一种TOPCon电池的制备方法及TOPCon电池技术

技术编号:40926793 阅读:23 留言:0更新日期:2024-04-18 14:49
本申请的实施例涉及太阳电池领域,并提供一种TOPCon电池的制备方法及TOPCon电池,所述制备方法包括:首先在硅片表面制绒,以增加入射光的利用率,然后在硅片的正面制备正面隧穿氧化层和掺硼非晶硅层,退火转化得到多晶硅后,对正面多晶硅层进行图形化处理,使得非金属区的多晶硅进行刻蚀,以减少光吸收,而金属区多晶硅保留下来用于后续与电极形成良好的接触。本申请通过在硅片正面制备图形化的接触钝化结构,可以达到金属区高掺杂的表面浓度和电极形成良好的接触,而非金属区无多晶硅的寄生吸收和低的表面掺杂,形成良好的正面钝化效果,解决正面金属区复合大的问题,提升正面钝化及电池转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池的领域,尤其是涉及一种topcon电池的制备方法及topcon电池。


技术介绍

1、随着太阳能电池技术的不断发展,载流子选择性钝化接触成为提高太阳能电池效率的重要途径之一,是topcon电池的核心工艺,采用隧穿氧化层和掺杂多晶硅的方式对电池进行良好的钝化。

2、相关技术中,由于掺杂多晶硅具有强烈的吸光效应,因此目前量产的topcon电池均为背面钝化接触电池。

3、然而,现有topcon电池只进行单面(背面)钝化接触,导致上表面金属电极与硅基底仍然会有直接接触,产生大量载流子复合,从而限制了topcon电池效率的进一步提升。


技术实现思路

1、本申请提供一种topcon电池的制备方法及topcon电池,以解决或者至少部分上缓解相关技术中的正面复合较大,导致电池效率降低的问题。

2、本申请的第一方面,提供一种topcon电池,采用如下的技术方案:

3、一种topcon电池,包括:

4、s1:在硅片表面制绒;

5、s2:在制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种TOPCon电池的制备方法,其特征在于:包括:

2.如权利要求1所述的一种TOPCon电池的制备方法,其特征在于:S4和S5之间还包括S41步骤:对S4后硅片正面的非金属区多晶硅进行清洗,并清洗硅片背面的氧化层,进行背面刻蚀。

3.如权利要求1所述的一种TOPCon电池的制备方法,其特征在于:在S5后还包括步骤:

4.如权利要求1所述的一种TOPCon电池的制备方法,其特征在于:所述正面隧穿氧化层的厚度为1-3nm,所述掺硼非晶硅层的厚度为30-300nm。

5.如权利要求1所述的一种TOPCon电池的制备方法,其特征在于:所述背面...

【技术特征摘要】

1.一种topcon电池的制备方法,其特征在于:包括:

2.如权利要求1所述的一种topcon电池的制备方法,其特征在于:s4和s5之间还包括s41步骤:对s4后硅片正面的非金属区多晶硅进行清洗,并清洗硅片背面的氧化层,进行背面刻蚀。

3.如权利要求1所述的一种topcon电池的制备方法,其特征在于:在s5后还包括步骤:

4.如权利要求1所述的一种topcon电池的制备方法,其特征在于:所述正面隧穿氧化层的厚度为1-3nm,所述掺硼非晶硅层的厚度为30-300nm。

5.如权利要求1所述的一种topcon电池的制备方法,其特征在于:所述背面隧穿氧化层的厚度为1-3nm,所述掺磷非晶硅层的厚度为30-200nm。

6.如权利要求3所述的一种topcon电池的制备方法,其特征在于:所述正面钝化...

【专利技术属性】
技术研发人员:柯益萍胡俊华陈鹏辉杜东方石辰龙苏旭
申请(专利权)人:东方日升安徽新能源有限公司
类型:发明
国别省市:

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