一种晶圆清洗用便捷取放机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆清洗设备的技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗用便捷取放机构，其能够使晶圆清洗取放更加的便捷，有效提高工作效率，降低使用局限性；包括超声波清洗机、左电机、右电机、左轴、右轴、清洗槽和晶圆滤槽，左电机和右电机对称的固定安装在超声波清洗机的前端，左轴和右轴分别通过与左电机和右电机输出端的连接转动安装在超声波清洗机上，四组滑槽上均滑动设置有连接轴，两组左连接板和两组右连接板上均设置有套孔，四组连接轴通过与套孔的配合分别与两组左连接板和两组右连接板转动连接，清洗槽的底端设置有滤网，晶圆滤槽上设置有边沿框，晶圆滤槽通过边沿框可拆卸的安装在清洗槽上。安装在清洗槽上。安装在清洗槽上。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗用便捷取放机构


[0001]本技术涉及晶圆清洗设备的
，特别是涉及一种晶圆清洗用便捷取放机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，所以称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，晶圆的原始材料是硅，它是由硅晶棒经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光等一系列的工艺手段加工而成。
[0003]晶圆加工后表面附着有一层油性保护膜，在制作前必须进行表面的刻蚀和清洗，目前的晶圆清洗过程通常是在超声波清洗机中完成的，利用超声波清洗机能够很快的去除晶圆表面的油膜和杂质，但是超声波清洗机在清洗时，需要人为的先将晶圆放入清洗滤槽内，再将清洗滤槽放入超声波清洗机中，这样使得晶圆清洗取放不方便，影响工作效率，导致使用局限性较高。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种能够使晶圆清洗取放更加的便捷，有效提高工作效率，降低使用局限性的晶圆清洗用便捷取放机构。
[0005]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，包括超声波清洗机、左电机、右电机、左轴、右轴、清洗槽和晶圆滤槽，左电机和右电机对称的固定安装在超声波清洗机的前端，左轴和右轴分别通过与左电机和右电机输出端的连接转动安装在超声波清洗机上，左轴和右轴上分别对称的固定套装有两组左连接板和右连接板，清洗槽的前后两端均设置有两组滑槽，四组滑槽上均滑动设置有连接轴，两组左连接板和两组右连接板上均设置有套孔，四组连接轴通过与套孔的配合分别与两组左连接板和两组右连接板转动连接，清洗槽的底端设置有滤网，晶圆滤槽上设置有边沿框，晶圆滤槽通过边沿框可拆卸的安装在清洗槽上。
[0006]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，还包括两组握把上均设置有两组把座，两组握把通过把座对称的固定安装在边沿框上。
[0007]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，还包括两组防滑把套，两组防滑把套分别固定套装在两组握把上。
[0008]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述清洗槽的顶端设置有缓冲垫。
[0009]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述四组滑槽的内壁上均设置有耐磨垫。
[0010]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述两组左连接板和两组右连接板的套孔内均设置有滑套。
[0011]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述左轴和右轴上均设置有两组加强板，并且左轴上的两组加强板分别与两组左连接板连接，右轴上的两组加强板分别与两
组右连接板连接。
[0012]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述清洗槽和晶圆滤槽均采用不锈钢材质制作。
[0013]与现有技术相比本技术的有益效果为：首先在对晶圆进行清洗时，工作人员可以先将晶圆放置在晶圆滤槽内，然后将晶圆滤槽放置到清洗槽中，通过启动左电机和右电机，使左电机带动左轴向右转动，右电机带动右轴向左转动，从而使清洗槽下降到超声波清洗机内，并浸泡在清洗液中，然后通过启动超声波清洗机开始清洗，清洗完后，再通过启动左电机和右电机，使左电机带动左轴向左转动，右电机带动右轴向右转动，从而使清洗槽抬起，工作人员即可将晶圆滤槽取出并倒出清洗后的晶圆，从而能够使晶圆清洗取放更加的便捷，有效提高工作效率，降低使用局限性。
附图说明
[0014]图1是本技术的前侧结构示意图；
[0015]图2是本技术中清洗槽位于内部时的前侧剖面结构示意图；
[0016]图3是本技术中清洗槽的剖面结构示意图；
[0017]图4是本技术中清洗槽安装的上侧结构示意图；
[0018]图5是本技术中A处的局部放大结构示意图；
[0019]附图中标记：1、超声波清洗机；2、左电机；3、右电机；4、左轴；5、右轴；6、左连接板；7、右连接板；8、清洗槽；9、滑槽；10、连接轴；11、滤网；12、晶圆滤槽；13、边沿框；14、握把；15、把座；16、防滑把套；17、缓冲垫；18、耐磨垫；19、滑套；20、加强板。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0021]如图1至图5所示，本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，包括超声波清洗机1、左电机2、右电机3、左轴4、右轴5、清洗槽8和晶圆滤槽12，左电机2和右电机3对称的固定安装在超声波清洗机1的前端，左轴4和右轴5分别通过与左电机2和右电机3输出端的连接转动安装在超声波清洗机1上，左轴4和右轴5上分别对称的固定套装有两组左连接板6和右连接板7，清洗槽8的前后两端均设置有两组滑槽9，四组滑槽9上均滑动设置有连接轴10，两组左连接板6和两组右连接板7上均设置有套孔，四组连接轴10通过与套孔的配合分别与两组左连接板6和两组右连接板7转动连接，清洗槽8的底端设置有滤网11，晶圆滤槽12上设置有边沿框13，晶圆滤槽12通过边沿框13可拆卸的安装在清洗槽8上；首先在对晶圆进行清洗时，工作人员可以先将晶圆放置在晶圆滤槽12内，然后将晶圆滤槽12放置到清洗槽8中，通过启动左电机2和右电机3，使左电机2带动左轴4向右转动，右电机3带动右轴5向左转动，从而使清洗槽8下降到超声波清洗机1内，并浸泡在清洗液中，然后通过启动超声波清洗机1开始清洗，清洗完后，再通过启动左电机2和右电机3，使左电机2带动左轴4向左转动，右电机3带动右轴5向右转动，从而使清洗槽8抬起，工作人员即可将晶圆滤槽12取出并倒出清洗后的晶圆，从而能够使晶圆清洗取放更加的便捷，有效提高工作效率，降低使用局限性。
[0022]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，还包括两组握把14上均设置有两组
把座15，两组握把14通过把座15对称的固定安装在边沿框13上；通过设置握把14，能够使晶圆滤槽12的取放更加省力便捷，降低使用局限性。
[0023]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，还包括两组防滑把套16，两组防滑把套16分别固定套装在两组握把14上；通过设置防滑把套16，能够有效防止在取放晶圆滤槽12时出现打滑脱手的情况，提高使用可靠性。
[0024]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述清洗槽8的顶端设置有缓冲垫17；通过设置缓冲垫17，能够使晶圆滤槽12放置在清洗槽8内时更加的平稳，提高使用可靠性。
[0025]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述四组滑槽9的内壁上均设置有耐磨垫18；通过设置耐磨垫18，能够有效减轻连接轴10滑动时产生的磨损，提高使用可靠性。
[0026]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述两组左连接板6和两组右连接板7的套孔内均设置有滑套19；通过设置滑套19，能够使左连接板6和右连接板7的转动更加的顺畅，提高使用可靠性。
[0027]本技术的一种晶圆清洗用便捷取放机构，所述左轴4和右轴5上均设置有两组加强板20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗用便捷取放机构，其特征在于，包括超声波清洗机(1)、左电机(2)、右电机(3)、左轴(4)、右轴(5)、清洗槽(8)和晶圆滤槽(12)，左电机(2)和右电机(3)对称的固定安装在超声波清洗机(1)的前端，左轴(4)和右轴(5)分别通过与左电机(2)和右电机(3)输出端的连接转动安装在超声波清洗机(1)上，左轴(4)和右轴(5)上分别对称的固定套装有两组左连接板(6)和右连接板(7)，清洗槽(8)的前后两端均设置有两组滑槽(9)，四组滑槽(9)上均滑动设置有连接轴(10)，两组左连接板(6)和两组右连接板(7)上均设置有套孔，四组连接轴(10)通过与套孔的配合分别与两组左连接板(6)和两组右连接板(7)转动连接，清洗槽(8)的底端设置有滤网(11)，晶圆滤槽(12)上设置有边沿框(13)，晶圆滤槽(12)通过边沿框(13)可拆卸的安装在清洗槽(8)上。2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗用便捷取放机构，其特征在于，还包括两组握把(14)上均设置有两组把座(15)，两组握把(14)通过把座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：文卫成，李兴，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：