光伏电池及其生产方法技术

本申请的实施例涉及电池领域，并提供一种光伏电池及其生产方法

【技术实现步骤摘要】
光伏电池及其生产方法、碱抛清洗工艺及系统、光伏组件


[0001]本申请涉及光伏电池领域，尤其是涉及一种光伏电池及其生产方法
、
碱抛清洗工艺及系统
、
光伏组件
。

技术介绍

[0002]目前，太阳能电池成为当下最受关注的新能源之一
。
太阳能电池在制造过程中会产生一些表面缺陷，例如晶内缺陷
、
氧化物残留等，这些缺陷会影响电子转移和电荷传输，进而影响太阳能电池的效率和稳定性
。
碱抛清洗是太阳能电池制造工艺中不可缺少的部分，其主要目的就是通过化学反应去除硅片表面的氧化层
、
杂质等缺陷，改善硅片表面的粗糙度和反射特性等，使得硅片表面更加平整
、
光滑，减少电子和电荷的损失，从而提高太阳能电池的转换效率和稳定性
。
[0003]碱抛工序一般是将硅片放入强碱性溶液中，使其表面与溶液充分接触，在一定的温度和时间下进行反应，并经过若干道清洗工序，如槽清洗硅片表面的碱残留，利用双氧水去除硅片有机物等，并通过烘干槽对硅片进行烘干，最终达到抛光的效果
。
但是，碱抛下料的电池片，受清洗槽中双氧水
、
烘干槽及空气中的氧气等影响，会产生很不均匀的氧化层，主要表现在氧化层厚度难以控制，而后通过隧穿工艺沉积隧穿层时，得到的隧穿层也不均匀，由此使得后续的多晶硅层激活后不能均匀的实现电子跃迁，从而影响电池片的转换效率
。
[0004]相关技术中，主要是通过严格控制碱抛工艺的各个工序中所用溶液的浓度
、
清洗时间等参数，尽可能地将氧化层的厚度控制在一定范围内，或者在隧穿工艺过程中寻求解决办法
。
然而，专利技术人认识到，上述方式在操作上比较困难，且效果甚微，所得电池片的效率及良率差异仍较大
。

技术实现思路

[0005]本申请的第一方面，提供一种光伏电池碱抛清洗工艺，采用如下的技术方案：
[0006]一种光伏电池碱抛清洗工艺，包括：在酸洗和慢提拉之间增加机能液清洗，所述酸洗用于去除硅片表面的氧化层，得到表面无氧化层的硅片，所述机能液清洗用于在所述表面无氧化层的硅片上重新生长氧化层，得到表面重新生长氧化层的硅片，所述慢提拉用于对所述表面重新生长氧化层的硅片进行预脱水，所述机能液为机能水和氧气的混合液
。
[0007]在其中一个实施例中，所述酸洗使用的酸液为
HCL
与
HF
按
12:2.5
‑4的体积比配置而成
。
[0008]在其中一个实施例中，所述双氧水清洗使用的溶液为
H2O2与
NaOH
按照
16:3
的体积比配置而成
。
[0009]在其中一个实施例中，所述碱抛液为
HDI、NaOH、ADD
按
465:20:2.8
的体积比配置而成
。
[0010]在其中一个实施例中，在对所述硅片进行碱抛液处理之前，还包括：对所述硅片进
行前清洗，所述前清洗使用的溶液为
HDI、NaOH、H2O2按
470:3.5:10
的体积比配置而成
。
[0011]本申请的第二方面，提供一种光伏电池碱抛清洗系统，采用如下的技术方案：
[0012]一种光伏电池碱抛清洗系统，用于实现如上所述的光伏电池碱抛清洗工艺，包括酸槽
、
机能液槽及慢提拉槽，所述酸槽用于去除硅片表面的氧化层，得到表面无氧化层的硅片，所述机能液槽用于在所述表面无氧化层的硅片上重新生长氧化层，得到表面重新生长氧化层的硅片，所述慢提拉槽用于对所述表面重新生长氧化层的硅片进行预脱水，其中，所述机能液为机能水与氧气的混合液
。
[0013]在其中一些实施例中，所述机能液槽包括槽体和氧气管道，所述槽体用于盛装所述机能水，所述氧气管道用于向所述槽体中通入氧气
。
[0014]本申请的第三方面，提供一种光伏电池的生产方法，包括如上所述的光伏电池碱抛清洗工艺
。
[0015]本申请的第四方面，提供一种光伏电池，采用如上所述的光伏电池的生产方法制得
。
[0016]本申请的第五方面，提供一种光伏组件，包括如上所述的光伏电池
。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例的附图做简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本申请的一些实施例，而非对本申请的限制
。
[0018]图1为相关技术中光伏电池碱抛清洗工艺的流程图
。
[0019]图2为根据本申请一些实施方式的光伏电池碱抛清洗工艺的流程图
。
[0020]图3为根据本申请一些实施方式的碱抛清洗系统的结构框图
。
[0021]图4为根据本申请一些实施方式制备的电池进行良率测试时呈现的
EL
不良类型之卡点印
。
[0022]图5为根据本申请一些实施方式制备的电池进行良率测试时呈现的
EL
不良类型之脏污
。
[0023]图6为根据本申请一些实施方式制备的电池进行良率测试时呈现的
EL
不良类型之断栅
。
[0024]图7为根据本申请一些实施方式制备的电池进行良率测试的效率档位分布图
。
具体实施方式
[0025]为使本申请的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合显示出根据本申请的多个实施方式的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，应当可以理解的是，所描述的实施方式仅是本申请的一部分实施方式，而不是全部的实施方式
。
基于本申请中记载的实施方式，本领域普通技术人员在不用花费创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施方式，都将属于本申请保护的范围
。
[0026]目前对于
topcon
路线，隧穿氧化层的厚度难以管控，这主要是由于碱抛下料氧化层的厚度和均匀性不可管控，导致下道工序的隧穿层不均匀，厚度难以控制，而且不能指定
sop(
标准作业程序
)
去测试监管，因此产品上一直有明暗不均匀的暗片
(
降级
、
不降级两类
)
拖尾效率的档位分布，而目前的椭偏仪也只能监控相对值来管控
。
因此，有必要对碱抛下料
的硅片上的氧化层进行控制，以匹配隧穿层工艺
。
[0027]图1为相关技术中光伏电池碱抛清洗工艺的流程图；图2为根据本申请一些实施方式的光伏电池碱抛清洗工艺的流程图
。
[0028]本申请的一个或者多个实施例公开了一种光伏电池碱抛清洗工艺
。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光伏电池碱抛清洗工艺，其特征在于：包括在酸洗和慢提拉之间增加机能液清洗，所述酸洗用于去除硅片表面的氧化层，得到表面无氧化层的硅片，所述机能液清洗用于在所述表面无氧化层的硅片上重新生长氧化层，得到表面重新生长氧化层的硅片，所述慢提拉用于对所述表面重新生长氧化层的硅片进行预脱水，所述机能液为机能水和氧气的混合液
。2.
如权利要求1所述的光伏电池碱抛清洗工艺，其特征在于：所述酸洗使用的酸液为
HCL
与
HF
按
12:2.5
‑4的体积比配置而成
。3.
如权利要求1所述的光伏电池碱抛清洗工艺，其特征在于：所述双氧水清洗使用的溶液为
H2O2与
NaOH
按照
16:3
的体积比配置而成
。4.
如权利要求1所述的光伏电池碱抛清洗工艺，其特征在于：所述碱抛液为
HDI、NaOH、ADD
按
465:20:2.8
的体积比配置而成
。5.
如权利要求1所述的光伏电池碱抛清洗工艺，其特征在于：在对所述硅片进行碱抛液处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：石辰龙，
申请(专利权)人：东方日升安徽新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：