一种新型的晶圆剥膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种新型的晶圆剥膜机，其经过热烘与真空吸的方式，完成批量剥膜，提高工作效率和效果，提高可靠性；包括底座、轮驱、轮轴、轮辊、传送带、热烘支架、热烘箱、风扇电机、电热管、真空吸架、升降油缸、油缸杆、真空吸模、油箱、油泵、控制器架和控制器，底座顶端四个角侧分别与一组轴架底端相连接，右后侧轴架的外端上部与轮驱内端相连接，轮驱输出端与轮轴右端相连接，油缸杆底端与真空吸模顶端中部相连接，真空吸架左侧下端与油箱右端相连接，油箱输出端连接有油泵，油泵输出端与升降油缸输入端相连接，底座右前侧与控制器架左端下部相连接，控制器架顶端与控制器底端中部相连接。架顶端与控制器底端中部相连接。架顶端与控制器底端中部相连接。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的晶圆剥膜机


[0001]本技术涉及晶圆加工的
，特别是涉及一种新型的晶圆剥膜机。

技术介绍

[0002]众所周知，一种新型的晶圆剥膜机是一种用于晶圆使用的快速剥膜的辅助装置，其在晶圆加工的领域中得到了广泛的使用；晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和油缸杆(12)英寸为主。其中化学气相沉积是在制造微电子器件时被用来沉积出某种薄膜的技术，这种薄膜可能是介电材料或者半导体。物理气相沉积技术则是使用惰性气体，撞击溅镀靶材，在晶圆表面沉积出所需的材质。晶圆成品一般需要将此层薄膜去除，现阶段一般由人工使用辅助装置，低效，剥膜质量差。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种经过热烘与真空吸的方式，完成批量剥膜，提高工作效率和效果，提高可靠性的一种新型的晶圆剥膜机。
[0004]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，包括底座、轮驱、轮轴、轮辊、传送带、热烘支架、热烘箱、风扇电机、电热管、真空吸架、升降油缸、油缸杆、真空吸模、油箱、油泵、控制器架和控制器，底座顶端四个角侧分别与一组轴架底端相连接，右后侧轴架的外端上部与轮驱内端相连接，轮驱输出端与轮轴右端相连接，两组轮轴左端分别可转动连接在横对应侧的轴架内，轮轴外壁与轮辊内壁相连接，传送带张紧套接在两组轮辊上，底座顶端中部左前侧与热烘支架底端相连接，热烘支架右端上部与热烘箱左端相连接，热烘箱上端连接有风扇电机，热烘箱内部连接有电热管，底座顶端中部左后侧与真空吸架底端相连接，真空吸架内部顶端与升降油缸顶端相连接，升降油缸底端与油缸杆顶端滑动连接，油缸杆底端与真空吸模顶端中部相连接，真空吸架左侧下端与油箱右端相连接，油箱输出端连接有油泵，油泵输出端与升降油缸输入端相连接，底座右前侧与控制器架左端下部相连接，控制器架顶端与控制器底端中部相连接。
[0005]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括放置模，传送带外侧连接有肉若干组放置模。
[0006]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括支板，热烘支架和真空吸架的右侧中部分别与支板的左侧前后部相连接，且支板置于传送带内部。
[0007]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括报警灯，控制器前端中部与报警灯内端相连接。
[0008]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括急停按钮，控制器外端后侧中部与急停按钮内端相连接。
[0009]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括液位窗，油箱左端中部与液位窗内
端相连接。
[0010]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括油箱帽，油箱顶端注口可拆卸安装有油箱帽。
[0011]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，所述底座底端与地面相连接固定。
[0012]与现有技术相比本技术的有益效果为：将晶圆置于传送带上，然后操作控制器使轮驱启动，经轮轴带动轮辊转动，使两组轮辊共同带动传送带转动，将晶圆由前向后运输，在经过热烘箱时，风扇电机启动，向热烘箱内部下侧吹风，并由电热管导成热风，完成对晶圆表面的热烘，使薄膜与晶圆经加热产生相对形变，从而发生部分分离，之后在跟随传送带进入到真空吸架内部，油泵运行作用于油箱与升降油缸，将油缸杆在升降油缸内下推，使真空吸模接触到薄膜，并进行真空吸取，而吸力又无法支撑晶圆重量，从而使晶圆稳定在传送带上，薄膜与传送带脱离，经过热烘与真空吸的方式，完成批量剥膜，提高工作效率和效果，提高可靠性。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图轴视图；
[0014]图2是本技术的结构示意图左视图；
[0015]图3是本技术的结构示意图前视图；
[0016]附图中标记：1、底座；2、轮驱；3、轮轴；4、轮辊；5、传送带；6、热烘支架；7、热烘箱；8、风扇电机；9、电热管；10、真空吸架；11、升降油缸；12、油缸杆；13、真空吸模；14、油箱；15、油泵；16、控制器架；17、控制器；18、放置模；19、支板；20、报警灯；21、急停按钮；22、液位窗；23、油箱帽；24、轴架。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0018]如图1至图3所示，本技术的一种新型的晶圆剥膜机，包括底座1、轮驱2、轮轴3、轮辊4、传送带5、热烘支架6、热烘箱7、风扇电机8、电热管9、真空吸架10、升降油缸11、油缸杆12、真空吸模13、油箱14、油泵15、控制器架16和控制器17，底座1顶端四个角侧分别与一组轴架24底端相连接，右后侧轴架24的外端上部与轮驱2内端相连接，轮驱2输出端与轮轴3右端相连接，两组轮轴3左端分别可转动连接在横对应侧的轴架24内，轮轴3外壁与轮辊4内壁相连接，传送带5张紧套接在两组轮辊4上，底座1顶端中部左前侧与热烘支架6底端相连接，热烘支架6右端上部与热烘箱7左端相连接，热烘箱7上端连接有风扇电机8，热烘箱7内部连接有电热管9，底座1顶端中部左后侧与真空吸架10底端相连接，真空吸架10内部顶端与升降油缸11顶端相连接，升降油缸11底端与油缸杆12顶端滑动连接，油缸杆12底端与真空吸模13顶端中部相连接，真空吸架10左侧下端与油箱14右端相连接，油箱14输出端连接有油泵15，油泵15输出端与升降油缸11输入端相连接，底座1右前侧与控制器架16左端下部相连接，控制器架16顶端与控制器17底端中部相连接；将晶圆置于传送带5上，然后操作控制器 17使轮驱2启动，经轮轴3带动轮辊4转动，使两组轮辊4共同带动传送带5转动，将晶圆由前向后运输，在经过热烘箱7时，风扇电机8启动，向热烘箱7内部下侧吹风，并由电热管
9导成热风，完成对晶圆表面的热烘，使薄膜与晶圆经加热产生相对形变，从而发生部分分离，之后在跟随传送带5进入到真空吸架10内部，油泵15运行作用于油箱14与升降油缸11，将油缸杆12在升降油缸11内下推，使真空吸模13接触到薄膜，并进行真空吸取，而吸力又无法支撑晶圆重量，从而使晶圆稳定在传送带5上，薄膜与传送带5脱离，经过热烘与真空吸的方式，完成批量剥膜，提高工作效率和效果，提高可靠性。
[0019]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括放置模18，传送带 5外侧连接有肉若干组放置模18；由放置模18可对晶圆进行卡紧，避免在真空吸模13内将晶圆一同吸起，提高可靠性。
[0020]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括支板19，热烘支架 6和真空吸架10的右侧中部分别与支板19的左侧前后部相连接，且支板19置于传送带5内部；经支板19可对传送带5进行支撑，便于支撑传送带5的外侧受力，提高稳定性。
[0021]本技术的一种新型的晶圆剥膜机，还包括报警灯20，控制器 17前端中部与报警灯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的晶圆剥膜机，其特征在于，包括底座(1)、轮驱(2)、轮轴(3)、轮辊(4)、传送带(5)、热烘支架(6)、热烘箱(7)、风扇电机(8)、电热管(9)、真空吸架(10)、升降油缸(11)、油缸杆(12)、真空吸模(13)、油箱(14)、油泵(15)、控制器架(16)和控制器(17)，底座(1)顶端四个角侧分别与一组轴架(24)底端相连接，右后侧轴架(24)的外端上部与轮驱(2)内端相连接，轮驱(2)输出端与轮轴(3)右端相连接，两组轮轴(3)左端分别可转动连接在横对应侧的轴架(24)内，轮轴(3)外壁与轮辊(4)内壁相连接，传送带(5)张紧套接在两组轮辊(4)上，底座(1)顶端中部左前侧与热烘支架(6)底端相连接，热烘支架(6)右端上部与热烘箱(7)左端相连接，热烘箱(7)上端连接有风扇电机(8)，热烘箱(7)内部连接有电热管(9)，底座(1)顶端中部左后侧与真空吸架(10)底端相连接，真空吸架(10)内部顶端与升降油缸(11)顶端相连接，升降油缸(11)底端与油缸杆(12)顶端滑动连接，油缸杆(12)底端与真空吸模(13)顶端中部相连接，真空吸架(10)左侧下端与油箱(14)右端相连接，油箱(14)输出端连接有油泵(15)，油泵(15)输出端...

【专利技术属性】
技术研发人员：文卫成，李兴，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：