硅片传送机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片传送机构，包括传送腔及围绕传送腔设置的多个工艺腔，传送腔内设有在旋转机构作用下能朝向任一工艺腔的伸缩臂，伸缩臂上安装有能伸入到工艺腔内的夹取片叉。还包括检测机构，检测机构包括第一检测组件、第二检测组件，第一检测组件安装在夹取片叉上，用以检测是否夹取到硅片；第二检测组件安装在工艺腔的顶部，其包括与工艺腔一一对应设置的第二检测部，每个第二检测部均包括在驱动件作用下能相向或背向移动的一对视觉相机，且一对视觉相机的连线中点与对应的工艺腔的中点沿竖直方向投影后的连线垂直于一对视觉相机沿竖直方向投影的连线。本实用新型专利技术的硅片传送机构能对不同规格的硅片进行位置检测，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片传送机构


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种硅片传送机构。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，硅片通常需要经过多个工艺处理后，才能成为具有特定电性功能的集成电路产品。目前，通常采用机械手来实现硅片在不同工艺腔室之间的传送。为了防止硅片传送过程中的位置偏移，一般会在传送装置中设置检测机构来检测硅片的位置，但由于硅片的型号规格不同，在实际检测时，需要根据硅片的型号规格来调整检测机构的位置，但现有的检测机构位置调整较为困难，严重影响生产效率。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种硅片传送机构，能对不同规格的硅片进行位置检测，提高生产效率。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种硅片传送机构，包括传送腔及围绕所述传送腔设置的多个工艺腔，所述传送腔内设有在旋转机构作用下能朝向任一所述工艺腔的伸缩臂，所述伸缩臂上安装有能伸入到所述工艺腔内的夹取片叉；还包括检测机构，所述检测机构包括配合使用的第一检测组件、第二检测组件，所述第一检测组件安装在所述夹取片叉上，用以检测是否夹取到硅片；所述第二检测组件安装在传送腔的顶部，其包括与所述工艺腔一一对应设置的第二检测部，每个所述第二检测部均包括在驱动件作用下能相向或背向移动的一对视觉相机，且一对所述视觉相机的连线中点与对应的所述工艺腔的中点沿竖直方向投影后的连线垂直于一对所述视觉相机沿竖直方向投影的连线。
[0005]工作前，首先在夹取片叉上放置一片硅片(并以该硅片的位置作为未偏移的基准位置)，然后通过驱动件驱动一对视觉相机移动，以使一对视觉相机移动至对准硅片的边缘处，此时，一对视觉相机均能检测到硅片；然后使伸缩臂在旋转机构的作用下朝向任一工艺腔时，首先驱动伸缩臂向工艺腔的方向伸出，以使夹取片叉能进入到工艺腔内夹取硅片(或将硅片夹取到工艺腔内)；当夹取片叉上夹取有硅片时，第一检测部能检测到硅片；然后伸缩臂缩回，以使夹取片叉带动硅片进入到传送腔内，此时，若硅片位置未偏移，则与该工艺腔对应的两个视觉相机均能检测到硅片；若硅片位置偏移，则有一个视觉相机不能检测到硅片，此时，即可判断硅片位置偏移。
[0006]本技术的有益效果在于：
[0007]在检测机构中，首先通过第一检测组件能检测出夹取片叉上是否夹取到硅片，然后通过第二检测部的两个视觉相机来配合检测硅片的位置，即可利用三点(第一检测组件、两个视觉相机)来确定硅片的位置；再通过驱动件带动一对视觉相机移动，即可根据硅片的规格来调整视觉相机的位置，且通过对一对视觉相机的连线中点位置的限定，使得一对视觉相机相向或背向移动时，视觉相机的连线中点、工艺腔的中点沿竖直方向的投影始终位于同一直线上，实现对硅片位置偏移的检测；本申请能对不同规格的硅片进行位置检测，提
高生产效率。
[0008]进一步来说，所述驱动件包括通过安装座安装在所述传送腔顶部的双向丝杆，所述双向丝杆上螺纹连接有一对能相向或背向移动的螺母座，所述螺母座的下端通过连接件连接有所述视觉相机。通过双向丝杆与螺母座的配合即实现了一对视觉相机的相向或背向移动。
[0009]进一步来说，所述连接件包括L型板、连接板，所述L型板固接在螺母座上，其一侧连接有用以安装所述视觉相机的连接板。
[0010]进一步来说，所述L型板的一侧开设有沿竖直方向布设的腰型孔，所述连接板上开设有螺孔，所述螺孔内穿设有能穿过所述腰型孔的螺钉。通过腰型孔、螺孔、螺钉的配合实现了连接板相对于L型板的竖向微移，便于调整视觉相机的竖向位置。
[0011]进一步来说，所述第一检测组件包括开设在所述夹取片叉上的开槽，所述开槽内安装有到位传感器；当所述夹取片叉夹取到硅片时，所述硅片能遮挡住所述开槽。
[0012]进一步来说，所述伸缩臂包括与所述旋转机构固接的固定臂，所述固定臂沿其长度方向上滑动设置有伸缩板，所述伸缩板上安装有所述夹取片叉。通过固定臂与伸缩板的配合实现了夹取片叉的伸缩移动。
[0013]进一步来说，所述传送腔内设有与所述旋转机构固接的传送基台，所述传送基台上设有多个能同时朝向不同工艺腔的伸缩臂。通过多个伸缩臂的设置能同时实现多个工艺腔的运作，提高生产效率。
附图说明
[0014]图1为本技术实施例的硅片传送机构的结构示意图；
[0015]图2为图1中A部位的局部放大图；
[0016]图3为本技术实施例的传送腔顶部的结构示意图；
[0017]图4为本技术实施例的第二检测部的结构示意图。
[0018]图中：
[0019]1‑
传送腔；2
‑
工艺腔；3
‑
伸缩臂；31
‑
固定臂；32
‑
伸缩板；4
‑
夹取片叉；41
‑
开槽；5
‑
硅片；61
‑
视觉相机；62
‑
双向丝杆；63
‑
螺母座；64
‑
L型板；65
‑
连接板。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0021]实施例
[0022]参见附图1
‑
4所示，本技术的一种硅片传送机构，包括传送腔1及围绕传送腔1设置的多个工艺腔2，传送腔1内设有在旋转机构作用下能朝向任一工艺腔2的伸缩臂3，伸缩臂3上安装有能伸入到工艺腔2内的夹取片叉4；硅片传送机构还包括检测机构，检测机构包括配合使用的第一检测组件、第二检测组件，其中，第一检测组件安装在夹取片叉4上，用以检测是否夹取到硅片5；第二检测组件安装在传送腔2的顶部，其包括与工艺腔2一一对应设置的第二检测部，每个第二检测部均包括在驱动件作用下能相向或背向移动的一对视觉
相机61，且一对视觉相机61的连线中点与对应的工艺腔2的中点沿竖直方向投影后的连线垂直于一对视觉相机61沿竖直方向投影的连线。
[0023]工作前，首先在夹取片叉4上放置一片硅片5(并以该硅片5的位置作为未偏移的基准位置)，然后通过驱动件驱动一对视觉相机61移动，以使一对视觉相机61移动至对准硅片5的边缘处，此时，一对视觉相机61均能检测到硅片5，然后使伸缩臂3在旋转机构的作用下朝向任一工艺腔2时，首先驱动伸缩臂3向工艺腔2的方向伸出，以使夹取片叉4能进入到工艺腔2内夹取硅片5(或将硅片5夹取到工艺腔2内)；当夹取片叉4上夹取有硅片5时，第一检测部能检测到硅片5；然后伸缩臂3缩回，以使夹取片叉4带动硅片5进入到传送腔1内，此时，若硅片1位置未偏移，则与该工艺腔2对应的两个视觉相机61均能检测到硅片5；若硅片5位置偏移，则有一个视觉相机61不能检测到硅片5，此时，即可判断硅片5位置发生偏移。
[0024本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片传送机构，包括传送腔及围绕所述传送腔设置的多个工艺腔，所述传送腔内设有在旋转机构作用下能朝向任一所述工艺腔的伸缩臂，所述伸缩臂上安装有能伸入到所述工艺腔内的夹取片叉；其特征在于：还包括检测机构，所述检测机构包括配合使用的第一检测组件、第二检测组件，所述第一检测组件安装在所述夹取片叉上，用以检测是否夹取到硅片；所述第二检测组件安装在传送腔的顶部，其包括与所述工艺腔一一对应设置的第二检测部，每个所述第二检测部均包括在驱动件作用下能相向或背向移动的一对视觉相机，且一对所述视觉相机的连线中点与对应的所述工艺腔的中点沿竖直方向投影后的连线垂直于一对所述视觉相机沿竖直方向投影的连线。2.根据权利要求1所述的硅片传送机构，其特征在于：所述驱动件包括通过安装座安装在所述传送腔顶部的双向丝杆，所述双向丝杆上螺纹连接有一对能相向或背向移动的螺母座，所述螺母座的下端通过连接件连接有所述视觉相机。3.根据权利要求2所述的硅片...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖学明，
申请(专利权)人：苏州耀德半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：