光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法技术

本申请的实施例涉及电池技术领域，并提供一种光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法，所述钝化膜的制备方法包括：当载板到达反应腔内指定位置时，将H<subgt;2</subgt;O和TMA交替通入反应腔内，且只有当载板上的所有目标硅片的表面均吸附H<subgt;2</subgt;O后才通入TMA，只有当载板上的所有目标硅片上吸附的H<subgt;2</subgt;O均与TMA反应后才再次通入H<subgt;2</subgt;O；设定依次通入一次H<subgt;2</subgt;O和TMA为一个反应周期，待经过了预设数量的反应周期后，同时通入H<subgt;2</subgt;O和TMA，直至反应结束，得到表面沉积有钝化膜的目标硅片。本申请既能够避免硅片上原子排列断层，获得均匀性较好的沉积膜，又能够保证一定的生产效率，具有同时兼顾钝化膜的质量及产能的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光伏电池领域，尤其是涉及一种光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法。

技术介绍

1、目前，光伏电池是当下最热的能源之一，如何提高光伏电池的效率是人们面临的主要问题，晶体硅表面钝化是提高电池光电转换效率的有效方法，尤其是采用ald(原子层沉积)方法生长的al2o3薄膜，由于是逐层生长，因此薄膜的均匀性较好，且可以精确控制薄膜厚度，因此应用更为广泛。

2、相关技术中，原子层沉积主要是将两种反应前驱物交替通入反应腔，被基底表面吸附并反应形成薄膜。这种方式一次仅通入一种前驱物，待前驱物在基底表面吸附饱和，将剩余的前驱物用载气带出反应腔，再通入第二前驱物，并与化学吸附在基底表面的第一前驱物反应，直至第二前驱物铺满表面，再将多余的第二前驱物通过载气带出反应腔，整个过程为一个反应周期。通过控制反应周期的多少可以控制薄膜的厚度。但是，这种方式沉积薄膜的生长速度较慢，因为每个循环所需的时间包括了两种前驱物的注入时间以及两次抽气带出多余前驱物的时间，由此导致生产效率较低。为了提高原子层沉积速度，人们提出了一种空间分离ald法，所用设备为板式ald本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，基于板式ALD设备，所述板式ALD设备包括反应腔，所述反应腔内设置有载板(1)，所述载板(1)用于放置目标硅片(2)，且所述载板(1)用于在所述反应腔内往复运动；

2.如权利要求1所述的光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，所述水蒸气的通气流量为1700-2700sccm/min，通气温度为210-310℃。

3.如权利要求1所述的光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，所述三甲基铝的通气流量为1700-2700sccm/min，通气温度为210-310℃。

4.如权利要求1所述的光伏电池钝化膜的制备方法，其...

【技术特征摘要】

1.一种光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，基于板式ald设备，所述板式ald设备包括反应腔，所述反应腔内设置有载板(1)，所述载板(1)用于放置目标硅片(2)，且所述载板(1)用于在所述反应腔内往复运动；

2.如权利要求1所述的光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，所述水蒸气的通气流量为1700-2700sccm/min，通气温度为210-310℃。

3.如权利要求1所述的光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，所述三甲基铝的通气流量为1700-2700sccm/min，通气温度为210-310℃。

4.如权利要求1所述的光伏电池钝化膜的制备方法，其特征在于，在所述载板(1)上的所有所述目标硅片(2)的表面均吸附所述水蒸气后，还包括：获取所述载板(1)运行的第一循环数，将所述第一循环数向上取整，得到第一预设循环数，当所述载板(1)运行了所述第一预设循环数时，向所述反应腔内通入所述三甲基铝...

【专利技术属性】
技术研发人员：周观，胡俊华，杜东方，石辰龙，
申请(专利权)人：东方日升安徽新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：