一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，其可对膜起到张紧的作用，防止膜松动，提高贴膜效率；包括安装架、自锁电机、减速器、收卷轴、两组连接柱、两组连接架、两组张紧电机、两组丝杠、两组螺环、两组夹紧块、制动轮和放卷轴，自锁电机位于安装架后侧，自锁电机的输出端和减速器的输入端连接，减速器固定安装在安装架后端，减速器的输出端和收卷轴固定连接，两组连接柱分别固定安装在自锁电机顶端，两组连接架分别固定安装在两组连接柱底端，两组张紧电机分别固定安装在两组连接架上，两组丝杠分别与两组张紧电机的输出端连接，两组夹紧块分别通过两组螺环螺装在两组丝杠上，制动轮转动安装在安装架上。架上。架上。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构


[0001]本技术涉及晶圆加工的
，特别是涉及一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]晶圆在后期加工中需要进行贴膜处理，目前主要采用晶圆贴膜机进行操作，即通过放卷机构和收卷机构，对晶圆进行贴膜，然而现有的贴膜机在贴膜处理的过程中，不便对膜的某一位置进行张紧，导致在贴膜过程中膜卷发生松动，影响贴膜效率。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种可对膜起到张紧的作用，防止膜松动，提高贴膜效率的晶圆贴膜机的贴膜张紧机构。
[0005]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，包括安装架、自锁电机、减速器、收卷轴、两组连接柱、两组连接架、两组张紧电机、两组丝杠、两组螺环、两组夹紧块、制动轮和放卷轴，自锁电机位于安装架后侧，自锁电机的输出端和减速器的输入端连接，减速器固定安装在安装架后端，减速器的输出端和收卷轴固定连接，两组连接柱分别固定安装在自锁电机顶端，两组连接架分别固定安装在两组连接柱底端，两组张紧电机分别固定安装在两组连接架上，两组丝杠分别与两组张紧电机的输出端连接，两组夹紧块分别通过两组螺环螺装在两组丝杠上，制动轮转动安装在安装架上，放卷轴固定安装在制动轮上，并且制动轮位于两组夹紧块之间。
[0006]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括挡片、螺轴和螺母，挡片固定安装在螺母上，螺轴与收卷轴螺纹连接，螺母与螺轴螺纹连接。
[0007]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，两组夹紧块上均设有注油嘴。
[0008]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括两组注油帽，两组注油帽分别与两组注油嘴螺纹连接。
[0009]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括收纳箱、合页和箱盖，收纳箱底端和安装架顶端固定连接，箱盖通过合页转动安装在收纳箱顶端。
[0010]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括多组隔板，多组隔板分别固定安装在收纳箱内。
[0011]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括凸块，凸块固定安装在箱盖上。
[0012]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括锁环、锁轴和锁片，锁环和箱盖固定安装在，锁环和锁轴固定连接，锁轴转动穿过箱盖，锁片和锁轴固定连接，收纳箱
上设有锁架，锁片可与锁架卡装。
[0013]与现有技术相比本技术的有益效果为：首先将膜卷卡放在放卷轴上，然后膜卷上的膜经过处理后，缠绕在收卷轴上，启动自锁电机，在减速器的作用下，带动收卷轴转动，对处理后的膜进行收卷，同时带动膜卷和放卷轴转动，当需要对膜做张紧处理时，停止自锁电机，从而停止收卷轴的转动，同时启动两组张紧电机，传动带动两组丝杠转动，在两组螺环的作用下，两组夹紧块相向移动，并将制动轮固定住，从而将放卷轴和膜卷固定住，使膜张紧，防止膜松动，提高贴膜的效率。
附图说明
[0014]图1是本技术的轴侧结构示意图；
[0015]图2是本技术的前视结构示意图；
[0016]图3是图2的右视结构示意图；
[0017]附图中标记：1、安装架；2、自锁电机；3、减速器；4、收卷轴； 5、连接柱；6、连接架；7、张紧电机；8、丝杠；9、螺环；10、夹紧块；11、制动轮；12、挡片；13、螺轴；14、螺母；15、注油嘴； 16、注油帽；17、收纳箱；18、合页；19、箱盖；20、隔板；21、凸块；22、锁环；23、锁轴；24、锁片；25、锁架。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0019]如图1至图3所示，本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，包括安装架1、自锁电机2、减速器3、收卷轴4、两组连接柱5、两组连接架6、两组张紧电机7、两组丝杠8、两组螺环9、两组夹紧块 10、制动轮11和放卷轴，自锁电机2位于安装架1后侧，自锁电机2的输出端和减速器3的输入端连接，减速器3固定安装在安装架1后端，减速器3的输出端和收卷轴4固定连接，两组连接柱5分别固定安装在自锁电机2顶端，两组连接架6分别固定安装在两组连接柱5底端，两组张紧电机7分别固定安装在两组连接架6上，两组丝杠8分别与两组张紧电机7的输出端连接，两组夹紧块10分别通过两组螺环9螺装在两组丝杠8上，制动轮11转动安装在安装架1上，放卷轴固定安装在制动轮11上，并且制动轮11位于两组夹紧块10之间；首先将膜卷卡放在放卷轴上，然后膜卷上的膜经过处理后，缠绕在收卷轴4上，启动自锁电机2，在减速器3的作用下，带动收卷轴4转动，对处理后的膜进行收卷，同时带动膜卷和放卷轴转动，当需要对膜做张紧处理时，停止自锁电机2，从而停止收卷轴4的转动，同时启动两组张紧电机7，传动带动两组丝杠8转动，在两组螺环9的作用下，两组夹紧块10相向移动，并将制动轮11固定住，从而将放卷轴和膜卷固定住，使膜张紧，防止膜松动，提高贴膜的效率。
[0020]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括挡片12、螺轴13和螺母14，挡片12固定安装在螺母14上，螺轴13与收卷轴4螺纹连接，螺母14与螺轴13螺纹连接；收卷经过处理的膜卷时，挡片12 可对膜卷起到限位的作用，松动螺母14，可将膜卷从收卷轴4上卸下来，提高便利性。
[0021]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，两组夹紧块10 上均设有注油嘴
15；通过设置注油嘴15，便于向夹紧块10内注入润滑油，保证螺环9与丝杠8连接的顺畅性。
[0022]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括两组注油帽16，两组注油帽16分别与两组注油嘴15螺纹连接；通过设置注油帽 16，可防止外部的灰尘进入注油嘴15内。
[0023]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括收纳箱 17、合页18和箱盖19，收纳箱17底端和安装架1顶端固定连接，箱盖 19通过合页18转动安装在收纳箱17顶端；通过设置收纳箱17，便于对膜卷进行收纳，提高便利性。
[0024]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括多组隔板20，多组隔板20分别固定安装在收纳箱17内；通过设置隔板20，便于分隔膜卷，提高实用性。
[0025]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括凸块21，凸块21固定安装在箱盖19上；通过设置凸块21，便于打开箱盖19，提高便利性。
[0026]本技术的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，还包括锁环22、锁轴23和锁片24，锁环22和箱盖19固定安装在，锁环22和锁轴23固定连接，锁轴23转动穿过箱盖19，锁片24和锁轴23本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，其特征在于，包括安装架(1)、自锁电机(2)、减速器(3)、收卷轴(4)、两组连接柱(5)、两组连接架(6)、两组张紧电机(7)、两组丝杠(8)、两组螺环(9)、两组夹紧块(10)、制动轮(11)和放卷轴，自锁电机(2)位于安装架(1)后侧，自锁电机(2)的输出端和减速器(3)的输入端连接，减速器(3)固定安装在安装架(1)后端，减速器(3)的输出端和收卷轴(4)固定连接，两组连接柱(5)分别固定安装在自锁电机(2)顶端，两组连接架(6)分别固定安装在两组连接柱(5)底端，两组张紧电机(7)分别固定安装在两组连接架(6)上，两组丝杠(8)分别与两组张紧电机(7)的输出端连接，两组夹紧块(10)分别通过两组螺环(9)螺装在两组丝杠(8)上，制动轮(11)转动安装在安装架(1)上，放卷轴固定安装在制动轮(11)上，并且制动轮(11)位于两组夹紧块(10)之间。2.如权利要求1所述的一种晶圆贴膜机的贴膜张紧机构，其特征在于，还包括挡片(12)、螺轴(13)和螺母(14)，挡片(12)固定安装在螺母(14)上，螺轴(13)与收卷轴(4)螺纹连接，螺母(14)与螺轴(13)螺纹连接。3.如权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：文卫成，李兴，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：