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本发明公开了一种化学气相沉积设备的腔体结构，涉及化学气相沉积设备技术领域，包括外箱体和固定连接在外箱体底部的底板，所述底板的一侧安装有水箱，所述外箱体的顶部安装有气体罐，还包括：进气管，安装在气体罐的底部，放置板，设置在外箱体的内部，所述外...
该专利属于苏州耀德半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州耀德半导体有限公司授权不得商用。

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