一种化学气相沉积设备的腔体结构制造技术

本发明专利技术公开了一种化学气相沉积设备的腔体结构，涉及化学气相沉积设备技术领域，包括外箱体和固定连接在外箱体底部的底板，所述底板的一侧安装有水箱，所述外箱体的顶部安装有气体罐，还包括：进气管，安装在气体罐的底部，放置板，设置在外箱体的内部，所述外箱体的内部开设有分隔腔体，热丝装置，安装在外箱体的内顶面，腔体置物机构，设置在放置板的顶部，腔体密封机构，对称设置在外箱体的内底面，解决了在应对不同尺寸和形状的基材时，仍可能出现定位不稳，造成基材滑动的情况，进而对后续的化学反应生成薄膜造成阻碍，同时现有装置腔体结构之间的密封性较差，相邻腔体之间可能出现气体泄漏和相互影响的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学气相沉积设备，具体为一种化学气相沉积设备的腔体结构。

技术介绍

1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相沉积工艺需要用到化学气相沉积设备，现有化学气相沉积设备的腔体结构内部，一般包括有加热组件、进气管道、冷却水组件和衬底材料放置结构。

2、如公开号为cn219032363u的一种多腔体化学气相沉积设备，其中，包括：箱体、尾气处理系统和活性气体罐，所述箱体内顶部呈间隔固定连接有两隔板，两所述隔板内部均滑动连接有活动板，两所述活动板下端均穿过隔板下端延伸至外部，且与箱体内底部相互贴合，两所述隔板中部均设置有第二螺纹杆，两所述第二螺纹杆下端均延伸至活动板内部，两所述第二螺纹杆外部均螺纹连接有第二螺纹块，两所述第二螺纹块外部均固定连接有固定块，两所述固定块下端均呈间隔固定连接有两连接杆，两所述连接杆下端固定连接有密封板，通过上述结构，利用活动板与密封板进行配合，可以保障隔板的密封性，并本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种化学气相沉积设备的腔体结构，包括外箱体（1）和固定连接在外箱体（1）底部的底板（2），所述底板（2）的一侧安装有水箱（3），所述外箱体（1）的顶部安装有气体罐（4），所述水箱（3）的一侧下部连接有进水管（7），所述水箱（3）的一侧上部连接有排水管（8）；

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述固定板（11）与放置板（9）固定连接，所述电动推杆（13）的伸缩部一端与滑座（14）固定连接，所述滑座（14）靠近夹板一（15）的一侧对称固定有推动杆（17），所述夹板一（15）的一侧固定连接有滑套（18），所述推动杆（17）与滑套（18）滑动连...

【技术特征摘要】

1.一种化学气相沉积设备的腔体结构，包括外箱体（1）和固定连接在外箱体（1）底部的底板（2），所述底板（2）的一侧安装有水箱（3），所述外箱体（1）的顶部安装有气体罐（4），所述水箱（3）的一侧下部连接有进水管（7），所述水箱（3）的一侧上部连接有排水管（8）；

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述固定板（11）与放置板（9）固定连接，所述电动推杆（13）的伸缩部一端与滑座（14）固定连接，所述滑座（14）靠近夹板一（15）的一侧对称固定有推动杆（17），所述夹板一（15）的一侧固定连接有滑套（18），所述推动杆（17）与滑套（18）滑动连接，所述推动杆（17）的外侧套接有弹簧一（19），所述弹簧一（19）位于滑座（14）和滑套（18）之间。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述密封板体（32）与卡槽（33）卡合连接，所述底座（34）的内部开设有凹槽（35），所述凹槽（35）的内部转动连接有转轴（36），所述转轴（36）的外侧上部固定连接有密封块（37），所述转轴（36）的外侧下部固定连接有连杆（38），所述连杆（38）的底端固定连接有挤压球（39），所述连杆（38）的一侧安装有弹簧四（40）。

4.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述滑套（18）与滑动杆（20）的内部相连通，所述推动杆（17）靠近滑动杆（20）的一端为球形设置，所述滑动杆（20）的一端为球形设置，所述夹板一（15）的内部对称开设有限位槽，所述滑动杆（20）的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖学明，王江，陈伟，乔明明，
申请(专利权)人：苏州耀德半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：