一种磁栅尺驱动装置及包含其的硅片上下料装置制造方法及图纸

本技术公开了一种磁栅尺驱动装置及包含其的硅片上下料装置，涉及半导体设备领域，磁栅尺驱动装置，用于驱动装载箱上下移动，包括固定架，固定架上设置有有丝杆，丝杆的外表面设置有滑块，丝杆通过滑块驱动装载箱上下移动，所述丝杆的一侧设置有用于驱动丝杆转动的步进电机；所述滑块上设置有磁栅传感器，所述固定架上位于磁栅传感器的一侧设置有磁栅尺，所述磁栅传感器相对磁栅尺上下移动。本申请中控制器将装载箱实际移动的距离与步进马达计步的信号相比较，若两者的结果不匹配，则发送报警信号将停止机台运行机构。又由于磁栅尺刻度精度高，因此本申请的侦测精度高，使得误差侦测的精度从原来的0.225mm提升至0.005mm，从而提高装载箱的移动精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备领域，特别涉及一种磁栅尺驱动装置及包含其的硅片上下料装置。

技术介绍

1、硅片在加工的过程中需要通过装载箱进行上下料，因此需要驱动部件驱动装载箱上下移动。

2、驱动部件包括步进马达，现有的驱动部件是采用光栅尺的方式侦测步进马达的运行误差，由于编码器只侦测步进电机传送的距离，并不知晓装载箱实际运动的距离，在皮带变松或是转动轴打滑的情况下，装载箱实际运动的距离与步进电机传送的距离之间有很大的偏差，同时由于光栅尺结构的极限限制，其误差精度只能控制在0.225mm以上,在某些误差精度要求高的使用环境下不能满足要求。

技术实现思路

1、为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种侦测精度更高，使得装载箱移动精度更高的磁栅尺驱动装置。

2、为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：磁栅尺驱动装置用于驱动装载箱上下移动，包括固定架，所述固定架上设置有有丝杆，所述丝杆的外表面设置有滑块，所述丝杆通过滑块驱动装载箱上下移动，所述丝杆的一侧设置有用于驱动丝杆转动的步进电机；

3、所述滑块上设置有磁栅传感器，所述固定架上位于磁栅传感器的一侧设置有磁栅尺，所述磁栅传感器相对磁栅尺上下移动。

4、步进电机转动驱动丝杆转动带动滑块和装载箱上下移动从而驱动硅片上下移动。

5、所述磁栅尺驱动装置还包括控制器，所述步进电机和磁栅传感器分别与控制器电性连接。

6、所述磁栅传感器用于侦测装载箱相对磁栅尺实际移动的距离，并将侦测到的数据信号传送给控制器，所述步进马达将计步信号发送给控制器，所述控制器将装载箱实际移动的距离与步进马达计步的信号相比较，若两者的结果不匹配，则发送报警信号将停止机台运行机构。又由于磁栅尺刻度精度高，因此本申请的侦测精度高，使得误差侦测的精度从原来的0.225mm提升至0.005mm，从而提高装载箱的移动精度，

7、进一步的是：所述步进电机的驱动轴通过同步轮和同步带与丝杆连接。

8、工作原理：

9、所述步进电机转动其驱动轴驱动同步轮转动，带动同步带传动从而驱动丝杆转动从而驱动滑块和装载箱上下移动。

10、进一步的是：所述滑块通过第一导杆与装载箱连接，所述第一导杆分别与滑块和装载箱固定连接。所述滑块上下移动带动第一导杆上下移动从而带动装载箱上下移动。

11、进一步的是：所述磁栅尺的一侧固定连接有磁栅固定板，所述磁栅固定板用于固定磁栅尺。

12、进一步的是：所述磁栅固定板的两端固定连接有抱箍支架，所述磁栅固定板与抱箍支架通过螺栓固定连接。所述抱箍支架通过第二导杆连接在固定架上。

13、一种硅片上下料装置，包括磁栅尺驱动装置和设置在磁栅尺驱动装置一侧的装载箱，所述磁栅尺驱动装置驱动装载箱上下移动，所述装载箱内设置有载台。硅片放置在装载箱内的载台上，所述磁栅尺驱动装置驱动装载箱上下移动从而驱动硅片上下移动实现上下料。

14、本技术的有益效果是，所述磁栅传感器用于侦测装载箱相对磁栅尺实际移动的距离，并将侦测到的数据信号传送给控制器，所述步进马达将计步信号发送给控制器，所述控制器将装载箱实际移动的距离与步进马达计步的信号相比较，若两者的结果不匹配，则发送报警信号将停止机台运行机构。又由于磁栅尺刻度精度高，因此本申请的侦测精度高，使得误差侦测的精度从原来的0.225mm提升至0.005mm，从而提高装载箱的移动精度。

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【技术保护点】

1.一种磁栅尺驱动装置，用于驱动装载箱上下移动，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)上设置有有丝杆(2)，所述丝杆(2)的外表面设置有滑块(3)，所述丝杆(2)通过滑块(3)驱动装载箱上下移动，所述丝杆(2)的一侧设置有用于驱动丝杆(2)转动的步进电机(4)；

2.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述步进电机(4)的驱动轴通过同步轮和同步带与丝杆(2)连接。

3.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述滑块(3)通过第一导杆(7)与装载箱连接，所述第一导杆(7)分别与滑块(3)和装载箱固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述磁栅尺(6)的一侧固定连接有磁栅固定板(8)。

5.根据权利要求4所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述磁栅固定板(8)的两端固定连接有抱箍支架(9)，所述抱箍支架(9)通过第二导杆(10)连接在固定架(1)上。

6.一种硅片上下料装置，其特征在于：包括权利要求1-5任一项所述的磁栅尺驱动装置(100)，所述硅片上下料装置还包括设置在磁栅尺驱动装置(100)一侧的装载箱(200)，所述磁栅尺驱动装置(100)驱动装载箱(200)上下移动，所述装载箱(200)内设置有载台。

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【技术特征摘要】

1.一种磁栅尺驱动装置，用于驱动装载箱上下移动，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)上设置有有丝杆(2)，所述丝杆(2)的外表面设置有滑块(3)，所述丝杆(2)通过滑块(3)驱动装载箱上下移动，所述丝杆(2)的一侧设置有用于驱动丝杆(2)转动的步进电机(4)；

2.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述步进电机(4)的驱动轴通过同步轮和同步带与丝杆(2)连接。

3.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述滑块(3)通过第一导杆(7)与装载箱连接，所述第一导杆(7)分别与滑块(3)和装载箱固定连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：赖学明，
申请(专利权)人：苏州耀德半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：