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本申请的实施例涉及电池技术领域，并提供一种光伏电池钝化膜的制备方法、光伏电池及其制备方法，所述钝化膜的制备方法包括：当载板到达反应腔内指定位置时，将H<subgt;2</subgt;O和TMA交替通入反应腔内，且只有当载板上的所...
该专利属于东方日升（安徽）新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方日升（安徽）新能源有限公司授权不得商用。

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