调谐经调制晶片的敏感度及确定用于经调制晶片的工艺窗的方法及装置制造方法及图纸

本申请实施例涉及用于调谐经调制晶片的敏感度及确定用于经调制晶片的工艺窗的系统、方法及非暂时性计算机可读媒体。本发明专利技术提供一种用于调谐经调制晶片的敏感度及确定用于所述经调制晶片的工艺窗的系统、方法及非暂时性计算机可读媒体。基于单组参数而动态地调谐所述经调制晶片的裸片的敏感度。此外，依据现有所确定的参数特定标称工艺窗而确定用于所述经调制晶片的所述工艺窗。经调制晶片的所述工艺窗。经调制晶片的所述工艺窗。

【技术实现步骤摘要】
调谐经调制晶片的敏感度及确定用于经调制晶片的工艺窗的方法及装置
[0001]本申请是专利技术名称为“用于调谐经调制晶片的敏感度及确定用于经调制晶片的工艺窗的系统、方法及非暂时性计算机可读媒体”，申请号为201780068639.5，申请日为2017年11月20日的专利技术专利申请的分案申请。
[0002]相关申请案
[0003]本申请案主张2016年11月21日提出申请的美国临时专利申请案第62/425,029 号的权益，所述美国临时专利申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。


[0004]本专利技术涉及经调制晶片的检验，且更特定来说涉及经调制晶片的敏感度调谐及工艺窗表征。

技术介绍

[0005]当前，可通过将晶片上的目标裸片与晶片上的参考裸片进行比较而检测晶片中的缺陷。检验系统通过出于比较目的而拍摄目标及参考裸片的图像来实现此。特定来说，检测缺陷通常涉及执行两个单独比较来产生两个单独结果，一个比较是在目标裸片与参考裸片中的一者之间，且另一比较是在目标裸片与参考裸片中的另一者之间。两个单独比较结果之间的任何类似性通常用作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种存储计算机程序产品的非暂时性计算机可读媒体，所述计算机程序产品具有可由处理器执行以执行方法的代码，所述方法包括：从具有根据至少两个参数而以不同方式经调制的多个裸片的晶片识别以下各项中的每一者：第一裸片，其具有相对于所述多个裸片的调制的低调制，第二裸片，其具有相对于所述多个裸片的所述调制的中等调制，及第三裸片，其具有相对于所述多个裸片的所述调制的高调制；基于泰勒级数展开函数，从所述第一裸片估计一阶偏移且从所述第二裸片及所述第三裸片中的每一者估计单独二阶偏移；对所述晶片执行检验，针对经受所述检验的所述晶片的每一裸片：(a)使用从所述第一裸片估计的所述一阶偏移及从所述第二裸片估计的所述二阶偏移来动态地计算与所述裸片中的噪声水平对应的偏移，且(b)将所述动态计算的偏移作为敏感度来应用于所述裸片。2.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中使用每一裸片在所述多个裸片中的预定义排名而识别所述第一裸片、所述第二裸片及所述第三裸片，每一裸片的所述排名随所述裸片的所述调制而变。3.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述一阶偏移是非零的。4.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中利用以下函数来动态地计算与所述裸片对应的所述偏移：偏移＝(maximum(first order offset,second order offset_second die x Noise)，其中Noise为所述裸片中的所述噪声水平。5.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中对所述晶片的具有初级裸片类型的裸片执行所述检验。6.根据权利要求5所述的非暂时性计算机可读媒体，其进一步包括对所述晶片的具有次级裸片类型的裸片执行所述晶片的额外检验，其中针对经受所述额外检验的所述晶片的每一其它裸片，所述额外检验：(...

【专利技术属性】
技术研发人员：D，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：