IC测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种IC测试装置，包括检测平台和测试机构，测试机构包括水平驱动系统、竖直驱动系统和测试压头。竖直驱动系统包括固定架、竖直电机、竖直丝杆、竖直螺母和压杆，固定架固定在水平驱动系统上，竖直丝杆沿竖直方向设置且可转动地安装于固定架上，竖直电机连接竖直丝杆以驱动竖直丝杆转动，竖直螺母套设于竖直丝杆外侧并与竖直丝杆螺纹配合，压杆套设于竖直丝杆外侧并固定连接竖直螺母，测试压头连接于压杆的一端，且测试压头与竖直丝杆同轴设置。测试压头对IC进行下压测试时，测试压头受到的两个力同轴且方向相反，消除了测试压头受到的弯矩负载，使得IC测试压力均匀分布，从而避免了测试压头结构变形倾斜的问题。而避免了测试压头结构变形倾斜的问题。而避免了测试压头结构变形倾斜的问题。

【技术实现步骤摘要】
IC测试装置


[0001]本专利技术涉及测试设备
，特别是涉及一种IC测试装置。

技术介绍

[0002]随着IC功能模块逐渐复杂化，IC的测试压力及测试时间呈逐渐增长的趋势。针对测试时间较长的IC，增加单次测试IC工位数量有利于降低整体测试成本。因此多工位大压力测试装置需求应运而生，目前已公开的多工位测试装置包含两个机构一致的测试压头，每套测试压头连接有自己独立的水平及竖直驱动系统。整个测试过程中，水平和竖直驱动系统协同作用驱动测试压头在水平及竖直两个方向并行运动，因此测试压头可以取放IC并进行下压测试。
[0003]然而，现有的IC测试装置中，竖直驱动系统位于测试压头两侧，因此测试压头进行竖直下压测试时，测试压头受到侧边竖直驱动系统驱动力和测试IC反作用力两个力的作用，两个作用力不同轴，从而形成弯矩负载作用，导致测试IC时测试压头有结构变形倾斜的问题，从而引发IC测试压力不均匀，影响IC测试关键指标的测试良率。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，有必要提供一种IC测试装置，能够避免测试压头结构变形倾斜的问题。
[0005]本专利技术提供一种IC测试装置，包括检测平台以及设置在所述检测平台上的一个或多个测试机构，所述测试机构包括水平驱动系统、竖直驱动系统以及测试压头，所述竖直驱动系统安装于所述水平驱动系统上，并通过所述水平驱动系统驱动所述竖直驱动系统进行水平移动，所述测试压头设置在所述竖直驱动系统上，并通过所述竖直驱动系统驱动所述测试压头进行竖直移动；所述竖直驱动系统包括固定架、竖直电机、竖直丝杆、竖直螺母以及压杆，所述固定架固定在所述水平驱动系统上，所述竖直丝杆沿竖直方向设置且可转动地安装于所述固定架上，所述竖直电机连接所述竖直丝杆以驱动所述竖直丝杆转动，所述竖直螺母套设于所述竖直丝杆外侧并与所述竖直丝杆螺纹配合，所述压杆套设于所述竖直丝杆外侧并固定连接所述竖直螺母，所述测试压头连接于所述压杆的一端，且所述测试压头与所述竖直丝杆同轴设置。
[0006]当采用该IC测试装置对IC进行下压测试时，竖直电机控制竖直丝杆转动，从而竖直螺母沿竖直丝杆的轴向移动，由于压杆与竖直螺母固定连接，且测试压头连接于压杆的一端，因此测试压头随着竖直螺母一起沿竖直丝杆的轴向移动。由于测试压头与竖直丝杆同轴设置，因此，测试压头受到的竖直向下移动的驱动力和被测试的IC反作用于测试压头的反作用力同轴且方向相反，从而消除了测试压头受到的弯矩负载，使得IC测试压力均匀分布，从而避免了测试压头结构变形倾斜的问题，保证了IC测试关键指标的测试良率。
[0007]在其中一个实施例中，所述固定架包括第一固定板、第二固定板和连接板，所述第二固定板位于所述第一固定板下方，所述连接板固定连接所述第一固定板和所述第二固定板。
[0008]如此设置，固定架结构简单，便于固定架与竖直丝杆连接，且便于固定架与水平驱动系统固定连接。本实施例中，竖直丝杆连接于第一固定板，第二固定板固定连接水平驱动系统。
[0009]在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统还包括竖直主动轮、竖直从动轮以及竖直同步带，所述竖直电机固定于所述第一固定板，所述竖直电机的输出轴连接所述竖直主动轮，所述竖直丝杆的上端穿过所述第一固定板，并连接所述竖直从动轮，所述竖直同步带套设于所述竖直主动轮和所述竖直从动轮外侧。
[0010]通过竖直主动轮、竖直从动轮和竖直同步带的传动，竖直电机可以设置在竖直丝杆一侧，从而可以避免该竖直驱动系统的整体长度过长，使得整体结构更加合理紧凑。
[0011]在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统还包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部套设于所述竖直丝杆上端，且所述第一支撑部固定于所述第一固定板；所述第二支撑部套设于所述竖直丝杆下端，且所述第二支撑部固定于所述第二固定板。
[0012]设置第一支撑部和第二支撑部可以支撑竖直丝杆的两端，有利于保持竖直丝杆转动的稳定。
[0013]在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统还包括竖直导轨以及竖直滑块，所述竖直导轨固定连接所述压杆，所述竖直滑块与所述竖直导轨滑动配合，且所述竖直滑块固定连接所述固定架。
[0014]如此设置，竖直丝杆转动驱动竖直螺母沿竖直丝杆移动时，竖直螺母、压杆和竖直导轨一起相对固定架移动，通过竖直导轨与竖直滑块滑动配合起到导向限位的作用，压杆在竖直方向上的移动更加顺畅，从而压头在竖直方向上的移动也更加顺畅。
[0015]在其中一个实施例中，所述竖直驱动系统包括至少一对所述竖直导轨，至少一对所述竖直导轨对称设置于所述压杆两侧，且所述测试压头至少部分被夹持于至少一对所述竖直导轨之间。
[0016]如此设置，压杆被夹在至少一对竖直导轨之间，竖直导轨与竖直滑块配合，压杆上下移动时非常平稳顺畅。
[0017]在其中一个实施例中，所述水平驱动系统包括：水平电机、水平丝杆以及水平螺母，所述水平电机固定安装于所述检测平台，所述水平电机的输出轴连接所述水平丝杆，以驱动所述水平丝杆转动，所述水平螺母套设于所述水平丝杆外侧，并与所述水平丝杆螺纹配合，所述固定架固定连接所述水平螺母，以在所述水平电机驱动所述水平丝杆转动时，所述竖直驱动系统能够沿所述水平丝杆的长度方向移动。
[0018]如此设置，水平电机可控制水平丝杆转动，从而水平螺母沿水平丝杆移动，由于固定架固定连接水平螺母，因此，固定架上的结构随着固定架和水平螺母一起平移，也就是竖直驱动系统和测试压头一起随着水平螺母平移。该实施例通过水平电机控制竖直驱动系统移动，能够实现竖直驱动系统的精确控制，将测试压头准确平移到预设位置。
[0019]在其中一个实施例中，所述水平驱动系统还包括水平导轨和水平滑块，所述水平导轨固定于所述检测平台上，所述水平滑块与所述水平导轨滑动配合，且所述水平滑块固定连接所述固定架。
[0020]如此设置，固定架随着水平螺母移动时，水平滑块沿着水平导轨移动，水平滑块与水平导轨配合起到导向及维持稳定的作用，使得固定架在水平电机的驱动下能够平稳顺畅
移动，从而保证了压头平移的稳定性及顺畅性。
[0021]在其中一个实施例中，所述水平驱动系统还包括第一水平支撑座和第二水平支撑座，第一水平支撑座套设于所述水平丝杆一端并与所述水平丝杆转动配合，第二水平支撑座套设于所述水平丝杆另一端并与所述水平丝杆转动配合，且所述第一水平支撑座和第二水平支撑座均固定于所述检测平台。
[0022]设置第一水平支撑座和第二水平支撑座可以支撑水平丝杆的两端，有利于保持水平丝杆转动的稳定性。
[0023]在其中一个实施例中，所述水平驱动系统还包括水平主动轮、水平从动轮以及水平同步带，所述水平电机的输出轴连接所述水平主动轮，所述水平丝杆的一端连接所述水平从动轮，所述水平同步带套设于所述水平主动轮和所述水平从动轮外侧。
[0024]通过水平主动轮、水平从动轮和水平同步带的传动，水平电机的输出轴和水平丝杆可以不同轴设置，从而可以更合理地布置水平电机和水平丝杆的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种IC测试装置，包括检测平台(1)以及设置在所述检测平台(1)上的一个或多个测试机构(2)，所述测试机构(2)包括水平驱动系统(20)、竖直驱动系统(40)以及测试压头(60)，所述竖直驱动系统(40)安装于所述水平驱动系统(20)上，并通过所述水平驱动系统(20)驱动所述竖直驱动系统(40)进行水平移动，所述测试压头(60)设置在所述竖直驱动系统(40)上，并通过所述竖直驱动系统(40)驱动所述测试压头(60)进行竖直移动；其特征在于，所述竖直驱动系统(40)包括固定架(401)、竖直电机(402)、竖直丝杆(403)、竖直螺母(404)以及压杆(405)，所述固定架(401)固定在所述水平驱动系统(20)上，所述竖直丝杆(403)沿竖直方向设置且可转动地安装于所述固定架(401)上，所述竖直电机(402)连接所述竖直丝杆(403)以驱动所述竖直丝杆(403)转动，所述竖直螺母(404)套设于所述竖直丝杆(403)外侧并与所述竖直丝杆(403)螺纹配合，所述压杆(405)套设于所述竖直丝杆(403)外侧并固定连接所述竖直螺母(404)，所述测试压头(60)连接于所述压杆(405)的一端，且所述测试压头(60)与所述竖直丝杆(403)同轴设置。2.根据权利要求1所述的IC测试装置，其特征在于，所述固定架(401)包括第一固定板(4011)、第二固定板(4012)和连接板(4013)，所述第二固定板(4012)位于所述第一固定板(4011)下方，所述连接板(4013)固定连接所述第一固定板(4011)和所述第二固定板(4012)。3.根据权利要求2所述的IC测试装置，其特征在于，所述竖直驱动系统(40)还包括竖直主动轮(406)、竖直从动轮(407)以及竖直同步带(408)，所述竖直电机(402)固定于所述第一固定板(4011)，所述竖直电机(402)的输出轴连接所述竖直主动轮(406)，所述竖直丝杆(403)的上端穿过所述第一固定板(4011)，并连接所述竖直从动轮(407)，所述竖直同步带(408)套设于所述竖直主动轮(406)和所述竖直从动轮(407)外侧。4.根据权利要求2所述的IC测试装置，其特征在于，所述竖直驱动系统(40)还包括第一支撑部(409)和第二支撑部(410)，所述第一支撑部(409)套设于所述竖直丝杆(403)上端，且所述第一支撑部(409)固定于所述第一固定板(4011)；所述第二支撑部(410)套设于所述竖直丝杆(403)下端，且所述第二支撑部(410)固定于所述第二固定板(4012)。5.根据权利要求1所述的IC测试装置，其特征在于，所述竖直驱动系统(40)还包括竖直导轨(411)以及竖直滑块(412)，所述竖直导轨(411)固定连接所述压杆(405)，所述竖直滑块(412)与所述竖直导轨(411)滑动配合，且所述竖直滑块(412)固定连接所述固定架(401)。6.根据权利要求5所述的IC测试装置，其特征在于，所述竖直驱动系统(40)包括至少一对所述竖直导轨(411)，至少一对所述竖直导轨(411)对称设置于所述压杆(405)两侧，且所述测试压头(60)至少部分被夹持于至少一对所述竖直导轨(411)之间。7.根据权利要求1所述的IC测试装置，其特征在于，所述水平驱动系统(20)包括：水平电机(201)、水平丝杆(202)以及水平螺母(203)，所述水平电机(201)固定安装于所述检测平台(1)，所述水平电机(201)的输出轴连接所述水平丝杆(202)，以驱动所述水平丝杆(202)转动，所述水平螺母(203)套设于所述水平丝杆(202)外侧，并与所述水平丝杆(202)螺纹配合，所述固定架(401)固定连接所述水平螺母(203)，以在所述水平电机(201)驱动所述水平丝杆(202)转动时，所述竖直驱动系统(40...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙炎俊，胡昊，刘治震，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：