改善ESD防护器件均匀导通的方法技术

技术编号:3341406 阅读:252 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术揭示一种改善ESD防护器件均匀导通的方法,适用于集成电路中静电放电(ESD)防护器件的特性改进,其中所述的MOS晶体管具有多个相互并联的指状元件,各指状元件分别关联于一个寄生三极管,且各寄生三极管的集电极(即MOS晶体管的漏极)通过共漏极线耦接于工作电位端或集成电路的I/O端,寄生三极管的发射极(即MOS晶体管的源极)与MOS晶体管的栅极、衬底共同连接于公共接地电位端。其特征为:在所述的ESD防护器件中,MOS晶体管的衬底端还串联有一高阻值装置,进而将其与上述源极、栅极一起耦接到公共接地电位端。藉此可以降低Gated_MOSFET的触发电压,使得大尺寸的防护器件能够更均匀的导通,提高器件的ESD防护能力,进一步节省电路设计面积,降低开发成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种静电放电防护电路,特别涉及一种改善ESD防护器件均匀 导通的方法。
技术介绍
随着半导体工艺制程的日益先进,静电放电(Electrostatic Discharge) 问题受到越来越多设计者的重视。在电路设计中,可以用来做ESD防护器件 的有电阻、二极管、三极管、金氧半场效应晶体管及硅控整流器等等。在 种类繁多的ESD防护器件中,Gated—M0SFET由于其易于设计且防护能力较佳, 应用最为广泛。特别地,在骤回崩溃机制下,N型金氧半晶体管(以下简称丽0S)是为 一种有效的静电放电防护装置。当静电放电发生时,骤回崩溃机制会致使NMOS 传导一个大的静电放电电流(ESD current)于其漏极与源极之间。为了承受 足够高的静电放电电流以达到集成电路对静电放电的防护规格,该丽0S器件 经常具有较大尺寸,而大尺寸的丽OS组件在集成电路布局上, 一般都是制成 多指状结构。这些丽OS的所有多指状元件在静电放电条件下,由于各个寄生 三极管的导通时间不同,经常只有其中少数指状元件的寄生三极管先导通来 排放瞬间的静电放电电流,而其他指状元件的寄生三级管均未启动来协助排 放ESD本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改善ESD防护器件均匀导通的方法,适用于集成电路中静电放电(ESD)防护器件的特性改进,其中所述的MOS晶体管具有多个相互并联的指状元件,各指状元件分别关联于一个寄生三极管,且各寄生三极管的集电极(即MOS晶体管的漏极)通过共漏极线耦接于工作电位端或集成电路的I/O端,寄生三极管的发射极(即MOS晶体管的源极)与MOS晶体管的栅极及衬底共同连接于公共接地电位端,其特征在于:在所述的ESD防护器件中,MOS晶体管的衬底端还串联有一高阻值装置,进而将其与上述源极、栅极一起耦接到公共接地电位端。

【技术特征摘要】
1.一种改善ESD防护器件均匀导通的方法,适用于集成电路中静电放电(ESD)防护器件的特性改进,其中所述的MOS晶体管具有多个相互并联的指状元件,各指状元件分别关联于一个寄生三极管,且各寄生三极管的集电极(即MOS晶体管的漏极)通过共漏极线耦接于工作电位端或集成电路的I/O端,寄生三极管的发射极(即MOS晶体管的源极)与MOS晶体管的栅极及衬底共同连接于公共接地电位端,其特征在于在所述的ESD防护器件中,MOS晶体管的衬底端还串联有一高阻值装置,进而将其与上述源极、栅极一起耦接到公共接地电位端。2. 根据权利要求1所述的改善ESD防护器件均匀导通的方法,其特征在 于所述的ESD防护器件为N沟道场效应管。3. 根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:石俊夏洪旭王政烈
申请(专利权)人:和舰科技苏州有限公司
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]

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