一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构，包括连接水冷盘(7)的旋转块(1)，所述旋转块(1)由横块(101)和竖块(102)组成，所述横块(101)和竖块(102)相连形成L型结构，所述横块(101)与水冷盘(7)紧固连接，所述竖块(102)上设有螺杆(2)，所述螺杆(2)的一端设有凸块(3)，所述螺杆(2)的另一端与竖块(102)连接，所述凸块(3)上设有吊耳(5)。本实用新型专利技术紧固效果好，能够对水冷盘进行翻转，省时省力，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构


[0001]本技术涉及用于MOCVD系统的水冷盘领域，具体涉及一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构。

技术介绍

[0002]MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal
‑
Organic Chemical Vapor Deposition)的英文缩写。MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，用于LED和功率器件外延片批量生产。它以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、
Ⅵ
族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
Ⅲ‑
V族、
Ⅱ‑Ⅵ
族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10
‑
100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行，衬底温度为500
‑
1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方)，H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，包括连接水冷盘(7)的旋转块(1)，所述旋转块(1)由横块(101)和竖块(102)组成，所述横块(101)和竖块(102)相连形成L型结构，所述横块(101)与水冷盘(7)紧固连接，所述竖块(102)上设有螺杆(2)，所述螺杆(2)的一端设有凸块(3)，所述螺杆(2)的另一端与竖块(102)连接，所述凸块(3)上设有吊耳(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，所述凸块(3)为六角螺母。3.根据权利要求2所述的一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，所述六...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨蔡磊，游利，管明月，沈明江，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：