一种硅片生产加工用视觉检测器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片生产加工用视觉检测器，包括防尘仓，所述防尘仓内底面固定设置有两个支座，两个所述支座之间固定设置有放置盘，所述放置盘上设置有反馈基板，所述放置盘外的两相对侧均设置有滚动带，两个所述滚动带之间固定设置有可对反馈基板的上表面进行周期性清洁的清洁刷。本实用新型专利技术通过设置固定于滚动带上的清洁刷，使得清洁刷在滚动带的带动下发生环绕放置盘上下侧的周期性滚动，进而实现了，既在清洁刷滚动经过放置盘下侧时，不妨碍硅片的视觉检测要求，也在清洁刷滚动经过放置盘上侧时，对反馈基板的上表面进行清洁，保证硅片视觉检测的准确性，代替了人工将反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产加工用视觉检测器


[0001]本技术涉及硅片生产加工
，具体为一种硅片生产加工用视觉检测器。

技术介绍

[0002]硅片在正式投入加工使用前，需要进行表面缺陷的视觉检测，现有的视觉检测器基本上已经能够满足硅片生产加工的使用需求，但仍有一些不足之处需要改进。
[0003]专利文件CN111293051A提出的一种硅片自动检测机构及检测方法，该硅片自动检测机构包括：输送机构、归整机构、监测拍照机构、图像分析装置、六轴机械手以及若干硅片收集装置；输送机构一端与烧结炉主体机相衔接，另一端设置有若干硅片收集装置，归整机构设于输送机构两侧，监测拍照机构设于输送机构上方，用于拍摄硅片的外观；六轴机械手设于输送机构一侧，用于将输送机构上的硅片分别抓放至相应的硅片收集装置中；图像分析装置分别与检测拍照机构、六轴机械手电性连接。本专利技术采用全自动化生产，依靠红外短波摄像机以及光电传感器相结合的检测方案，不仅可以避免人工检测长时间工作带来的视觉疲劳和误差，还可以大大提高生产效率，减少人工成本。
[0004]视觉检测器通常为光学仪器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产加工用视觉检测器，包括防尘仓(1)，其特征在于：所述防尘仓(1)内底面固定设置有两个支座(2)，两个所述支座(2)之间固定设置有放置盘(3)，所述放置盘(3)上设置有反馈基板(4)，所述放置盘(3)外的两相对侧均设置有滚动带(5)，两个所述滚动带(5)之间固定设置有可对反馈基板(4)的上表面进行周期性清洁的清洁刷(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述放置盘(3)的两相对侧均转动贯穿设置有转轴(7)，所述转轴(7)的两端分别与两个支座(2)贯穿转动连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述转轴(7)的两端部且位于支座(2)与放置盘(3)之间的部分同轴固定连接有滚轮(8)，所述滚动带(5)张紧套设在同侧对应的两个滚轮(8)上设置。4.根据权利要求1所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述防尘仓(1)内顶面且对应反馈基板(4)的上方设置有光学检测器(9)，所述光学检测器(9)与反馈基板(4)之间可形成完整的硅片视觉检测体系。5.根据权利要求1所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述防尘仓(1)的两相对侧均设有用于硅片输送的开口(10)，两个所述开口(10)内分别固定设置有用于硅片输送的第一输送组件与第二输送组件，且所述第一输送组件与第二输送组件之间保有一定间隙设置。6.根据权利要求5所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述第一输送组件包括输送轮(11)与输送带(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李跃，
申请(专利权)人：东方日升安徽新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：