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一种用于晶圆切割的定位工装制造技术
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下载一种用于晶圆切割的定位工装的技术资料
文档序号:36117443
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本实用新型涉及定位工装的技术领域,特别是涉及一种用于晶圆切割的定位工装,可以适用于不同个尺寸的晶圆,降低了现有的晶圆切割定位工作在使用时,容易出现由于定位工装的尺寸固定导致不能适用于其它型号的晶圆的概率,包括工作台、四组支撑腿和定位工装,四...
该专利属于上海芯昂电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海芯昂电子科技有限公司授权不得商用。
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