一种新型的晶圆贴膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及贴膜设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种新型的晶圆贴膜机，其是一种流水线式的快速贴膜机构，因此可以提高贴膜机的贴膜效率和效果；包括控制箱、四组支腿、支撑台、工作架、电动伸缩杆、贴膜机本体、伺服电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、转动轴、旋转盘、多组晶圆托盘和多组螺纹杆，控制箱顶端与支撑台底端右侧区域连接，四组支腿顶端均与支撑台底端连接，工作架底端与支撑台顶端右侧区域连接，电动伸缩杆顶端与工作架左侧底端中部连接，电动伸缩杆底端与贴膜机本体顶端中部连接，支撑台顶端中部设置有转动通孔，支撑台顶端中部与转动轴轴承转动套装，转动轴顶端与旋转盘底端中部连接，旋转盘顶端设置有多组螺纹通孔。通孔。通孔。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的晶圆贴膜机


[0001]本技术涉及贴膜设备附属装置的
，特别是涉及一种新型的晶圆贴膜机。

技术介绍

[0002]众所周知，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆表面的光洁度要求高，晶圆加工过程中需要划片，但在机械加工时容易造成硅片弹出，造成损坏，影响性能。因此，晶圆在流通过程中其表面需要覆盖一层起到保护作用的蓝膜，因此需要用到一种新型的晶圆贴膜机，一种新型的晶圆贴膜机其在晶圆贴膜的领域中得到了广泛的使用；
[0003]现有的一种新型的晶圆贴膜机使用时，需要操作人员将晶圆放置在贴膜台上，然后关闭盖子，启动贴膜机，贴膜完成后再打开盖子，然后取出晶圆再更换新的晶圆重复上述过程；
[0004]现有的一种新型的晶圆贴膜机使用中发现，放置晶圆，在关闭盖子在进行贴膜，然后再更换晶圆，过程比较繁琐，因此降低了贴膜机的贴膜效率和效果，从而导致实用性较差。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种流水线式的快速贴膜机构，因此可以提高贴膜机的贴膜效率和效果，从而增强实用性的一种新型的晶圆贴膜机。
[0006]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，包括控制箱、四组支腿、支撑台、工作架、电动伸缩杆、贴膜机本体、伺服电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、转动轴、旋转盘、多组晶圆托盘和多组螺纹杆，控制箱顶端与支撑台底端右侧区域连接，四组支腿顶端均与支撑台底端连接，工作架底端与支撑台顶端右侧区域连接，电动伸缩杆顶端与工作架左侧底端中部连接，电动伸缩杆底端与贴膜机本体顶端中部连接，支撑台顶端中部设置有转动通孔，支撑台顶端中部与转动轴轴承转动套装，转动轴顶端与旋转盘底端中部连接，旋转盘顶端设置有多组螺纹通孔，多组螺纹杆顶端与多组晶圆托盘底端中部连接，多组螺纹杆与旋转盘螺装，转动轴底端与第一锥齿轮顶端紧固套装，第二锥齿轮左端与伺服电机输出端紧固套装，第一锥齿轮与第二锥齿轮互相啮合，伺服电机顶端与支撑台底端左侧区域连接。
[0007]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括四组吊环，四组吊环底端均与支撑台顶端连接。
[0008]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括晶圆放置槽，多组晶圆托盘顶端均设置有晶圆放置槽。
[0009]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括电机减震垫，电机减震垫顶端与支撑台底端左侧连接，电机减震垫底端与伺服电机顶端连接。
[0010]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括保护罩，保护罩将伺服电机与第一
锥齿轮和第二锥齿轮罩在内部，保护罩顶端与支撑台底端中部连接。
[0011]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括晶圆储藏箱，晶圆储藏箱底端与支撑台顶端左侧连接。
[0012]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括四组高度螺纹杆和四组底座，四组底座顶端分别设置有螺纹孔，四组高度螺纹杆顶端分别与四组支腿底端中部连接，四组高度螺纹杆底端分别与四组底座顶端螺装。
[0013]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括四组防滑胶垫，四组防滑胶垫顶端分别与四组底座底端连接。
[0014]与现有技术相比本技术的有益效果为：在通过贴膜机对晶圆贴膜的过程中，启动控制箱，操作人员持续到将晶圆放置到晶圆放置槽内，然后伺服电机带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动转动轴转动，然后转动轴带动旋转盘转动从而带动多组晶圆托盘转动，转动到贴膜机本体下端后，电动伸缩杆将贴膜机本体移动到晶圆上表面进行贴膜，贴膜完成后由操作人员将成品取下放置到晶圆储藏箱，然后再更换需要贴膜的晶圆，旋转盘每转动一次，贴膜机本体就对正下方晶圆进行贴膜，在该过程中贴膜机本体可以持续不间断的进行贴膜，因此提高了贴膜机的贴膜效率和效果，从而增强了实用性。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是本技术的俯视图顶端结构示意图；
[0017]图3是本技术的旋转盘与转动轴的连接结构示意图；
[0018]图4是本技术的第一齿轮与第二齿轮的连接结构示意图；
[0019]附图中标记：1、控制箱；2、四组支腿；3、支撑台；4、工作架；5、电动伸缩杆；6、贴膜机本体；7、伺服电机；8、第一锥齿轮；9、第二锥齿轮；10、转动轴；11、旋转盘；12、多组晶圆托盘；13、多组螺纹杆；14、四组吊环；15、晶圆放置槽；16、电机减震垫；17、保护罩；18、晶圆储藏箱；19、四组高度螺纹杆；20、四组底座；21、四组防滑胶垫。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0021]如图1至图4所示，本技术的一种新型的晶圆贴膜机，包括控制箱1、四组支腿2、支撑台3、工作架4、电动伸缩杆5、贴膜机本体6、伺服电机7、第一锥齿轮8、第二锥齿轮9、转动轴10、旋转盘11、多组晶圆托盘12和多组螺纹杆13，控制箱1顶端与支撑台3底端右侧区域连接，四组支腿2顶端均与支撑台3底端连接，工作架4底端与支撑台3顶端右侧区域连接，电动伸缩杆5顶端与工作架4左侧底端中部连接，电动伸缩杆5底端与贴膜机本体6顶端中部连接，支撑台3顶端中部设置有转动通孔，支撑台3顶端中部与转动轴10轴承转动套装，转动轴10顶端与旋转盘11底端中部连接，旋转盘11顶端设置有多组螺纹通孔，多组螺纹杆13顶端与多组晶圆托盘12底端中部连接，多组螺纹杆13与旋转盘11螺装，转动轴10底端与第一锥齿轮8顶端紧固套装，第二锥齿轮9左端与伺服电机7输出端紧固套装，第一锥齿轮8与第
二锥齿轮9互相啮合，伺服电机7顶端与支撑台3底端左侧区域连接；在通过贴膜机对晶圆贴膜的过程中，启动控制箱，操作人员持续到将晶圆放置到晶圆放置槽内，然后伺服电机带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动转动轴转动，然后转动轴带动旋转盘转动从而带动多组晶圆托盘转动，转动到贴膜机本体下端后，电动伸缩杆将贴膜机本体移动到晶圆上表面进行贴膜，贴膜完成后由操作人员将成品取下放置到晶圆储藏箱，然后再更换需要贴膜的晶圆，旋转盘每转动一次，贴膜机本体就对正下方晶圆进行贴膜，在该过程中贴膜机本体可以持续不间断的进行贴膜，因此提高了贴膜机的贴膜效率和效果，从而增强了实用性。
[0022]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括四组吊环14，四组吊环14底端均与支撑台3顶端连接；通过四组吊环的使用，可以方便快捷的移动设备，从而增强了实用性。
[0023]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括晶圆放置槽15，多组晶圆托盘12顶端均设置有晶圆放置槽15；通过晶圆放置槽，可以使得晶圆放置位置更加准确稳定，从而增强了实用性。
[0024]本技术的一种新型的晶圆贴膜机，还包括电机减震垫16，电机减震垫16顶端与支撑台3底端左侧连接，电机减震垫16底端与伺服电机7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的晶圆贴膜机，其特征在于，包括控制箱(1)、四组支腿(2)、支撑台(3)、工作架(4)、电动伸缩杆(5)、贴膜机本体(6)、伺服电机(7)、第一锥齿轮(8)、第二锥齿轮(9)、转动轴(10)、旋转盘(11)、多组晶圆托盘(12)和多组螺纹杆(13)，控制箱(1)顶端与支撑台(3)底端右侧区域连接，四组支腿(2)顶端均与支撑台(3)底端连接，工作架(4)底端与支撑台(3)顶端右侧区域连接，电动伸缩杆(5)顶端与工作架(4)左侧底端中部连接，电动伸缩杆(5)底端与贴膜机本体(6)顶端中部连接，支撑台(3)顶端中部设置有转动通孔，支撑台(3)顶端中部与转动轴(10)轴承转动套装，转动轴(10)顶端与旋转盘(11)底端中部连接，旋转盘(11)顶端设置有多组螺纹通孔，多组螺纹杆(13)顶端与多组晶圆托盘(12)底端中部连接，多组螺纹杆(13)与旋转盘(11)螺装，转动轴(10)底端与第一锥齿轮(8)顶端紧固套装，第二锥齿轮(9)左端与伺服电机(7)输出端紧固套装，第一锥齿轮(8)与第二锥齿轮(9)互相啮合，伺服电机(7)顶端与支撑台(3)底端左侧区域连接。2.如权利要求1所述的一种新型的晶圆贴膜机，其特征在于，还包括四组吊环(14)，四组吊环(14)底端均与支...

【专利技术属性】
技术研发人员：文卫成，李兴，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：