下载一种硅片生产加工用视觉检测器的技术资料

文档序号:32770902

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本实用新型公开了一种硅片生产加工用视觉检测器,包括防尘仓,所述防尘仓内底面固定设置有两个支座,两个所述支座之间固定设置有放置盘,所述放置盘上设置有反馈基板,所述放置盘外的两相对侧均设置有滚动带,两个所述滚动带之间固定设置有可对反馈基板的上表...
该专利属于东方日升(安徽)新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东方日升(安徽)新能源有限公司授权不得商用。

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