一种用于晶圆切割的定位工装制造技术

本实用新型专利技术涉及定位工装的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆切割的定位工装，可以适用于不同个尺寸的晶圆，降低了现有的晶圆切割定位工作在使用时，容易出现由于定位工装的尺寸固定导致不能适用于其它型号的晶圆的概率，包括工作台、四组支撑腿和定位工装，四组支撑腿均安装在工作台的底端，定位工装安装在工作台顶端，工作台顶端左侧设置有切割装置；定位工装包括两组放置板、正反牙丝杠、支撑板、手轮、四组安装板、四组螺纹杆和四组压板，支撑板安装在工作台顶端右侧，支撑板右端贯穿设置有转动孔，两组放置板右端下侧均贯穿设置有转动孔，正反牙丝杠转动贯穿三组转动孔并与切割装置右端下侧转动连接。置右端下侧转动连接。置右端下侧转动连接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆切割的定位工装


[0001]本技术涉及定位工装的
，特别是涉及一种用于晶圆切割的定位工装。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆在加工过程中，需要通过切割装置对其进行切割,为了使晶圆在切割时更稳固，需要用到定位工装将其固定。
[0003]现有的晶圆切割定位工作在使用时，容易出现由于定位工装的尺寸固定导致不能适用于其它型号的晶圆的现象，从而导致一种用于晶圆切割的定位工装的实用性较差。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种可以适用于不同个尺寸的晶圆，降低了现有的晶圆切割定位工作在使用时，容易出现由于定位工装的尺寸固定导致不能适用于其它型号的晶圆的概率，从而增强实用性的一种用于晶圆切割的定位工装。
[0005]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，包括工作台、四组支撑腿和定位工装，四组支撑腿均安装在工作台的底端，定位工装安装在工作台顶端，工作台顶端左侧设置有切割装置；
[0006]定位工装包括两组放置板、正反牙丝杠、支撑板、手轮、四组安装板、四组螺纹杆和四组压板，支撑板安装在工作台顶端右侧，支撑板右端贯穿设置有转动孔，两组放置板右端下侧均贯穿设置有转动孔，正反牙丝杠转动贯穿三组转动孔并与切割装置右端下侧转动连接，每组放置板底端前后两侧均设置有滑块，工作台顶端前后两侧均设置有滑槽，两组放置板均与工作台滑动连接，四组安装板分别安装在两组支撑板内端上侧，四组安装板顶端均贯穿设置有螺纹孔，四组螺纹杆分别转动穿过四组螺纹孔，四组压板分别转动安装在四组螺纹杆底端。
[0007]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装,每组支撑腿的底端均设置有防滑垫。
[0008]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，每组螺纹杆的顶端均设置有转动头。
[0009]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，还包括转动把手，转动把手安装在手轮右端上侧。
[0010]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，还包括橡胶圈，橡胶圈与转动把手套装。
[0011]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，每组压板底端均设置有橡胶垫。
[0012]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，每组橡胶垫的底端均设置有摩擦
纹。
[0013]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，还包括照明灯，照明灯安装在切割装置底端中部。
[0014]与现有技术相比本技术的有益效果为：工作台顶端设置有与其转动连接的两组放置板，工作台顶端右侧设置有支撑板，正反牙丝杠穿过支撑板和两组放置板，两组支撑板内端均设置有两组安装板，每组螺纹杆分别转动穿过每组安装板，每组螺纹杆底端均转动设置有压板，通过转动正反牙丝杠，两组与正反牙丝杠螺纹连接的放置板就会相互接近，通过转动每组安装板上的螺纹杆，能使螺纹杆底端的压板夹紧晶圆，降低了现有的晶圆切割定位工作在使用时，容易出现由于定位工装的尺寸固定导致不能适用于其它型号的晶圆的概率，从而增强实用性。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是本技术的A的局部放大结构示意图；
[0017]图3是本技术的安装板与放置板的连接结构示意图；
[0018]图4是本技术的放置板与工作台的连接结构示意图；
[0019]附图中标记：1、工作台；2、支撑腿；3、切割装置；4、放置板；5、正反牙丝杠；6、支撑板；7、手轮；8、安装板；9、螺纹杆；10、压板；11、滑块；12、滑槽；13、防滑垫；14、转动头；15、转动把手；16、橡胶圈；17、橡胶垫；18、照明灯。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0021]如图1至图4所示，本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，包括工作台1、四组支撑腿2和定位工装，四组支撑腿2均安装在工作台1的底端，定位工装安装在工作台1顶端，工作台1顶端左侧设置有切割装置3；
[0022]定位工装包括两组放置板4、正反牙丝杠5、支撑板6、手轮7、四组安装板8、四组螺纹杆9和四组压板10，支撑板6安装在工作台1顶端右侧，支撑板6右端贯穿设置有转动孔，两组放置板4右端下侧均贯穿设置有转动孔，正反牙丝杠5转动贯穿三组转动孔并与切割装置3右端下侧转动连接，每组放置板4底端前后两侧均设置有滑块11，工作台1顶端前后两侧均设置有滑槽12，两组放置板4均与工作台1滑动连接，四组安装板8分别安装在两组支撑板6内端上侧，四组安装板8顶端均贯穿设置有螺纹孔，四组螺纹杆9分别转动穿过四组螺纹孔，四组压板10分别转动安装在四组螺纹杆9底端；工作台顶端设置有与其转动连接的两组放置板，工作台顶端右侧设置有支撑板，正反牙丝杠穿过支撑板和两组放置板，两组支撑板内端均设置有两组安装板，每组螺纹杆分别转动穿过每组安装板，每组螺纹杆底端均转动设置有压板，通过转动正反牙丝杠，两组与正反牙丝杠螺纹连接的放置板就会相互接近，通过转动每组安装板上的螺纹杆，能使螺纹杆底端的压板夹紧晶圆，降低了现有的晶圆切割定位工作在使用时，容易出现由于定位工装的尺寸固定导致不能适用于其它型号的晶圆的概率，从而增强实用性。
[0023]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，每组支撑腿2的底端均设置有防滑垫13；通过支撑腿底端的四组防滑垫，能够降低工作台被外力撞击以及加工过程中产生的震动，从而增强了实用性。
[0024]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，每组螺纹杆9的顶端均设置有转动头14；通过螺纹杆顶端的转动头，能够便于操作人员转动螺纹杆，从而增强了实用性。
[0025]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，还包括转动把手15，转动把手15安装在手轮7右端上侧；通过转动把手，能够方便操作人员转动手轮，从而增强了实用性。
[0026]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，还包括橡胶圈16，橡胶圈16与转动把手15套装；通过转动把手上的橡胶圈，能够降低操作人员握住转动把手进行转动的时候出现手滑的概率，从而增强了实用性。
[0027]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，每组压板10底端均设置有橡胶垫17；通过压板底端的橡胶垫，能够使压板将晶圆压得更紧实，降低了晶圆在切割时发生晃动的概率，从而增强了实用性。
[0028]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，每组橡胶垫17的底端均设置有摩擦纹；通过橡胶垫底端的摩擦纹，能够增强橡胶垫与晶圆的摩擦力，从而增强了实用性。
[0029]本技术的一种用于晶圆切割的定位工装，还包括照明灯18，照明灯18安装在切割装置3底端中部；通过切割装置上的照明灯，能够降低操作人员在夜间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆切割的定位工装，包括工作台(1)、四组支撑腿(2)和定位工装，四组支撑腿(2)均安装在工作台(1)的底端，定位工装安装在工作台(1)顶端，工作台(1)顶端左侧设置有切割装置(3)；其特征在于，定位工装包括两组放置板(4)、正反牙丝杠(5)、支撑板(6)、手轮(7)、四组安装板(8)、四组螺纹杆(9)和四组压板(10)，支撑板(6)安装在工作台(1)顶端右侧，支撑板(6)右端贯穿设置有转动孔，两组放置板(4)右端下侧均贯穿设置有转动孔，正反牙丝杠(5)转动贯穿三组转动孔并与切割装置(3)右端下侧转动连接，每组放置板(4)底端前后两侧均设置有滑块(11)，工作台(1)顶端前后两侧均设置有滑槽(12)，两组放置板(4)均与工作台(1)滑动连接，四组安装板(8)分别安装在两组支撑板(6)内端上侧，四组安装板(8)顶端均贯穿设置有螺纹孔，四组螺纹杆(9)分别转动穿过四组螺纹孔，四组压板(10)分别转动安装在四组螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：文卫成，李兴，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：