一种用于存储晶圆测试的辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆测试技术领域，具体是一种用于存储晶圆测试的辅助装置，包括水箱，所述水箱的底部外壁固定有四个支撑腿，所述支撑腿的一侧外壁固定有固定板，所述固定板的顶部外壁固定有电动推杆，所述电动推杆的顶端固定有顶盖，所述顶盖的顶部外壁设置有扰动机构，所述水箱的内壁设置有夹持组件，本实用新型专利技术通过控制收卷电机带动收卷辊转动，在收卷辊转动时释放钢线，在弹簧的张力作用下将弧形夹板向中间推动，最终使得晶圆被有效夹持，此时控制面板上的显示屏显示压力传感器接收到的压力数值，当数值到达临界值时关闭收卷电机，既能够实现对晶圆的可靠固定，又能避免晶圆边缘受到过大的压力产生损坏，减少晶圆的损耗量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于存储晶圆测试的辅助装置


[0001]本技术涉及晶圆测试
，具体是一种用于存储晶圆测试的辅助装置。

技术介绍

[0002]目前，在半导体器件的制造工艺中，常常使用电化学镀(ECP)等工艺在刻蚀出的沟槽内壁以及晶圆表面形成铜电镀层，在铜电镀层形成完毕，将晶圆从电镀液中取出后，由于晶圆的边缘区域原来被电镀环夹住，所以镀不上铜电镀层，但是此处会出现毛边，为防止该毛边对后续检测工艺造成影响，需要对其进行清洗。
[0003]现有技术中，存在如下问题：
[0004](1)在对晶圆进行清洗时，需要对晶圆进行夹持，现有的夹持装置缺乏预警功能，夹持的力度过大会导致晶圆受损，造成晶圆的非必要消耗；
[0005](2)清洗晶圆时需要使用特制的清洗剂，但是现有的清洗剂对晶圆清洗时，其清洗剂保持在静止状态，毛边被清洗之后脱落的速度慢，且局部清洗剂被反应过后清洗的效率下降。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种用于存储晶圆测试的辅助装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]本技术的技术方案是：一种用于存储晶圆测试的辅助装置，包括水箱，所述水箱的底部外壁固定有四个支撑腿，所述支撑腿的一侧外壁固定有固定板，所述固定板的顶部外壁固定有电动推杆，所述电动推杆的顶端固定有顶盖，所述顶盖的顶部外壁设置有扰动机构，且顶盖的顶部外壁设置有注水管，所述水箱的一侧外壁固定有排水管，且水箱的顶部外壁固定有伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固定有托盘，所述托盘的顶部设置有橡胶凸杆，所述水箱的内壁设置有夹持组件，所述顶盖的一侧外壁固定有控制面板，通过控制电动推杆可以实现顶盖的开闭，避免在清洗时清洗剂溢出。
[0008]优选的，所述扰动机构包括水泵，所述水泵的两侧固定有连接管，所述顶盖的顶部外壁固定有两个水盒，所述水盒的顶部与连接管套接，位于两侧不同位置的所述水盒底部外壁套接有抽水管和回水管，启动水泵通过抽水管抽水再通过回水管向水箱中重新泵水，使得水箱中的清洗剂保持始终流通的状态。
[0009]优选的，所述抽水管和回水管的数量均为四个，四个抽水管和回水管呈线性阵列分布，提升对水流的扰动效果。
[0010]优选的，所述伸缩杆的外壁底部通过轴承连接有扰动扇叶，在水流的作用下带动扰动扇叶转动，使得水箱中清洗剂充分混合搅拌，使得毛边可以快速脱落。
[0011]优选的，所述夹持组件包括安装板，所述安装板固定于水箱的内壁，所述安装板的外壁开设有滑孔，滑孔的内壁插接有滑杆，所述滑杆的一端固定有压力传感器，所述压力传感器的一端固定有弧形夹板，所述滑杆的外壁套接有弹簧，所述弹簧的一端固定于安装板
的一侧外壁，所述滑杆的一端固定有基板，所述弹簧的另一端固定于基板的一侧外壁，所述滑杆的一端设置有控制组件，在弹簧的张力作用下将弧形夹板向中间推动，最终使得晶圆被有效夹持，控制面板上的显示屏显示压力传感器接收到的压力数值，当数值到达临界值时关闭收卷电机。
[0012]优选的，所述控制组件包括折板和导轮，所述折板和导轮固定于水箱的底部内壁，所述折板的顶部外壁固定有收卷电机，所述收卷电机的输出轴顶端固定有收卷辊，所述收卷辊的外壁固定有钢线，所述钢线绕接于导轮的外壁，且钢线的一端与滑杆的一端固定连接，控制收卷电机带动收卷辊转动，在收卷辊转动时释放钢线，实现对晶圆夹持的目的。
[0013]优选的，单侧所述弧形夹板分成三段，且弧形夹板的断面固定有弹性片，弹性片的设置使得分成三段的弧形夹板能够可靠的对晶圆片进行包裹，增大接触面积，进一步提升夹持的可靠性。
[0014]本技术通过改进在此提供一种用于存储晶圆测试的辅助装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
[0015]其一：本技术通过控制收卷电机带动收卷辊转动，在收卷辊转动时释放钢线，在弹簧的张力作用下将弧形夹板向中间推动，最终使得晶圆被有效夹持，此时控制面板上的显示屏显示压力传感器接收到的压力数值，当数值到达临界值时关闭收卷电机，既能够实现对晶圆的可靠固定，又能避免晶圆边缘受到过大的压力产生损坏，减少晶圆的损耗量；
[0016]其二：本技术通过注水管向水箱中注入清洗剂，对晶圆外壁的毛边进行清洗，在清洗的过程中启动水泵，水泵通过抽水管抽水再通过回水管向水箱中重新泵水，使得水箱中的清洗剂保持始终流通的状态，同时在水流的作用下带动扰动扇叶转动，使得水箱中清洗剂充分混合搅拌，使得毛边可以快速脱落，提升清洗效率。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术作进一步解释：
[0018]图1是本技术的立体图；
[0019]图2是本技术中水箱部分剖视立体图；
[0020]图3是图2中A部分的局部放大图；
[0021]图4是本技术的另一角度的立体图；
[0022]图5是图4中B部分的局部放大图；
[0023]附图标记说明：
[0024]1、支撑腿；2、水箱；3、固定板；4、电动推杆；5、顶盖；6、水泵；7、水盒；8、抽水管；9、回水管；10、控制面板；11、排水管；12、注水管；13、导轮；14、钢线；15、扰动扇叶；16、伸缩杆；17、托盘；18、安装板；19、压力传感器；20、弹簧；21、滑杆；22、弧形夹板；23、弹性片；24、折板；25、收卷电机；26、收卷辊。
具体实施方式
[0025]下面对本技术进行详细说明，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获
得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术通过改进在此提供一种用于存储晶圆测试的辅助装置，本技术的技术方案是：
[0027]如图1
‑
图5所示，一种用于存储晶圆测试的辅助装置，包括水箱2，水箱2的底部外壁固定有四个支撑腿1，支撑腿1的一侧外壁固定有固定板3，固定板3的顶部外壁固定有电动推杆4，电动推杆4的顶端固定有顶盖5，顶盖5的顶部外壁设置有扰动机构，且顶盖5的顶部外壁设置有注水管12，水箱2的一侧外壁固定有排水管11，且水箱2的顶部外壁固定有伸缩杆16，伸缩杆16的顶端固定有托盘17，托盘17的顶部设置有橡胶凸杆，水箱2的内壁设置有夹持组件，顶盖5的一侧外壁固定有控制面板10，通过控制电动推杆4可以实现顶盖5的开闭，避免在清洗时清洗剂溢出。
[0028]进一步地，扰动机构包括水泵6，水泵6的两侧固定有连接管，顶盖5的顶部外壁固定有两个水盒7，水盒7的顶部与连接管套接，位于两侧不同位置的水盒7底部外壁套接有抽水管8和回水管9，启动水泵6通过抽水管8抽水再通过回水管9向水箱2中重新泵水，使得水箱2中的清洗剂保持始终流通的状态。
[0029]进一步地，抽水管8和回水管9的数量均为四个，四个抽水管8和回水管9呈线性阵本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于存储晶圆测试的辅助装置，其特征在于：包括水箱(2)，所述水箱(2)的底部外壁固定有四个支撑腿(1)，所述支撑腿(1)的一侧外壁固定有固定板(3)，所述固定板(3)的顶部外壁固定有电动推杆(4)，所述电动推杆(4)的顶端固定有顶盖(5)，所述顶盖(5)的顶部外壁设置有扰动机构，且顶盖(5)的顶部外壁设置有注水管(12)，所述水箱(2)的一侧外壁固定有排水管(11)，且水箱(2)的顶部外壁固定有伸缩杆(16)，所述伸缩杆(16)的顶端固定有托盘(17)，所述托盘(17)的顶部设置有橡胶凸杆，所述水箱(2)的内壁设置有夹持组件，所述顶盖(5)的一侧外壁固定有控制面板(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于存储晶圆测试的辅助装置，其特征在于：所述扰动机构包括水泵(6)，所述水泵(6)的两侧固定有连接管，所述顶盖(5)的顶部外壁固定有两个水盒(7)，所述水盒(7)的顶部与连接管套接，位于两侧不同位置的所述水盒(7)底部外壁套接有抽水管(8)和回水管(9)。3.根据权利要求2所述的一种用于存储晶圆测试的辅助装置，其特征在于：所述抽水管(8)和回水管(9)的数量均为四个。4.根据权利要求1所述的一种用于存储晶圆测试的辅助装置，其特征在于：所述伸缩杆(16)的外壁底部通过轴承连接有扰动扇叶...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳宗莲，阮建军，
申请(专利权)人：深圳市视界芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：