，所述电控转台包括台体、旋转电机，所述旋转电机与台体固
定连接，所述旋转电机的输出端与滑台固定连接。
[0014]本技术的有益效果是：
[0015]1)整体结构精简，而且加工效果好，操作方便，适用于批量生产，提高生产效率；
[0016]2)优选的，限位杆随着转动杆转动，然后进入镀膜气体分配法兰上的销孔中，从而完成对限位，操作简单，限位效果好；
[0017]3)优选的，滑槽起到导向作用，使得滑块滑动更为稳定；
[0018]4)优选的，螺纹传动驱动效果好，滑块运动稳定；
[0019]5)优选的，抬高块根据镀膜气体分配法兰的厚度进行设置，便于限位；
[0020]6)优选的，承载板和支撑柱形成的结构简单，易于安装和检修；
[0021]7)优选的，在钻孔时利用洗削液管对钻孔处进行冷却和润滑，提高加工精度和钻头的耐用度；
[0022]8)优选的，旋转电机带动滑台旋转从而改变钻机方向。
附图说明
[0023]图1为本技术提供一个实施例的结构图；
[0024]图2为本技术提供一个实施例中的工作台的俯视图；
[0025]图3为本技术提供一个实施例中的限位装置的结构图；
[0026]图4为本技术提供一个实施例中的安装架的侧视图；
[0027]图5为本技术提供一个实施例中的滑台的侧视图；
[0028]在图1
‑
图5中，1、工作台；101、承载板；1011、容纳槽；102、支撑柱；2、钻机；3、限位装置；301、安装架；3011、连接部；302、转板；303、驱动杆；304、转动杆；305、限位杆；4、滑台；401、滑槽；5、滑块；6、驱动总成；601、步进电机；602、丝杠；7、电控转台；701、台体；702、旋转电机；8、抬高块；9、离心泵；10、进液管；11、洗削液管。
具体实施方式
[0029]下面结合附图对本专利技术进一步描述。
[0030]请参照图1
‑
图5，本技术的一个实施例提供一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，包括工作台1、设置在工作台1表面的多个限位装置3、钻机2、滑台4、滑动设置在滑台4上的滑块5、设置在滑台4上的驱动总成6、固定设置在工作台1底端的电控转台7，所述驱动总成6的输出端与滑块5连接，所述驱动总成6驱动滑块5横向移动，所述滑台4与电控转台7固定连接，通过限位装置3对镀膜气体分配法兰进行限位，然后驱动总成驱动钻机2进行钻孔，同时电控转台7旋转滑台4进行旋转变向，整体结构精简，而且加工效果好，操作方便，适用于批量生产，这样就不用占用五轴加工中心，可以更灵活安排生产计划，提高生产效率。
[0031]如图1
‑
图5所示，在其中一些实施方式中，所述限位装置3包括安装架301、与安装架301转动连接的2个转板302、与转板302转动连接的驱动杆303、与驱动杆303尾端转动连接的转动杆304、固定设置在转动杆304头端的限位杆305，所述限位杆305尾端与安装架301转动连接，进一步的，所述驱动杆303和转动杆304均为L形结构，向背离转动杆304的方向转动驱动杆303，驱动杆303就会带动转动杆304下压，限位杆305随着转动杆304转动，然后进
入镀膜气体分配法兰上的销孔中，从而完成对镀膜气体分配法兰的轴向和径向的限位，操作简单，限位效果好。
[0032]如图1
‑
图5所示，在其中一些实施方式中，所述滑台4上开设有滑槽401，所述滑块5嵌设在滑槽401中，滑槽401起到导向作用，使得滑块5滑动更为稳定。
[0033]进一步的，所述驱动总成6包括步进电机601、丝杠602，所述步进电机601的输出端与丝杠602固定连接，所述丝杠602穿过滑台4与滑块5螺纹联接，步进电机601旋转带动丝杠602旋转，丝杠602通过螺纹传动，带动滑块5在滑槽401中运动，驱动效果好，滑块5运动稳定。
[0034]如图1
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图5所示，在其中一些实施方式中，所述工作台1上表面设有抬高块8，所述安装架301设置在抬高块8上，抬高块8与工作台1通过螺栓连接，抬高块8根据镀膜气体分配法兰的厚度进行设置，便于更好地限位。
[0035]进一步的，所述安装架301上设有竖直设置的连接部3011，所述转动杆304的底端为两片式的开口结构，连接部3011设置在开口中，并与转动杆304转动连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，其特征在于，包括工作台(1)、设置在工作台(1)表面的多个限位装置(3)、钻机(2)、滑台(4)、滑动设置在滑台(4)上的滑块(5)、设置在滑台(4)上的驱动总成(6)、固定设置在工作台(1)底端的电控转台(7)，所述驱动总成(6)的输出端与滑块(5)连接，所述驱动总成(6)驱动滑块(5)横向移动，所述滑台(4)与电控转台(7)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，其特征在于，所述限位装置(3)包括安装架(301)、与安装架(301)转动连接的2个转板(302)、与转板(302)转动连接的驱动杆(303)、与驱动杆(303)尾端转动连接的转动杆(304)、固定设置在转动杆(304)头端的限位杆(305)，所述限位杆(305)尾端与安装架(301)转动连接。3.根据权利要求2所述的一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，其特征在于，所述驱动杆(303)和转动杆(304)均为L形结构。4.根据权利要求1所述的一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，其特征在于，所述滑台(4)上开设有滑槽(401)，所述滑块(5)嵌设在滑槽(401)中。5.根据权利要求4所述的一种镀膜气体分配法兰气体分配孔加工装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈霖，游利，管明月，吴亮，陆浩，陈彦娥，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：