下载IC测试装置的技术资料

文档序号:32873321

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本发明涉及一种IC测试装置,包括检测平台和测试机构,测试机构包括水平驱动系统、竖直驱动系统和测试压头。竖直驱动系统包括固定架、竖直电机、竖直丝杆、竖直螺母和压杆,固定架固定在水平驱动系统上,竖直丝杆沿竖直方向设置且可转动地安装于固定架上,竖...
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